新型气缸
技术领域
本实用新型涉及适用于晶圆生产的驱动设备领域，具体涉及一种新型气缸。
背景技术
随着技术的发展，集成电路工艺导线越来越窄，能耗越来越低，每一片的晶圆都极其宝贵。生产晶圆的设备中，有很多部件是由气缸组成的。气缸的性能直接影响晶圆生产效率及质量。在半导体设备中，气缸主要运用在阀门开关以及上下运动部件中，如果气缸有问题，发生抖动时，会导致阀门开关异常或者抖动，甚至有气缸内部气体泄漏到腔室风险，并且气缸的抖动也很有可能直接造成晶圆的破碎。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型气缸，能够实时监控气缸的工作状态，避免因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，提高晶圆产率。
为解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种新型气缸，包括缸筒；第一活塞，设置在所述缸筒内，能够相对于所述缸筒做往复运动，且所述第一活塞内部设置有凹槽，所述凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同；第二活塞，设置于所述第一活塞的凹槽内部，能够相对于所述第一活塞做往复运动；震动检测器，安装至所述缸筒，用于检测所述第一活塞或第二活塞的异常震动。
可选的，还包括：控制器，连接至所述震动检测器，用于根据所述震动检测器检测到的异常震动，控制所述第一活塞或第二活塞做往复运动。
可选的，还包括：第一、二进气口，连通至所述第一活塞内的凹槽，用于驱动所述第二活塞相对于第一活塞做往复运动；第三、四进气口，连通至所述缸筒内部，用于驱动所述第一活塞相对于缸筒做往复运动。
可选的，还包括：电动阀，阀门设置到所述第一、二进气口、第三、四进气口，且所述电动阀连接至所述控制器，用于根据所述控制器的控制，控制所述阀门的开闭，从而控制所述第一、二进气口、第三、四进气口的进气情况。
可选的，所述控制器对所述第一活塞或第二活塞做往复运动的控制包括：控制所述第二活塞相对于所述第一活塞做往复运动；在所述震动检测器检测到异常震动时，控制所述第一活塞相对于所述缸筒做往复运动。
可选的，所述震动检测器设置在所述缸筒外壁。
可选的，被所述新型气缸驱动的件安装至所述第二活塞。
可选的，还包括：报警器，连接至所述震动检测器，用于在所述震动检测器检测到异常震动时发出警报。
可选的，所述震动检测器为音频收集器，通过收集所述缸筒的震动声音信息，来判断所述第一活塞或第二活塞是否发生异常震动。
以上新型气缸具有震动检测器，能够通过检测所述第一活塞和第二活塞的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。并且所述新型气缸具有两个活塞，且第二活塞安装在所述第一活塞的凹槽内，且凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同，因此，在具体使用中，控制两个活塞的运动都可以实现相同运动效果。这样，当具有相应的控制器时，就可以根据所述震动检测器检测到的第一活塞或第二活塞的震动情况，切换另一活塞进行运动，从而达到相同的驱动效果，不会由于一根活塞损坏，而导致要更换整个气缸。
附图说明
图1为本实用新型的一种具体实施方式中的新型气缸的结构示意图。
图2为本实用新型的一种具体实施方式中的新型气缸的部分器件的连接关系示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种新型气缸作进一步详细说明。
请参阅图1、2，其中图1为本实用新型的一种具体实施方式中的新型气缸的结构示意图，图2为本实用新型的一种具体实施方式中的新型气缸的部分器件的连接关系示意图。
在该具体实施方式中，提供了一种新型气缸，包括：缸筒101；第一活塞102，设置在所述缸筒101内，能够相对于所述缸筒101做往复运动，且所述第一活塞102内部设置有凹槽103，所述凹槽103的长度方向与所述第一活塞102的运动方向相同；第二活塞104，设置于所述第一活塞102的凹槽103内部，能够相对于所述第一活塞102做往复运动；震动检测器110，安装至所述缸筒101，用于检测所述第一活塞102或第二活塞104的异常震动。
以上新型气缸具有震动检测器110，能够通过检测所述第一活塞102和第二活塞104的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。并且所述新型气缸具有两个活塞，且第二活塞104安装在所述第一活塞102的凹槽103内，且凹槽103的长度方向与所述第一活塞102的运动方向相同，因此，在具体使用中，控制两个活塞的运动都可以实现相同运动效果。这样，当具有相应的控制器201时，就可以根据所述震动检测器110检测到的第一活塞102或第二活塞104的震动情况，切换另一活塞进行运动，从而达到相同的驱动效果，不会由于一根活塞损坏，而导致要更换整个气缸。
在一种具体实施方式中，还包括：控制器201，连接至所述震动检测器110，用于根据所述震动检测器110检测到的异常震动，控制所述第一活塞102或第二活塞104做往复运动。
在一种具体实施方式中，所述控制器201包括微控制器201、可编程逻辑器件、单片机等中的至少一种，且在一些具体实施方式中，所述控制器201可以由电脑实现。实际上，本领域的技术人员可以根据需要设置所述控制器201的具体结构。
在一种具体实施方式中，还包括：第一、二进气口，连通至所述第一活塞102内的凹槽103，用于驱动所述第二活塞104相对于第一活塞102做往复运动；第三、四进气口，连通至所述缸筒101内部，用于驱动所述第一活塞102相对于缸筒101做往复运动。
在一种具体实施方式中，还包括：电动阀109，阀门设置到所述第一、二进气口、第三、四进气口，且所述电动阀109连接至所述控制器201，用于根据所述控制器201的控制，控制所述阀门的开闭，从而控制所述第一、二进气口、第三、四进气口的进气情况。
在一种具体实施方式中，压缩空气通过所述电动阀109进入至所述进气口，因此可以通过控制所述电磁阀109的通断，来控制所述压缩空气的流向。
在一种具体实施方式中，所述控制器201对所述第一活塞102或第二活塞104做往复运动的控制包括：控制所述第二活塞104相对于所述第一活塞102做往复运动；在所述震动检测器110检测到异常震动时，控制所述第一活塞102相对于所述缸筒101做往复运动。
请参阅图1，在该具体实施方式中，所述第一进气口105连通至所述第一活塞102的凹槽103的末端，所述第二进气口106连通至所述第一活塞102的凹槽103的前端，在控制所述第二活塞104运动时，打开设置在第一、二进气口处的电动阀109，使能够通过所述第一进气口105往所述凹槽103内通入气体，且气体自所述第二进气口106流出。这样，所述第二活塞104往外运动。在要控制所述第二活塞104往内运动时，还是打开设置在第一、二进气口处的电动阀109，并且在打开后，通过所述第二进气口106往所述凹槽103内通入气体，且气体自所述第一进气口105流出。
在图1所示的具体实施方式中，所述第三进气口107连通至所述缸筒101的末端，所述第二进气口106连通至所述缸筒101的前端，在控制所述第一活塞102运动时，打开设置在第三、四进气口处的电动阀109，使能够通过所述第三进气口107往所述缸筒101内通入气体，且气体自所述第四进气口108流出。这样，所述第一活塞102往外运动。在要控制所述第一活塞102往内运动时，还是打开设置在第三、四进气口处的电动阀109，并且在打开后，通过所述第四进气口108往所述缸筒101内通入气体，且气体自所述第三进气口107流出。
在该具体实施方式中，在一开始工作时，就控制所述第二活塞104相对于所述第一活塞102作往复运动，这样，所述震动检测器110初次检测到的异常震动一定是第二活塞104的异常震动，而不可能是第一活塞102的异常震动。这样，在所述第二活塞104发生异常震动时，所述控制器201切换控制所述第一活塞102做往复运动，由第一活塞102带动被驱动的件做往复运动。
在该具体实施方式中，若所述震动检测器110再次检测到异常震动，此时，就一定是所述第一活塞102的异常震动，到这种情形，应该暂停所述新型气缸的工作，由相关维修人员检修处理。
实际上，所述控制器201对所述第一活塞102或第二活塞104做往复运动的控制也可以是：控制所述第一活塞102相对于所述缸筒101做往复运动；在所述震动检测器110检测到异常震动时，控制所述第二活塞104相对于所述第一活塞102做往复运动。
这样，所述震动检测器110初次检测到的异常震动一定是第一活塞102的异常震动，而不可能是第二活塞104的异常震动。这样，在所述第一活塞102发生异常震动时，所述控制器201切换控制所述第二活塞104做往复运动，由第二活塞104带动被驱动的件做往复运动。
在一种具体实施方式中，所述震动检测器110设置在所述缸筒101外壁。因为第一、二活塞异常震动时，由于缸筒101与第一活塞102接触的地方是紧密接触、能直接传动的，因此缸筒101壁也会跟随发生异常震动。这样，设置在所述缸筒101外壁的震动检测器110也能够检测到所述第一、二活塞的异常震动。
在一种具体实施方式中，被所述新型气缸驱动的件安装至所述第二活塞104。由于被所述新型气缸驱动的件安装至所述第二活塞104，因此不管第一活塞102做往复运动，还是第二活塞104做往复运动，所述被所述新型气缸驱动的件都能够有几乎一样的行程。
在该具体实施方式中，所述凹槽103的末端设置到所述第一活塞102内部的最深处，使所述第二活塞104有更大的活动范围。
在一种具体实施方式中，还包括：报警器202，连接至所述震动检测器110，用于在所述震动检测器110检测到异常震动时发出警报。设置报警器202，可以在第一次检查到异常震动时，告知用户当前已经发生了第一次异常震动，在而二次检测到异常震动时，告知用户当前已经发生了第二次异常震动。若控制器201没有设置成发生二次异常震动时就自动暂停所述新型气缸的工作状态，则此时可以通过所述报警器202的第二次报警来通知用户手动关停所述新型气缸的工作状态。
在其他的具体实施方式中，也可以控制所述报警器202只在发生第二次异常震动时发出警报。
在一种具体实施方式中，所述报警器202包括蜂鸣器、LED灯等，可以同时进行声光报警。实际上，也可根据需要设置所述报警器202的具体结构。
在一种具体实施方式中，所述震动检测器110为音频收集器，通过收集所述缸筒101的震动声音信息，来判断所述第一活塞102或第二活塞104是否发生异常震动。
在该具体实施方式中，在所述控制器201的控制功能由电脑实现时，通过电脑整理采集到的震动声音信息。由于在所述第一、二活塞正常运动时，所述缸筒101的震动也是规律、有迹可循的，因此若所述音频收集器采集到的震动声音信息与所述电脑里整理采集到的震动声音信息有较大区别，就可以判定当前所述第一活塞102或第二活塞104发生异常震动。
可以在电脑内设置于所述音频收集器相匹配的音频处理系统来实现上述功能。在一种具体实施方式中，所述音频处理系统采用的SPC(Statistical Process Control，统计过程控制)技术，来排定是否存在问题。
在一种具体实施方式中，还包括一活塞运动切换装置，连接所述第一活塞102和第二活塞104，用于便于所述第一活塞102和第二活塞104的运动切换。比如第一活塞102异常震动，被所述震动检测器110检测到时，所述报警器202发出警示后，启动第二活塞104来完成接下来的驱动动作。在第二活塞104启动后，所述活塞运动切换装置内部原本卡住第一活塞102的卡销会被第二活塞104推动，所述第一活塞102被释放，所述活塞运动切换装置夹住所述第二活塞104，由第二活塞104来完成工作。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
