一种光分路器的晶圆贴片装置
技术领域
本实用新型涉及光分路器晶圆片生产技术领域，具体是一种光分路器的晶圆贴片装置。
背景技术
晶圆片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
光分路器晶圆片在生产的过程中，需要对晶圆片贴片，而晶圆片在贴片前需要刷胶，但是目前的贴片装置在贴片完成后，只能对晶圆片自然晾干，这样不仅影响对晶圆片贴片的效率，而且无法保证晶圆片贴片的质量，为此，我们提出一种光分路器的晶圆贴片装置来解决上述问题。
实用新型内容
一）解决的技术问题
本实用新型的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种光分路器的晶圆贴片装置。
二）技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光分路器的晶圆贴片装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有固定座，所述固定座的上表面固定镶嵌有电动推杆，所述电动推杆输出端的底端固定连接有压板，所述底座的上表面开设有定位槽，所述定位槽的内底壁固定连接有相对称的限位板，所述压板的上表面开设有相对称的条形穿插孔，两个所述限位板的顶端均贯穿条形穿插孔并延伸至条形穿插孔的外部，所述压板的底面固定连接有四个吸盘所述压板的下方设有支撑板，两个所述限位板相互靠近的一侧面均开设有卡槽，所述支撑板的左右两端均卡接在卡槽的内部，所述支撑板的上表面开设有凸型定位孔，所述凸型定位孔的内部设有透气网，所述底座的内部开设有放置腔，所述放置腔的内底壁固定镶嵌有三个加热板，所述放置腔的内顶壁开设有等距离排列的出气孔。
进一步的，每个所述卡槽的内底壁均固定连接有缓冲弹簧，每个所述缓冲弹簧的顶端均与支撑板的底面固定连接。
进一步的，所述透气网的底面与凸型定位孔的内底壁相接触，所述透气网的水平长度值与凸型定位孔的水平长度值相等。
进一步的，所述放置腔的内侧壁开设有相对称的进气孔，每个所述进气孔的内部均设有过滤板，所述过滤板的外表面与进气孔的内壁固定连接。
进一步的，所述放置腔的内部设有风机，所述风机的外表面与放置腔的内侧壁固定连接，且风机位于加热板的上方。
三）有益效果：
与现有技术相比，该光分路器的晶圆贴片装置具备如下有益效果：
一、本实用新型通过开设有凸型定位孔，实现对涂胶后晶圆片的定位，通过吸盘对玻璃片进行固定，利用电动推杆推动压板，使压板沿限位板下移，保证玻璃片准确的与晶圆片相接触，实现对晶圆片的贴片，通过加热板对放置腔内部的空气加热，利用设置的风机，能够使放置腔内部的热空气经过出气孔吹向晶圆片，达到对晶圆片快速烘干的效果，提高晶圆片贴片速率的同时，保证晶圆片贴片的质量。
二、本实用新型利用设置有缓冲弹簧，能够降低压板下压时对晶圆片造成的损伤，通过设置透气网的水平长度值与凸型定位孔的水平长度值相等，能够提高贴片时透气网的稳定性，保证贴片的准确性，利用设置有风机，提高对晶圆片烘干的效率。
附图说明
图1为本实用新型光分路器的晶圆贴片装置整体示意图；
图2为本实用新型压板的仰视图；
图3为本实用新型限位板与支撑板连接的剖视图；
图4为本实用新型底座正视图的剖视图。
图中：1、底座；2、固定座；3、电动推杆；4、压板；5、定位槽；6、限位板；7、条形穿插孔；8、支撑板；9、卡槽；10、凸型定位孔；11、出气孔；12、吸盘；13、透气网；14、缓冲弹簧；15、放置腔；16、进气孔；17、过滤板；18、加热板；19、风机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种光分路器的晶圆贴片装置，包括底座1，底座1的上表面固定连接有固定座2，固定座2的上表面固定镶嵌有电动推杆3，电动推杆3输出端的底端固定连接有压板4，底座1的上表面开设有定位槽5，定位槽5的内底壁固定连接有相对称的限位板6，压板4的上表面开设有相对称的条形穿插孔7，两个限位板6的顶端均贯穿条形穿插孔7并延伸至条形穿插孔7的外部，压板4的底面固定连接有四个吸盘12压板4的下方设有支撑板8，两个限位板6相互靠近的一侧面均开设有卡槽9，支撑板8的左右两端均卡接在卡槽9的内部，支撑板8的上表面开设有凸型定位孔10，凸型定位孔10的内部设有透气网13，底座1的内部开设有放置腔15，放置腔15的内底壁固定镶嵌有三个加热板18，放置腔15的内顶壁开设有等距离排列的出气孔11。
进一步的，每个卡槽9的内底壁均固定连接有缓冲弹簧14，每个缓冲弹簧14的顶端均与支撑板8的底面固定连接。利用设置有缓冲弹簧14，能够降低压板4下压时对晶圆片造成的损伤。
进一步的，透气网13的底面与凸型定位孔10的内底壁相接触，透气网13的水平长度值与凸型定位孔10的水平长度值相等。通过设置透气网13的水平长度值与凸型定位孔10的水平长度值相等，能够提高贴片时透气网13的稳定性，保证贴片的准确性。
进一步的，放置腔15的内侧壁开设有相对称的进气孔16，每个进气孔16的内部均设有过滤板17，过滤板17的外表面与进气孔16的内壁固定连接。通过设置有过滤板17，避免空气中的灰尘与晶圆片相接触。
进一步的，放置腔15的内部设有风机19，风机19的外表面与放置腔15的内侧壁固定连接，且风机19位于加热板18的上方。利用设置有风机19，提高对晶圆片烘干的效率。
工作原理：先将涂胶后的晶圆片放置在凸型定位孔10的内部，再利用吸盘12对玻璃片进行固定，然后通过电动推杆3推动压板4，利用压板4上表面开设有条形穿插孔7，使压板4沿限位板6下移，进而带动玻璃片下移，使玻璃片准确的与晶圆片相接触，实现对晶圆片的贴片，贴片完成后，加热板18对放置腔15内部的空气加热，然后通过设置的风机19，将放置腔15内部的热空气经过出气孔11吹向晶圆片，达到对晶圆片快速烘干的效果，提高晶圆片贴片速率的同时，保证晶圆片贴片的质量。
需要说明的是，在本文中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“固设”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，“安装”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是机械连接，也可以是电连接；“连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
