一种便于校准的补液系统
技术领域
本实用新型涉及半导体清洗设备领域，尤其涉及一种便于校准的补液系统。
背景技术
在随着工业的快速发展，清洗设备在多个领域都发挥着非常重要的作用，像目前发展势头较火的光伏和半导体领域，清洗设备即得到了大量应用。所谓清洗设备即在PVDF、PP等耐高温耐酸碱材质的槽体里配上化学品，在一定温度下对硅片等基底通过化学反应进行工艺处理的设备，一般的清洗设备包括槽式清洗机和链式清洗机，由槽体、循环系统、温控系统、机械传动系统、补液系统几大模块构成。目前针对补液系统主要有流量计补液、超声波补液、磁致伸缩补液三种方式，其中流量计补液精度较低，超声波、磁致伸缩补液基于其极高的补液精度在高端清洗设备上应用广泛。其基本控制原理为检测补液前后不同液位对应的模拟电信号，然后通过模拟信号得到与化学品量之间的对应关系，实现对补液量的精确控制。当前清洗设备的补液系统有两个缺点，首先超声波补液装置和磁致伸缩补液装置均需要进行校准，而目前补液管路设计都是直接通到槽内，这样校准补液装置时，需要人进入设备里面用容器接补出来的化学品是否准确，常规清洗设备多达数十个补液装置，而且所补加的液体多为强酸碱等腐蚀性极强的化学品，所以目前的清洗设备补液装置在校准时十分危险和麻烦。其次，现在补液桶一般都没标注液位，即使标注液位由于有些补液桶透明度低，看不到补液过程中液位实际波动情况，无法对补液是否准确进行初步判断。
专业术语
磁致伸缩液位计：
一种控制补液量的装置，原理：传感器测杆外配有一浮子，此浮子可以沿测杆随液位的变化而上下移动。在浮子内部有一组永久磁环。当脉冲电流磁场与浮子产生的磁环磁场相遇时，浮子周围的磁场发生改
变从而使得由磁致伸缩材料做成的波导丝在浮子所在的位置产生一个扭转波脉冲，这个脉冲以固定的速度沿波导丝传回并由检出机构检出。通过测量脉冲电流与扭转波的时间差可以精确地确定浮子所在的位置，即液面的位置。
药液校准：
不同液位计间均会有一定的差异，另外补液装置长时间使用会有一定偏移，需要输入补液量和实际补液量的差异，对补液系数进行修正，这个过程叫做校准。
实用新型内容
本实用新型主要针对补液系统提出了一种便于校准的管路结构设计，通过在补液桶下面管路上增加一个手动阀另外增加一路配有手动阀的旁通管道，校准化学品时将通往槽内的手动阀关闭打开旁路手动阀，即可安全方便的对补液装置进行校准。另外通过在补液装置上的补液桶上标注液位值，并在补液桶后面增加一个照明灯，使设备使用人员判断补液装置大体上是否准确。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种便于校准的补液系统，包括有补液桶、照明灯、气动阀、手动阀、补液管，所述补液桶外表面刻有刻度线，补液桶顶部设有磁致伸缩液位计，紧邻刻度线位置一侧固定有照明灯，照明灯固定在机台框架上，所述气动阀设置在补液桶主管路上，所述补液管是主管路的两个分管，其中一个补液管接通机台槽体内部，另一个补液管接通到机台外部，所述手动球阀分别设置在两个分管路上。
进一步的技术方案，所述补液桶内部还设有浮球，浮球与磁致伸缩液位计配合实时量测补液桶内液位变化。
进一步的技术方案，所述磁致伸缩液位仪型号为LC10VF-0800M-H41-A11或LC10PF-0710M-H41-A11。
进一步的技术方案，本补液系统优先配合黑硅清洗机，产品型号：KSQXJ-19400XXX。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
本实用新型主要针对补液系统提出了一种便于校准的管路结构设计，通过在补液桶下面主管路上的补液管增加一个手动阀另外增加一路也配有手动阀的补液管，校准化学品时将通往槽内的手动阀关闭打开机台外部的手动阀，即可安全方便的对补液装置进行校准。另外通过在补液装置上的补液桶上标注液位值，并在补液桶机台框架上增加一个照明灯，使设备使用人员判断补液装置大体上是否准确，本实用新型实现在机台外部进行化学品校准，简单方便，使用安全，在补液桶上标注液位，结合灯光照射，可以直观看到补液时液位波动情况，便于判断补液是否准确。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种便于校准的补液系统。
图中：1-操作门、2-浮球、3-补液桶、4-槽体、5-照明灯、6-气动阀、7-补液管、8-手动阀、9-机台框架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1所示，一种便于校准的补液系统，包括有补液桶3、照明灯5、气动阀6、手动阀8、补液管7，所述补液桶3外表面刻有刻度线，补液桶3顶部设有磁致伸缩液位计，紧邻刻度线位置一侧固定有照明灯5，照明灯5固定在机台框架5上，所述气动阀8设置在补液桶主管路上，所述补液管7是主管路的两个分管，其中一个补液管7接通机台槽体内部，另一个补液管7接通到机台外部，所述手动球阀8分别设置在两个分管上。
实施例：
本补液系统优先配合黑硅清洗机产品型号：KSQXJ-19400XXX使用，但不限于上述黑硅清洗机型号，本实用新型手动阀8/气动阀6材质PP/PVDF，型号规格D20D32D40D50D63中的一种，磁致伸缩液位计型号LC10VF-0800M-H41-A11或LC10PF-0710M-H41-A11，本补液系统具体工作原理如下；
所述补液桶3主管路连接有通入槽体4的补液管7，以及用于校准的通往机台外的补液管7，为描述方便通入槽体4的补液管7称为内管路，通往机台外的补液管7称为外管路，气动阀6设置在补液桶主管路上，下方的内管路上装有手动阀8，下方的外管路也装有手动阀8，所述气动阀6和手动阀8根据所补加化学品类型选用对应耐酸碱的PP/PVDF材质，优选的气动阀6为隔膜阀，手动阀8为球阀。正常生产状态下，内管路手动阀8常开，外管路手动阀8处于常闭状态，这样进行化学品补液时药液可以沿着内管路直接补加到槽体4内。当需要校准时，先通过黑硅机台侧壁上的操作门1内管路上的手动阀8关闭，然后打开外管路手动阀8，输入校准体积，点击启动补加按钮后，气动阀6随之打开液体流出，补液桶内的浮球随之移动到达对应液位后浮球反馈信号外管路手动阀8关闭，从外管路接到补加的实际体积，根据输入值和实际补加的化学品体积差异修正校准系数，直至输入值和实际补加的体积一致，完成校准过程。
同时本实用新型还设计了可实时初步判断补液是否准确的补液桶，补液桶上根据补液桶截面积计算出的均匀标记的体积值。化学品补液装置的校准需要花费太多时间，正常生产中很难进行高频率的化学品校准，该设计可以通过实时观察补液开始和结束时补液桶内液位值，其差值即为实际补液量，能够初步判断和设定值是否一致，以确定是否需要立刻进行补液系统的校准。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
