显示装置、光掩模和显示装置的制造方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2019年4月1日提交到韩国知识产权局的第10-2019-0038044号韩国专利申请的优先权及权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。
技术领域
本公开的一些示例实施方式涉及显示装置、光掩模和显示装置的制造方法。
背景技术
诸如有机发光二极管显示器和液晶显示器的显示装置已被广泛使用。通常，显示装置包括作为用于显示图像的单元的多个像素和驱动单元。驱动单元包括用于将数据电压施加到像素的数据驱动器、以及用于施加用于控制数据电压的传输的栅极信号的栅极驱动器。
栅极驱动器和数据驱动器可以以芯片形式安装在印刷电路板(PCB)上，以连接到显示面板。替代性地，在不需要薄膜晶体管的沟道的高迁移率的栅极驱动器的情况下，可将其集成在显示面板上而不将其形成为单独的芯片。
在本背景技术部分中所公开的上述信息仅用于增强对本发明的背景的理解，并因此其可能包含不构成现有技术的信息。
发明内容
一些示例实施方式的各方面可包括显示装置和显示装置的制造方法，其中在整个显示区域中最小化或减少了死角并且亮度相对均匀。
一些示例实施方式的各方面可包括能够防止或减少在扇出布线图案化期间由于扇出线的断开或者相邻的扇出线之间的短路引起的开路缺陷的光掩模。
根据一些示例实施方式，显示装置包括衬底、第一布线层、第二布线层、数据扇出和数据柔性印刷电路板，衬底包括显示区域和外围区域；第一布线层配置成在显示区域中传输栅极信号；第二布线层配置成在显示区域中传输数据电压；数据扇出包括与第二布线层连接的第一数据扇出线；并且数据柔性印刷电路板在外围区域中电连接到第一数据扇出线，其中，第一数据扇出线包括具有之字形形状的第一之字形部和从第一之字形部延伸的第一直线部，并且第一直线部的宽度大于第一之字形部的宽度。
根据一些示例实施方式，数据扇出还可包括与第一数据扇出线相邻的第二数据扇出线，第二数据扇出线可包括具有之字形形状的第二之字形部和从第二之字形部延伸的第二直线部，第一之字形部和第二之字形部中的每个可包括在第一方向上延伸的部分和在与第一方向相交的第二方向上延伸的部分，并且第一之字形部与第二之字形部之间的最小距离可大于在第一之字形部的第一方向上延伸的部分之间的距离。
根据一些示例实施方式，第二数据扇出线可比第一数据扇出线更靠近数据扇出的中心，并且第二之字形部的长度可长于第一之字形部的长度。
根据一些示例实施方式，第一直线部的长度可长于第二直线部的长度。
根据一些示例实施方式，第一数据扇出线的宽度可大于第二数据扇出线的宽度。
根据一些示例实施方式，栅极柔性印刷电路板可包括数据驱动集成电路。
根据一些示例实施方式，显示装置还可包括定位在外围区域中的栅极驱动器。
根据一些示例实施方式，显示装置还可包括栅极扇出和栅极柔性印刷电路板，栅极扇出包括与第一布线层连接的第一栅极扇出线，并且栅极柔性印刷电路板在衬底的外围区域中电连接到第一栅极扇出线，其中，第一栅极扇出线可包括具有之字形形状的第三之字形部和从第三之字形部延伸的第三直线部，并且第三直线部的宽度可大于第三之字形部的宽度。
根据一些示例实施方式，栅极扇出还可包括与第一栅极扇出线相邻的第二栅极扇出线，第二栅极扇出线可包括具有之字形形状的第四之字形部和从第四之字形部延伸的第四直线部，第三之字形部和第四之字形部中的每个可包括在第一方向上延伸的部分和在与第一方向相交的第二方向上延伸的部分，并且第三之字形部与第四之字形部之间的最小距离可大于第二之字形部中的在第二方向上延伸的部分之间的距离。
根据一些示例实施方式，第二栅极扇出线可比第一栅极扇出线更靠近栅极扇出的中心，并且第四之字形部的长度可长于第三之字形部的长度。
根据一些示例实施方式，第三直线部的长度可长于第四直线部的长度。
根据一些示例实施方式，第一栅极扇出线的宽度可大于第二栅极扇出线的宽度。
根据一些示例实施方式，光掩模包括配置成透射光的透射部和配置成阻挡光的阻挡部，其中，阻挡部可包括具有之字形形状的第一之字形部和从第一之字形部延伸的第一直线部，并且第一直线部的宽度可大于第一之字形部的宽度。
根据一些示例实施方式，阻挡部可包括第一狭缝，并且第一狭缝可从第一之字形部延伸到第一直线部。
根据一些示例实施方式，阻挡部还可包括第二之字形部、第二直线部和第二狭缝，第二之字形部具有之字形形状，第二直线部从第二之字形部延伸，并且第二狭缝从第二之字形部延伸到第二直线部，其中，第一之字形部和第二之字形部中的每个可包括在第一方向上延伸的部分和在与第一方向相交的第二方向上延伸的部分，并且第一之字形部与第二之字形部之间的最小距离可大于第一之字形部中在第一方向上延伸的部分之间的距离。
根据一些示例实施方式，第二之字形部的长度可长于第一之字形部的长度。
根据一些示例实施方式，在显示装置的制造方法中，该方法包括：在衬底上形成导电层；在导电层上形成光致抗蚀剂膜；通过使用光掩模对光致抗蚀剂膜进行曝光和显影来形成光致抗蚀剂图案；以及通过蚀刻导电层而形成扇出线的之字形部和直线部，并且扇出线的直线部的宽度可大于扇出线的之字形部的宽度。
根据一些示例实施方式，光掩模可包括具有阻挡部和透射部，阻挡部具有与扇出线对应的形状，并且透射部作为外部区，并且阻挡部可包括沿着阻挡部延伸的方向形成的狭缝。
根据一些示例实施方式，在形成扇出线的之字形部和直线部时形成的扇出线的宽度可小于光掩模的阻挡部的宽度。
根据一些示例实施方式，扇出线可电连接到数据驱动集成电路或栅极驱动集成电路。
根据一些示例实施方式，即使当柔性印刷电路板与显示区域之间的距离窄时，也可在整个显示区域中获得均匀的亮度，并且可减小死区。
此外，通过调节扇出线的宽度或扇出线之间的距离，可防止或减少由于扇出线的断开或相邻的扇出线之间的短路而引起的开路缺陷。
另外，当形成扇出线时，可通过使用包括狭缝的光掩模来增加光掩模的分辨率。
附图说明
图1示出了根据一些示例实施方式的显示装置的示意性框图。
图2示出了图1中所示的显示装置的部分A的放大平面图。
图3示出了一些数据扇出线的俯视图。
图4示出了根据一些示例实施方式的显示装置的框图。
图5示出了图4中所示的显示装置的部分B的放大平面图。
图6示出了一些栅极扇出线的俯视图。
图7是示出根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法的流程图。
图8示出了根据一些示例实施方式的在显示装置的制造方法中使用的光掩模的俯视图。
图9至图12示出了示出根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法的每个工艺步骤的剖面图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图对一些示例实施方式的各方面进行更加详细地描述，其中，相同的附图标记始终指示相同的元件。然而，本发明可以以各种不同的形式实施，并且不应被解释为仅受限于本文中所示的实施方式。相反，将这些实施方式提供作为示例，以使得本公开将是彻底和完整的，并且将向本领域技术人员全面地传达本发明的方面和特征。相应地，对于本领域普通技术人员完整地理解本发明的方面和特征而言并不是必要的工艺、元件和技术可不被描述。除非另有说明，否则在整个附图和书面描述中相同的附图标记表示相同的元件，并因此其描述可不被重复。在附图中，为了清楚起见，元件、层和区的相对尺寸可被放大。
应理解，尽管术语“第一”、“第二”、“第三”等可在本文中用于描述各种元件、部件、区、层和/或部分，但是这些元件、部件、区、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语用于将一个元件、部件、区、层或者部分与另一元件、部件、区、层或者部分区分开。因此，下面所描述的第一元件、部件、区、层或者部分可被称为第二元件、部件、区、层或者部分，而不背离本发明的精神和范围。
空间相对术语诸如“下面(beneath)”、“下方(below)”、“下(lower)”、“在...之下(under)”、“上方(above)”、“上(upper)”等可在本文中出于解释的便利而使用，以描述如附图中所示的一个元件或者特征与另一元件或者特征的关系。应理解，除了附图中所示的取向之外，空间相对术语旨在还包含装置在使用或操作中的不同取向。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件或者特征“下方(below)”、“下方(beneath)”或者“在...之下(under)”的元件将随后被取向为在其它元件或特征“上方(above)”。因此，示例术语“下方(below)”和“在...之下(under)”可包含上方和下方的取向这两者。装置可以为其它方式取向(例如，旋转90度或者在其它取向)，并且本文中所使用的空间相对描述词应被相应地解释。
应理解，当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或者“耦接到”另一元件或层时，该元件或层可直接在另一元件或层上、直接连接到或者耦接到另一元件或层，或者可存在有中间元件或层。另外，还应理解，当元件或层被称为在两个元件或层“之间”时，该元件或层可为两个元件或层之间的唯一元件或层，或者也可存在有一个或更多个中间元件或层。
本文中所使用的术语是仅出于描述特定实施方式的目的，而不旨在对本发明的限制。除非上下文中另有明确指示，否则如本文中所使用的单数形式“一(a)”和“一(an)”也旨在包括复数形式。还应理解，当术语“包括(comprise)”、“包括有(comprising)”、“包括(include)”和“包括有(including)”在本说明书中使用时，指示所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或者更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其集群的存在或者添加。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或更多个的任何和所有组合。在一列元件之后的表述诸如“至少一个”修饰整列元件，而不是修饰该列中的个别元件。
如本文中所使用的，术语“基本上(substantially)”、“约(about)”以及类似术语用作近似的术语而不是程度的术语，并且旨在考虑本领域普通技术人员将认识到的测量值或计算值的固有偏差。此外，当描述本发明构思的实施方式时，“可(may)”的使用是指“本发明的一个或更多个实施方式”。如本文中所使用的，术语“使用(use)”、“使用(using)”和“使用的(used)”可被考虑为分别与术语“利用(utilize)”、“利用(utilizing)”和“利用的(utilized)”同义。而且，术语“示例性(exemplary)”旨在指示示例或者说明。
本文中所描述的根据本发明的实施方式的显示装置和/或任何其它相关装置或部件可利用任何合适的硬件来实现。例如，显示装置可包括显示面板和至少一个数据柔性印刷电路板和/或至少一个栅极柔性印刷电路板。至少一个数据柔性印刷电路板可包括通过数据扇出连接到显示面板的数据驱动集成电路。至少一个栅极柔性印刷电路板可包括通过栅极扇出连接到显示面板的栅极驱动集成电路。这些装置的各种部件可形成在一个集成电路(IC)芯片上或形成在单独的IC芯片上。此外，这些装置的各种部件可实现在柔性印刷电路膜、带载封装(TCP)、印刷电路板(PCB)上或形成在一个衬底上。而且，本领域技术人员应该认识到，各种部件的功能可组合或集成到单个部件中，或者特定部件的功能可分布在一个或更多个其它部件上，而不背离本发明的示例性实施方式的精神和范围。
除非另有限定，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还应理解，除非在本文中明确地这样限定，否则诸如常用词典中限定的那些术语应被解释为具有与它们在相关技术和/或说明书的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于正式的含义来解释。
图1示出了根据一些示例实施方式的显示装置的示意性框图。根据一些示例实施方式的显示装置包括显示面板300和至少一个数据柔性印刷电路板500。
显示面板300可包括在诸如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)显示器等的各种显示装置中。
显示面板300包括衬底110，并且衬底110包括用于显示图像的显示区域DA和作为剩余区域的外围区域PA。
显示区域DA中定位有多个栅极线121、多个数据线171和与栅极线121和数据线171连接的多个像素PX。
栅极线121可传输栅极信号，可基本上在第一方向x上延伸，并且可彼此大致平行。
数据线171可传输与图像信号对应的数据电压，可在与第一方向x相交的第二方向v上延伸，并且可基本上彼此平行。栅极线121和数据线171可分别称为第一布线层和第二布线层。
像素PX以基本上矩阵形式排列。像素PX中的每个可包括与栅极线121和数据线171电连接的至少一个开关元件以及与至少一个开关元件连接的至少一个像素电极。开关元件是诸如集成在显示面板300上的薄膜晶体管的电子元件，可包括栅极端子、输入端子和输出端子。开关元件可根据栅极线121的栅极信号来导通或关断，以选择性地将数据电压从数据线171传输到像素电极。像素PX可取决于施加到像素电极的数据电压来显示对应的图像。外围区域PA可定位在显示区域DA周围(例如，围绕其)，或者可定位在显示面板300的边缘处。
栅极驱动器400可定位在外围区域PA的相对两侧上。显示区域DA的栅极线121和数据线171可定位在外围区域PA中并且可从显示区域DA延伸。
栅极驱动器400可与栅极线121连接以将栅极信号传输到栅极线121。栅极驱动器400可通过相同的工艺与诸如显示区域DA的薄膜晶体管的电子元件一起直接形成在显示面板300的外围区域PA上。
栅极驱动器400包括相对于显示区域DA定位在外围区域PA的相对两侧处的第一栅极驱动器400a和第二栅极驱动器400b。在本示例实施方式中，第一栅极驱动器400a定位在外围区域PA的左侧处，而第二栅极驱动器400b定位在外围区域PA的右侧处。
第一栅极驱动器400a可包括以从属方式连接的多个级，并且第二栅极驱动器400b可包括以从属方式连接的多个级。第一栅极驱动器400a和第二栅极驱动器400b的对应的级可与相同的栅极线121连接以施加栅极信号。由此，即使在放大显示面板300时，也可通过从显示面板300的相对两侧向栅极线121施加栅极信号来防止或减少由于栅极信号的延迟引起的显示错误。
尽管第一栅极驱动器400a和第二栅极驱动器400b在图1中被示出为分别定位在外围区域PA的左侧和右侧处，但是实施方式不限于此，并且第一栅极驱动器400a和第二栅极驱动器400b可定位在外围区域PA中的任何位置处。根据另一示例性实施方式，第一栅极驱动器400a和第二栅极驱动器400b中的一个可被省略。外围区域PA中定位有与定位在显示区域DA中的数据线171连接的数据扇出180。数据扇出180包括多个数据扇出线181。数据扇出线181定位在外围区域PA中，并且定位在数据柔性印刷电路板500与显示区域DA之间。在外围区域PA中，数据扇出线181中的每个的第一端电连接到显示区域DA的数据线171，并且数据扇出线181中的每个的第二端连接到稍后将描述的数据柔性印刷电路板500的数据驱动集成电路550。
数据扇出线181可定位在与定位在显示区域DA中的栅极线121相同层处，并且可通过开口连接到显示区域DA的数据线171。然而，实施方式不限于此，数据扇出线181可在外围区域PA中定位在与显示区域DA的数据线171相同层处，或者可定位在与栅极线121和数据线171不同层处。
数据柔性印刷电路板500可被弯曲，并且在显示面板300的外围区域PA中，数据柔性印刷电路板500的一侧可连接到显示面板300的数据扇出线181。数据柔性印刷电路板500包括数据驱动集成电路550，数据驱动集成电路550用于与输入视频信号对应地生成作为灰度级电压(例如，灰度电压)的数据电压。尽管在图1中示出一个数据柔性印刷电路板500包括两个数据驱动集成电路550，但是实施方式不限于此，并且一个数据柔性印刷电路板500可包括仅一个数据驱动集成电路550，或者可包括三个或更多个数据驱动集成电路550。
在下文中，将参照图2和图3对根据示例性实施方式的显示装置的数据扇出180进行描述。图2示出了图1中所示的显示装置的部分A的放大平面图，并且图3示出了一些数据扇出线的俯视图。例如，图3示出了在图2的左侧处示出的两个数据扇出线181的放大俯视图。
参照图2，数据扇出线181中的每个包括之字形部185和直线部186。之字形部185可定位成与图1的数据柔性印刷电路板500相邻，并且可基本上在第二方向v上延伸。之字形部185的一端可电连接到数据柔性印刷电路板500。
之字形部185为数据扇出线181的之字形部分。之字形部185具有沿第一方向x延伸的多个部分和沿第二方向y延伸的多个部分。沿第一方向x延伸的部分和沿第二方向v延伸的部分在之字形部185中交替地排列。
随着数据扇出线181定位成更靠近数据扇出180的边缘，包括在数据扇出线181中的之字形部185的长度变短。在这种情况下，之字形部185的长度可包括之字形部185的布线的整个长度。换言之，定位成更靠近数据扇出180的边缘的数据扇出线181具有较少数量的沿第一方向x延伸的部分和沿第二方向v延伸的部分。
随着距数据扇出180的中心的距离增加，距数据驱动集成电路550到待连接的数据线的距离变得更长。换言之，定位在数据扇出180的边缘处的数据扇出线181比定位在数据扇出180的中心处的数据扇出线181更长。在这种情况下，定位在边缘处的长数据扇出线181的电阻大于定位在中心处的数据扇出线181的电阻。因此，由于根据数据扇出线181的长度差的电阻差而可能导致数据电压的不同电压降，从而导致每个区的亮度不均匀。
另外，随着数据柔性印刷电路板500更靠近显示区域DA，即，随着外围区域PA变得更窄，数据扇出线181的长度中的差异增加。因此，难以在显示区域DA中均匀地维持亮度，并且难以减小与外围区域PA对应的死区。
然而，在根据示例性实施方式的显示装置中，数据扇出线181的之字形部185形成为从数据扇出180的中心朝向边缘变短，并因此可抵消由于数据扇出线181的长度引起的电阻中的差异以在显示装置的所有区域中实现均匀的亮度。
直线部186可定位成与显示区域DA相邻。直线部186在之字形部185处线性地延伸以连接到定位在图1的显示区域DA中的数据线171。因为数据扇出线181定位成更靠近数据扇出180的边缘，因此其直线部186的长度变得更短。取决于直线部186的长度的布线电阻中的差异可基本上由上述之字形部185的长度抵消。
另外，定位成更靠近数据扇出180的边缘的数据扇出线181可具有比定位成更靠近数据扇出180的中心的数据扇出线181的宽度更大的宽度。换言之，定位在数据扇出180的边缘处的之字形部185可具有比定位在数据扇出180的中心处的之字形部185的宽度更大的宽度，并且定位在数据扇出180的边缘处的直线部186可具有比定位在数据扇出180的中心处的直线部186的宽度更大的宽度。因此，能够通过调节之字形部185的长度来补偿(例如，更有效地消除)取决于直线部186的长度的布线电阻差异。参照图3，直线部186的宽度DW2大于之字形部185的宽度DW1。在这种情况下，直线部186的宽度DW2和之字形部185的宽度DW1可指示在平面图中在与布线延伸的方向垂直的方向上的宽度。
数据扇出线181可使用光掩模来图案化，并且光掩模包括定位在与待形成数据扇出线181中的每个的区对应的区中的阻挡部。由于数据扇出180中的直线部186比之字形部185更小的密度间隔开，因此光掩模的阻挡部在直线部186处比在之字形部185处更小的紧密度间隔开，并且透射部在直线部186处比在之字形部185处更宽地间隔开。其结果，到达直线部186的光量比到达之字形部185的光量相对更大。因此，当使直线部186的宽度DW2等于或小于之字形部185的宽度DW1时，直线部186的图案被过度蚀刻，从而产生直线部186断开的缺陷。
然而，在根据示例性实施方式的显示装置的情况下，直线部186的宽度DW2可形成为大于之字形部185的宽度DW1，从而防止或减少直线部186破损而被打开的缺陷。例如，直线部186的宽度DW2可在5μm至7μm的范围内，并且之字形部185的宽度DW1可为4μm以上且小于5μm。然而，直线部186的宽度DW2和之字形部185的宽度DW1不限于此。
两个相邻的数据扇出线181的之字形部185之间的最小距离DD2可大于在第一方向x上从数据扇出线181的之字形部185延伸的部分之间的距离DD1。相应地，可防止或减少由于相邻的数据扇出线181的之字形部185之间的短路引起的缺陷。
直线部186中的每个的与显示区域DA相邻的端部可连接到抗静电电路。抗静电电路可包括至少一个晶体管，以防止或减少由于瞬时过电流引起的电路损坏。抗静电电路可连接到图1的显示区域DA的数据线171。
图4示出了根据示例性实施方式的显示装置的框图。根据示例性实施方式的显示装置包括显示面板300、数据柔性印刷电路板500和栅极柔性印刷电路板410。与图1的显示装置不同，参照图4，栅极驱动器没有直接形成在显示面板300上，并且芯片型的栅极驱动集成电路450安装在栅极柔性印刷电路板410上并与显示面板300连接。在下文中，与图1的内容重复的内容的详细描述可被省略。
显示面板300包括用于显示图像的显示区域DA和作为剩余区域的外围区域PA。多个栅极线121、多个数据线171和与栅极线121和数据线171连接的多个像素PX定位在显示区域DA中。
栅极线121可传输栅极信号，可基本上在第一方向x上延伸，并且可彼此大致平行。
数据线171可传输与图像信号对应的数据电压，可在与第一方向x相交(例如，横跨其)的第二方向y上延伸，并且数据线171可基本上彼此平行。
外围区域PA可定位在显示区域DA周围(例如，部分地围绕其或者围绕其)，或者可定位在显示面板300的边缘处。
外围区域PA可包括与定位在显示区域DA中的数据线连接的数据扇出180。数据扇出180包括多个数据扇出线181。在外围区域PA中，数据扇出线181电连接到显示区域DA的数据线，并且电连接到数据柔性印刷电路板500的数据驱动集成电路550。数据扇出180与参照图1至图3描述的相同。
外围区域PA包括与定位在显示区域DA中的栅极线121连接的栅极扇出130。栅极扇出130包括多个栅极扇出线131。栅极扇出线131定位在外围区域PA中，并且定位在栅极柔性印刷电路板410与显示区域DA之间。在外围区域PA中栅极扇出线131中的每个的第一端电连接到显示区域DA的栅极线121，并且栅极扇出线131中的每个的第二端连接到稍后将描述的栅极柔性印刷电路板410的栅极驱动集成电路450。
栅极柔性印刷电路板410可被弯曲，并且在显示面板300的外围区域PA中栅极柔性印刷电路板410的一侧可连接到显示面板300的栅极扇出线131。栅极柔性印刷电路板410包括用于产生栅极信号的栅极驱动集成电路450。尽管在图4中示出一个栅极柔性印刷电路板410包括两个栅极驱动集成电路450，但是实施方式不限于此，并且一个栅极柔性印刷电路板410可包括仅一个栅极驱动集成电路450，或者可包括三个或更多个栅极驱动集成电路450。
在下文中，将参照图5和图6对根据一些示例实施方式的显示装置的栅极扇出130进行描述。图5示出了图4中所示的显示装置的部分B的放大平面图。图6示出了一些栅极扇出线131的俯视图。例如，图6示出了在图5的下侧处示出的两个栅极扇出线131的放大俯视图。
参照图5，栅极扇出线131中的每个包括之字形部135和直线部136。之字形部135可定位成与图4的栅极柔性印刷电路板410相邻，并且可基本上在第一方向x上延伸。之字形部135的一端可电连接到栅极柔性印刷电路板410。
之字形部135具有在第一方向x上延伸的多个部分和在第二方向y上延伸的多个部分。在第一方向x上延伸的部分和在第二方向y上延伸的部分在之字形部135中交替地定位。
随着栅极扇出线131定位成更靠近栅极扇出130的边缘，包括在栅极扇出线131中的之字形部135的长度变短。换言之，定位成更靠近栅极扇出130的边缘的栅极扇出线131具有较少数量的在第一方向x上延伸的部分和在第二方向y上延伸的部分。
随着距栅极扇出130的中心的距离增加，距栅极驱动集成电路450到待连接的栅极线的距离变得更长。换言之，定位在栅极扇出130的边缘处的栅极扇出线131比定位在栅极扇出130的中心处的栅极扇出线131更长。在这种情况下，定位在边缘处的长栅极扇出线131的电阻大于定位在中心处的栅极扇出线131的电阻。
相应地，由于栅极扇出线131的长度之间的差异而产生电阻差异。另外，随着栅极柔性印刷电路板410更靠近显示区域DA，即，随着外围区域PA变得更窄，栅极扇出线131的长度中的差异增加。
然而，栅极扇出线131的之字形部135可从栅极扇出130的中心朝向其边缘缩短，以抵消由于栅极扇出线131的长度引起的电阻差异。
直线部136在之字形部135处线性地延伸以连接到定位在显示区域DA中的数据线。随着栅极扇出线131定位成更靠近栅极扇出130的边缘，包括在栅极扇出线131中的直线部136的长度变得更长。取决于直线部136的长度的布线电阻中的差异可由上述之字形部135的长度抵消。
另外，定位成更靠近栅极扇出130的边缘的栅极扇出线131可具有比定位成更靠近栅极扇出130的中心的栅极扇出线131的宽度更大的宽度。换言之，定位在其边缘处的之字形部135可具有比定位在其中心处的之字形部185的宽度更大的宽度，并且定位在其边缘处的直线部136可具有比定位在其中心处的直线部186的宽度更大的宽度。相应地，能够通过调节之字形部135的长度和直线部136的宽度来更有效地抵消取决于直线部136的长度的布线电阻差异。
参照图6，栅极扇出线131的直线部136的宽度GW2大于其之字形部135的宽度GW1。在这种情况下，直线部136的宽度GW2和之字形部135的宽度GW1可指示在平面图中在与布线延伸的方向垂直的方向上的宽度。
在栅极扇出130中，直线部136定位成比之字形部135更小的紧密度。因此，当直线部136的宽度GW2设置为等于或小于之字形部135的宽度GW1时，到达直线部136的光量比之字形部135的光量相对更大，并且在使用光掩模的蚀刻过程中，图案被过度蚀刻以使直线部136的布线被打开。
在根据一些示例实施方式的显示装置的情况下，直线部136的宽度GW2可形成为大于之字形部135的宽度GW1，从而防止或减少直线部136破损而被打开的缺陷。
两个相邻的栅极扇出线131的之字形部135之间的最小距离GD2可大于在第二方向v上从栅极扇出线131的之字形部135延伸的部分之间的距离GD1。相应地，可防止或减少由于相邻的栅极扇出线131的之字形部135之间的短路引起的缺陷。
现在将参照图7至图12对根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法进行描述。图7是示出根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法的流程图。
参照图7，根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法包括在衬底上形成导电层和光致抗蚀剂膜(S101)。
接着，通过使用光掩模对光致抗蚀剂膜进行曝光和显影以形成光致抗蚀剂图案(S102)。光致抗蚀剂膜可由正型抗蚀剂制成。
接着，使用光致抗蚀剂图案作为光掩模来蚀刻导电层(S103)以形成扇出线的之字形部和直线部的图案，并且去除光致抗蚀剂图案(S104)。在本文中，导电层可被干蚀刻或湿蚀刻。
图8示出了根据一些示例实施方式的在显示装置的制造方法中使用的光掩模1000的俯视图。例如，图8示出了用于形成图3中所示的数据扇出线181的光掩模1000的一部分。
光掩模1000具有阻挡部1001，而阻挡部1001中的每个具有与数据扇出线181中的每个的图案对应的形状。相应地，阻挡部1001的直线部的宽度MW2大于阻挡部1001的之字形部的宽度MW1。另外，两个相邻的阻挡部1001的之字形部之间的最小距离MD2可大于从阻挡部1001的之字形部在第一方向x上延伸的部分之间的距离MD1。
光掩模1000的阻挡部1001中的每个包括沿阻挡部1001延伸的方向定位在阻挡部1001中的狭缝1001a。狭缝1001a可沿着相对于阻挡部1001的宽度方向的中心定位。另外，狭缝1001a可从阻挡部1001的之字形部延伸到阻挡部1001的直线部。尽管已经在图8中描述了光掩模1000以用于形成图3中所示的数据扇出线181，但是可使用光掩模1000来形成图6的栅极扇出线131。
图9至图12示出了示出根据一些示例实施方式的显示装置的制造方法的每个工艺步骤的剖面图。图9至图12示出了沿图3的线IX-IX截取的显示装置的剖面图。
参照图9，在衬底110上形成(例如，顺序地形成)绝缘层120、导电层181a和光致抗蚀剂膜PRL。
在光致抗蚀剂膜PRL上对光掩模1000进行曝光以暴露光致抗蚀剂膜PRL的一部分。光掩模1000包括透射部1002和阻挡部1001，通过透射部1002透射光，并且通过阻挡部1001不透射光。阻挡部1001的直线部的宽度MW2大于阻挡部1001的之字形部的宽度MW1。光掩模1000的阻挡部1001中的每个包括狭缝1001a。阻挡部1001可包括不透明材料。例如，阻挡部1001可包括铬等。
当光致抗蚀剂膜PRL由正型抗蚀剂制成时，光致抗蚀剂膜PRL的暴露部分被去除。在这种情况下，光掩模1000在与待形成数据扇出线181的区对应的区中具有阻挡部1001。另一方面，当光致抗蚀剂膜PRL由负型抗蚀剂制成时，光致抗蚀剂膜PRL的暴露部分保留。在这种情况下，光掩模1000在与待形成数据扇出线181的区对应的区中具有透射部1002。在下文中，以光致抗蚀剂膜PRL为正型抗蚀剂的情况为例进行说明。
参照图10，通过将光供给到光掩模1000来曝光和显影光致抗蚀剂膜PRL以形成光致抗蚀剂图案PRP。去除光致抗蚀剂膜PRL的暴露部分，以使得光致抗蚀剂图案PRP具有与光掩模1000的阻挡部1001相同的图案。形成光致抗蚀剂图案PRP的区对应于待形成数据扇出线181的区。
当使用包括狭缝1001a的光掩模1000时，少量的光也到达光致抗蚀剂膜PRL上与阻挡部1001对应的区。相应地，光致抗蚀剂图案PRP的宽度或高度形成为小于使用不包括狭缝1001a的光掩模1000的情况下的宽度或高度。即，通过使用具有相同宽度的阻挡部1001的光掩模1000，能够以更细的线宽对导体层181a进行图案化。
参照图11，形成数据扇出线181的之字形部185和直线部186。通过使用光致抗蚀剂图案PRP作为蚀刻光掩模来蚀刻导电层181a来形成数据扇出线181的之字形部185和直线部186。导电层181a可使用湿蚀刻来蚀刻。然而，实施方式不限于此，并且导电层181a可通过干蚀刻来蚀刻。
数据扇出线181可定位在栅极层中，并且可通过开口(未示出)电连接到定位在显示区域DA的数据层中的数据线171。然而，实施方式不限于此，数据扇出线181可定位在数据层中，或者定位在与栅极层和数据层不同的层中。
参照图12，去除光致抗蚀剂图案PRP。
最终形成的数据扇出线181的直线部186的宽度DW2大于其之字形部185的宽度DW1。
数据扇出线181的直线部186的宽度DW2可小于光掩模1000的阻挡部1001的直线部的宽度MW2。数据扇出线181的之字形部185的宽度DW1可小于光掩模1000的阻挡部1001的之字形部的宽度MW1。如上所述，当光掩模1000的阻挡部1001包括狭缝1001a时，可形成具有比阻挡部1001的宽度更小的宽度的导电层181a的图案。相应地，即使不密集地形成阻挡部1001，也可增加包括狭缝1001a的光掩模1000的分辨率，并因此容易形成更精细的图案。
尽管已参照图7至图12描述了形成数据扇出线181的方法，但是可将其应用于形成图4的栅极扇出线131。
虽然已结合目前被认为是实际的示例实施方式对本发明进行了描述，但是应当理解，本发明不限于所公开的实施方式，而是相反，旨在涵盖包括在所附权利要求书的精神和范围内的各种修改和等同布置。
