烤胶机
技术领域
本实用新型涉及晶圆生产设备领域，具体涉及一种烤胶机。
背景技术
晶圆表面涂上胶层后，为了实现胶层的快速干燥，一般会采用烤胶机对晶圆进行烘烤。现有的烤胶机都是封闭式的，即加热面板位于一封闭的加热腔中，使用时，打开加热腔，将晶圆水平放在加热面板上，通过电加热的方式对晶圆进行加热，促使胶层快速干燥固化。这种烤胶机由于加热腔封闭，能够提高热利用率，能耗相对较低，但每次只能够烘烤特定数量的晶圆，且需要人工开启加热腔、放入晶圆、打开加热腔、取出晶圆，效率较低，不利于实现规模化、连续化生产。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够实现连续生产以提高工作效率的烤胶机。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：烤胶机，包括底座，所述底座上固定设置有电机和保温壳，所述电机竖直设置，且电机的主轴连接有水平的转盘，所述转盘上设置有多个晶圆定位槽，多个晶圆定位槽绕转盘的中心呈圆周状均匀分布；所述保温壳的内腔由竖直的隔板分隔成为预热腔、加热腔以及预冷腔，所述加热腔内设置有加热组件；所述转盘部分位于保温壳内，部分位于保温壳外，且预热腔、加热腔以及预冷腔中均有一晶圆定位槽。
进一步地，所述加热组件为加热基板。
进一步地，所述转盘为隔热转盘，所述隔热转盘上设置有多个通孔，所述通孔的下端孔口设置有导热板，所述导热板与通孔组成晶圆定位槽。
进一步地，所述隔板为隔热材质。
进一步地，所述转盘与保温壳的连接缝隙中设置有密封结构。
进一步地，所述转盘位于保温壳外的部分具有两个晶圆定位槽，所述保温壳的内腔中还由隔板分隔出了多个余热腔。
进一步地，所述保温壳外设置有一装料工位和一卸料工位，装料工位处设置有装料机构，卸料工位处设置有卸料机构。
进一步地，每个晶圆定位槽的槽底均设置有装卸通孔，所述装料机构和卸料机构均包括一顶杆、一支撑筒以及一水平的传输臂，所述顶杆竖直设置，且顶杆的下端连接有一升降驱动机构，所述支撑筒位于顶杆的上方，且位于装料工位的顶杆、支撑筒、晶圆定位槽的装卸通孔同轴，位于卸料工位的顶杆、支撑筒、晶圆定位槽的装卸通孔同轴，所述支撑筒的侧壁设置有从支撑筒上端面延伸至下端面的分离缺口，所述分离缺口的宽度大于顶杆的直径，所述支撑筒与传输臂固定连接，传输臂连接有一转动驱动机构。
进一步地，所述顶杆为空心杆，所述顶杆顶部内设置有晶圆探测器，所述晶圆探测器连接有控制器，所述升降驱动机构和转动驱动机构均与控制器电连接。
进一步地，所述升降驱动机构为直线电机，所述转动驱动机构包括转动驱动电机和减速器，所述转动驱动电机与减速器相连，所述减速器连接有一竖直的转轴，所述转轴与传输臂固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本烤胶机不需要人工开启加热腔，使用更加方便，电机带动转盘连续转动，可实现连续烤胶，提高生产效率，有利于批量化、规模化生产。
附图说明
图1为本实用新型的俯视示意图；
图2为图1中A-A的剖视示意图；
图3为保温壳的俯视剖视示意图；
图4为支撑筒运动至顶杆上方时的示意图；
附图标记：1—底座；2—电机；3—保温壳；4—转盘；5—晶圆定位槽；6—预热腔；7—加热腔；8—预冷腔；9—加热组件；10—通孔；11—导热板；12—隔板；13—密封结构；14—装卸通孔；15—顶杆；16—支撑筒；17—传输臂；18—升降驱动机构；19—分离缺口；20—转动驱动机构；21—余热腔；22—晶圆探测器；23—控制器。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
本实用新型的烤胶机，如图1、图2、图3和图4所示，包括底座1，所述底座1上固定设置有电机2和保温壳3，所述电机2竖直设置，且电机2的主轴连接有水平的转盘4，所述转盘4上设置有多个晶圆定位槽5，多个晶圆定位槽5绕转盘4的中心呈圆周状均匀分布；所述保温壳3的内腔由竖直的隔板12分隔成为预热腔6、加热腔7以及预冷腔8，所述加热腔7内设置有加热组件9；所述转盘4部分位于保温壳3内，部分位于保温壳3外，且预热腔6、加热腔7以及预冷腔8中均有一晶圆定位槽5。
保温壳3壳直接采用保温材料，也可以在金属壳体外部包覆保温材料，起到隔热的作用，以降低热损耗，提高热利用率。转盘4用于传输晶圆，将待烘干的晶圆放在保温壳3外的晶圆定位槽5中，然后利用电机2带动转盘4转动，即可将晶圆运输至保温壳3内，同时，又能够将烘干后的晶圆从保温壳3内运输至保温壳3外，实现连续烘烤，以提高工作效率。
为了确保转盘4的顺利转动，转盘4与保温壳3之间难以完全密封，不利于保温，因此，将保温壳3的内腔分隔为预热腔6、加热腔7以及预冷腔8，只在加热腔7中设置加热组件9，加热腔7中的少量热量进入预热腔6和预冷腔8，预热腔6可对晶圆进行预热，预冷腔8可对晶圆进行预冷，以更加充分的利用热量，降低热损耗，避免加热腔7中的热量直接排空而流失。
加热组件9可以是电加热丝等各种常见的电加热结构，优选的，所述加热组件9为加热基板。晶圆一般为矩形片状，加热组件9采用水平的加热基板，可对晶圆均匀地加热，且保证烘干效率。
转盘4可以是金属转盘，优选的，所述转盘4为隔热转盘，具体可以是陶瓷材料等耐高温隔热材质。所述隔热转盘上设置有多个通孔10，所述通孔10的下端孔口设置有导热板11，所述导热板11与通孔10组成晶圆定位槽5。导热板11可采用铜板等导热系数高的材质，厚度不宜过大，在1mm左右，以保证传热速率。导热板11可嵌入转盘4下表面，导热板11的下表面与转盘4的下表面齐平，保证转盘4的上下表面平整光滑，从而有利于提高转盘4与保温壳3之间的密封。
隔板12可采用金属板等，优选的，所述隔板12为隔热材质，减少加热腔7中的热量流失，有利于降低能耗。
为了进一步地提高保温效果，所述转盘4与保温壳3的连接缝隙中设置有密封结构13。密封结构13可采用柔性金属密封，既能够起到密封作用，又能够降低转盘4的转动阻力。
所述转盘4位于保温壳3外的部分具有两个晶圆定位槽5，一个晶圆定位槽5可用于装入晶圆，另外一个晶圆定位槽5用于取出晶圆。所述保温壳3的内腔中还由隔板12分隔出了多个余热腔21，分隔更多的内腔，增加了加热腔7到保温壳3两端的距离，可进一步地降低散热速度，减少热损耗。
为了实现自动化地装卸晶圆，所述保温壳3外设置有一装料工位和一卸料工位，装料工位处设置有装料机构，卸料工位处设置有卸料机构。
具体地，每个晶圆定位槽5的槽底均设置有装卸通孔14，所述装料机构和卸料机构均包括一顶杆15、一支撑筒16以及一水平的传输臂17，所述顶杆15竖直设置，且顶杆15的下端连接有一升降驱动机构18，所述支撑筒16位于顶杆15的上方，且位于装料工位的顶杆15、支撑筒16、晶圆定位槽5的装卸通孔14同轴，位于卸料工位的顶杆15、支撑筒16、晶圆定位槽5的装卸通孔14同轴，所述支撑筒16的侧壁设置有从支撑筒16上端面延伸至下端面的分离缺口19，所述分离缺口19的宽度大于顶杆15的直径，所述支撑筒16与传输臂17固定连接，传输臂17连接有一转动驱动机构20。
支撑筒16和顶杆15均能够通过其上端面支撑晶圆，支撑筒16上端面的面积略小于晶圆的面积，且支撑筒16采用薄壁管，厚度在1mm以下，顶杆15能够与支撑筒16间隙配合。装料过程为：经过匀胶机涂胶后的晶圆放在支撑筒16上端面，转动驱动机构20带动传输臂17转动一定的角度，使得传输臂17将晶圆输送至装料工位，此时，装料工位的升降驱动机构18驱动顶杆15向上移动，顶杆15以此穿过晶圆定位槽5的装卸通孔14和支撑筒16，将晶圆顶起，然后转动驱动机构20带动传输臂17复位，由于在支撑筒16的侧壁设置了分离缺口19，支撑筒16通过分离缺口19与顶杆15分离，升降驱动机构18再驱动顶杆15向下移动至初始位置，带动晶圆向下移动，当顶杆15的上端经过装卸通孔14时，晶圆落在晶圆定位槽5的槽底，完成装料。卸料时，卸料工位的升降驱动机构18驱动顶杆15向上移动，当顶杆15的上端经过装卸通孔14时，将晶圆定位槽5中的晶圆顶起，当顶杆15运动至行程的最高位置时，用于卸料的转动驱动机构20带动传输臂17转动，将支撑筒16输送至卸料工位，顶杆15通过支撑筒16上的分离缺口19进入支撑筒16，然后升降驱动机构18驱动顶杆15向下移动至初始位置，转动驱动机构20带动传输臂17复位，即可将烘干后的晶圆输送至下一工位。
为了使装料机构、卸料机构自动、协调地动作，所述顶杆15为空心杆，所述顶杆15顶部内设置有晶圆探测器22，所述晶圆探测器22连接有控制器23，所述升降驱动机构18和转动驱动机构20均与控制器23电连接。控制器23可采用现有常用控制元件，如PLC等。晶圆探测器22可采用常规的光电传感器等，用于检测晶圆是否到达目标位置，如卸料时，当烘干后的晶圆随着转盘4移动至卸料工位时，晶圆探测器22能够检测到晶圆，并将信号传输至控制器23，控制器则控制卸料工位的升降驱动机构18动作，再控制转动驱动机构20动作，已完成卸料。
升降驱动机构18可以是气缸等，优选的，所述升降驱动机构18为直线电机，所述转动驱动机构20包括转动驱动电机和减速器，所述转动驱动电机与减速器相连，所述减速器连接有一竖直的转轴，所述转轴与传输臂17固定连接。
综上，本实用新型能够实现自动化、连续化地晶圆烘干，提高工作效率，有利于实现大规模、批量化的生产。
