均温板的制程
技术领域
本发明涉及散热装置及其制程，特别是涉及一种均温板的制程。
背景技术
均温板此种散热装置，上板与下板的接合范围较大，且在制作的过程中需要注液管来进行注水与抽真空，因此要如何成功地封边而维持均温板内部的气密性，一直是业界重视的议题，业界也亟待一种稳定的制程可以依循。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术存在的上述不足，提供一种均温板的制程，便于实现对均温板成功封边而维持均温板内部的气密性。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种均温板的制程，包括：提供一上板、一下板以及一注液管，上板具有一第一槽道、一第一接合面以及一第一空间，下板具有一第二槽道、一第二接合面以及一第二空间，注液管具有一内开口以及一外开口；固定上板以及注液管，使得第一槽道与注液管结合在一起；固定上板、注液管以及下板，使得第一接合面与第二接合面结合在一起，也使得第二槽道与注液管结合在一起，此时，第一空间与第二空间共同形成一作用空间，注液管的内开口连通作用空间，注液管的外开口连通均温板的外部；借由注液管注水进入作用空间；进行抽真空制程，使得作用空间呈真空状态；以及压合第一槽道、注液管以及第二槽道。
于一实施例中，固定上板以及注液管的方式为电阻焊。
于一实施例中，固定上板、注液管以及下板的方式为硬焊。
于一实施例中，该均温板的制程还包括于借由注液管注水进入作用空间的步骤之前或之后，进行一抽真空制程，使作用空间呈真空状态。
本发明还提供一种均温板的制程，包括：提供一上板、一下板以及一注液管，上板具有一第一槽道、一第一接合面以及一第一空间，下板具有一第二槽道、一第二接合面以及一第二空间，注液管具有一内开口以及一外开口；固定下板以及注液管，使得第二槽道与注液管结合在一起；固定上板、注液管以及下板，使得第一接合面与第二接合面结合在一起，也使得第一槽道与注液管结合在一起，此时，第一空间与第二空间共同形成一作用空间，注液管的内开口连通作用空间，注液管的外开口连通均温板的外部；借由注液管注水进入作用空间；以及压合第一槽道、注液管以及第二槽道。
于一实施例中，固定下板以及注液管的方式选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，固定上板、注液管以及下板的方式选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，该均温板的制程还包括于借由注液管注水进入作用空间的步骤之前或之后，进行一抽真空制程，使作用空间呈真空状态。
本发明还提供一种均温板的制程，包括：提供一上板、一下板以及一注液管，上板具有一第一槽道、一第一接合面以及一第一空间，下板具有有一第二槽道、一第二接合面以及一第二空间，注液管具有一内开口以及一外开口；设置焊料于第一接合面与/或第二接合面；设置焊料于第一槽道、第二槽道与/或注液管的外缘；固定上板、下板以及注液管，使得第一接合面与第二接合面借由焊料而结合在一起，第一槽道与第二槽道也借由焊料而与注液管的外缘结合在一起，此时，第一空间与第二空间共同形成一作用空间，注液管的内开口连通作用空间，注液管的外开口连通均温板的外部；借由注液管注水进入作用空间；封闭外开口；以及压合第一槽道、注液管以及第二槽道。
于一实施例中，于提供上板、下板以及注液管的步骤前，上板与下板先经过一板材蚀刻步骤或板材冲压步骤、与一板材清洗步骤。
于一实施例中，于提供上板、下板以及注液管的步骤前，注液管先经过一清洗步骤。
于一实施例中，于设置焊料于第一接合面与/或第二接合面的步骤前，该均温板的制程还包括上板的第一空间与一毛细结构的烧结步骤。
于一实施例中，于设置焊料于第一接合面与/或第二接合面的步骤前，该均温板的制程还包括下板的第二空间与一毛细结构的烧结步骤。
于一实施例中，焊料选自下列之一：铜膏、不锈钢膏、铝合金膏、钛合金膏与铜银膏。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，是依序执行一电阻焊以及一硬焊。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，是先借由电阻焊方式固定上板的第一槽道与注液管，之后再借由硬焊方式固定上板与下板以及固定注液管与第二槽道。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，是先借由电阻焊方式固定下板的第二槽道与注液管，之后再借由硬焊方式固定上板与下板以及固定注液管与第一槽道。
于一实施例中，该均温板的制程还包括于借由注液管注水进入作用空间的步骤之前或之后，进行一抽真空制程，使作用空间呈真空状态。
于一实施例中，于封闭外开口的步骤前，选择去除位于贯孔以外的部分注液管。
本发明还提供一种均温板的制程，包括：提供一上板、一下板以及一注液管，上板具有一第一接合面，下板具有一槽道、一第二接合面以及一第一空间，注液管具有一内开口以及一外开口；固定下板以及注液管，使得槽道与注液管的外缘结合在一起；固定上板、注液管以及下板，使得第一接合面与第二接合面结合在一起，也使得上板与注液管的外缘结合在一起，此时，上板与第一空间共同形成一作用空间，注液管的内开口连通作用空间，注液管的外开口连通均温板的外部；借由注液管注水进入作用空间；以及压合上板、注液管以及槽道。
于一实施例中，固定下板以及注液管的方式选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，固定上板、注液管以及下板的方式选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，该均温板的制程还包括于借由注液管注水进入作用空间的步骤之前或之后，进行一抽真空制程，使作用空间呈真空状态。
本发明还提供一种均温板的制程，包括：提供一上板、一下板以及一注液管，上板具有一第一接合面，下板上设置有一槽道、一第二接合面以及一第一空间，注液管具有一内开口以及一外开口；设置焊料于第一接合面与/或第二接合面；设置焊料于槽道与/或注液管的外缘；固定上板、下板以及注液管，使得第一接合面与第二接合面借由焊料而结合在一起，槽道以及上板也借由焊料而与注液管的外缘结合在一起，此时，上板与第一空间共同形成一作用空间，注液管的内开口连通作用空间，注液管的外开口连通均温板的外部；借由注液管注水进入作用空间；封闭外开口；以及压合上板、注液管以及槽道。
于一实施例中，于提供上板、下板以及注液管的步骤前，上板与下板先经过一板材蚀刻步骤或板材冲压步骤、与一板材清洗步骤。
于一实施例中，于提供上板、下板以及注液管的步骤前，注液管先经过一清洗步骤。
于一实施例中，于设置焊料于第一接合面与/或第二接合面的步骤前，该均温板的制程还包括上板与一毛细结构的烧结步骤。
于一实施例中，于设置焊料于第一接合面与/或第二接合面的步骤前，该均温板的制程还包括下板的第一空间与一毛细结构的烧结步骤。
于一实施例中，焊料选自下列之一：铜膏、不锈钢膏、铝合金膏、钛合金膏与铜银膏。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，选自下列之一：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，是依序执行一电阻焊以及一硬焊。
于一实施例中，固定上板、下板以及注液管的方式，是先借由电阻焊方式固定下板的槽道与注液管，之后再借由硬焊方式固定上板与下板以及固定上板与注液管。
于一实施例中，该均温板的制程还包括于借由注液管注水进入作用空间的步骤之前或之后，进行一抽真空制程，使作用空间呈真空状态。
于一实施例中，于封闭外开口的步骤前，选择去除位于槽道以外的部分注液管。
本发明均温板的制程，便于实现对均温板成功封边而维持均温板内部的气密性。
附图说明
图1A至图1E是依据本发明的第一实施例所提供的均温板制程示意图。
图1F是依据本发明的第一实施例所提供的均温板内焊料与焊圈的结构示意图。
图2A至图2F是依据本发明的第二实施例所提供的均温板制程示意图。
图2G是依据本发明的第二实施例所提供的均温板内焊料的分布示意图。
图3A至图3F是依据本发明的第三实施例所提供的均温板制程示意图。
图3G是依据本发明的第三实施例所提供的均温板内焊料的分布示意图。
图4A至图4F是依据本发明的第四实施例所提供的均温板制程示意图。
图4G是依据本发明的第四实施例所提供的均温板内焊料的分布示意图。
具体实施方式
请参考图1A至图1E，其是依据本发明的第一实施例所提供的均温板制程示意图，该均温板制程包括：
(A)如图1A所示，提供一上板11以一下板12，其中上板11具有一第一槽道111、一第一接合面112以及一第一空间113；下板12具有一第二槽道121、一第二接合面122以及一第二空间123。
(B)如图1B所示，设置焊料13于该第一接合面112与第二接合面122。
(C)借由硬焊方式固定上板11与下板12，使得第一接合面112与第二接合面122借由焊料13而结合在一起，此时第一槽道111与第二槽道121共同形成一贯孔14，第一空间113与第二空间123共同形成一作用空间15。
(D)提供一注液管16，注液管具有一内开口161与一外开口162，并将该注液管16插入该贯孔14内。
(E)在外露的注液管16上套设一焊圈17，如图1C。
(F)加热焊圈17使其融化后，将注液管16与贯孔14的结合处予以封闭，如图1D所示。
(G)借由注液管16进行注水与抽真空制程。
(H)封闭注液管16的外开口162。
(I)压合第一槽道111、注液管16、第二槽道121以及焊圈17，使得注液管16完全封闭后形成一均温板1，此均温板1的作用空间15即可与外界隔离，如图1E所示。
在上述第一实施例所提供的均温板制程中，套设在注液管16管身上的焊圈17与焊料13之间的连接关系如图1F所示，在某些情况下熔解的焊圈17无法顺利往内渗透因而无法与焊料13连接在一起而影响到均温板1的密闭程度。因此，本发明也在其他实施例继续提供可行的均温板制程方法与改良的均温板结构。
请参考图2A至图2F，其是依据本发明的第二实施例所提供的均温板制程示意图，其中图2D是沿图2C中2D-2D线的均温板的剖面示意图，图2F是沿图2E中2F-2F线的均温板的剖面示意图。依据本发明的第二实施例提供一种均温板的制程以及以该制程所形成的均温板2，均温板的制程包括：
(A)提供一上板21、一下板22以及一注液管26。请参照图2A，上板21具有一第一槽道211、一第一接合面212以及一第一空间213；下板22具有一第二槽道221、一第二接合面222以及一第二空间223；注液管26具有一内开口261以及一外开口262。而在提供上述的上板21与下板22之前，上板21和下板22可先经过一板材蚀刻或板材冲压步骤、以及一板材清洗步骤。而在提供注液管26之前，注液管26也可先经过一清洗的步骤。
(B)设置焊料23A于该第一接合面212与/或该第二接合面222。如图2A所示，可借由涂布等方式，对应在上板21的第一接合面212与/或下板22的第二接合面222，设置焊料23A。此焊料23A可设置在上板21的第一接合面212与下板22的第二接合面222上，也可选择性地仅设置在上板21的第一接合面212或是下板22的第二接合面222上。此外，在设置焊料23A于该第一接合面212与/或该第二接合面222之前，可先执行上板21的第一空间213与一毛细结构的烧结步骤，或是下板22的第一空间223与一毛细结构的烧结步骤。
(C)设置焊料23B于第一槽道211、第二槽道221与/或注液管26的外缘。如图2A所示，可借由涂布等方式，对应在上板21的第一槽道211、下板22的第二槽道221与/或注液管26的外缘，设置焊料23B。此焊料23B可设置在上板21的第一槽道211上、下板22的第二槽道221上以及注液管26的外缘，但也可选择仅对应设置在上板21的第一槽道211与下板22的第二槽道221上，甚至于仅设置在注液管26的外缘，只要能确保注液管26与上板21以及注液管26与下板22之间，未来在固定时彼此间的缝隙可由扩散的焊料23B予以充填即可。
(D)固定上板21、下板22以及注液管26，使得第一接合面212与第二接合面222借由被加热而扩散的焊料23A而结合在一起，而上板21的第一槽道与下板22的第二槽道221也借由被加热而扩散的焊料23B而与注液管26的外缘结合在一起。请参照图2A至图2D，固定的过程中，注液管26可如图2A至图2B所示，先借由电阻焊的方式跟下板22的第二槽道221结合在一起后，再如图2C所示与上板21的第一槽道211结合在一起，或者也可相反，先与上板21的第一槽道211借由电阻焊而结合在一起后，再与下板22的第二槽道221结合在一起。此外，如图2D所示，由于第一槽道211跟第二槽道221所共同形成的一贯孔24，与注液管26之间设置有焊料23B，而上板21的第一接合面212与或下板22的第二接合面222上也形成有焊料23A，因此，也可借由硬焊的方式让上板21、下板22以及注液管26三者稳固地结合在一起。在本发明中，固定上板21与注液管26、固定下板22与注液管26，或是固定上板21、下板22以及注液管26的方式，并不仅以上述为限，可选自下列之一方式来达成：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
当上板21、下板22以及注液管26三者固定在一起后，上板21的第一空间213与下板22的第二空间223共同形成均温板2的作用空间25，此时，注液管26的内开口261就连通该作用空间25，注液管26的外开口262则连通至均温板2的外部。此外，在完成上板21、下板22与注液管26的固定后，形成在第一槽道211与注液管26之间或是形成在第二槽道221与注液管26之间的焊料23B，由于上下有上板21与下板22的保护，将来被压合时也比较不会因为外力的直接压迫而导致剧烈的变形或碎裂。此外，此时的焊料23A与23B在结构上已彼此相互连接在一起，两者在组成的成分上也是相同的，可应上板21与下板22的材质而对应采用铜膏、不锈钢膏、铝合金膏、钛合金膏、铜银膏或其他适当的焊膏。但若是要让焊料23A与23B采用不同的成分组成的话，原则上也是可以具体实施的。
(E)借由注液管26注水进入作用空间25。从均温板2的外部借由注液管26而将工作介质(图中未示)注入均温板2内部的作用空间25。
(F)进行抽真空制程，使得作用空间25呈真空状态。注液完成后借由注液管26(或形成在均温板2上其他部位的孔洞)来进行抽真空制程，让均温板2内部的作用空间25除了填充有工作介质外，其他空间得以呈现真空的状态。此外，在本发明中，抽真空制程也可提前至注水制程前来进行，本发明并不予以限制。
(G)封闭注液管26的外开口262。在完成抽真空制程后，将注液管26的外开口予以封闭，封闭的手段可采用压合或是焊接的方式来进行。而在封闭外开口262之前，也可选择性地去除位于贯孔24以外的部分注液管26。
(H)压合第一槽道211、注液管26以及第二槽道221。如图2E与图2F所示，为了让均温板2的内部与外界完全隔离，因此会以热压成型等方式，对上板21的第一槽道211、注液管26以及下板22的第二槽道221进行压合，使得注液管26完全封闭。由于形成在第一槽道211与注液管26之间的焊料23B、或是形成在第二槽道221与注液管26之间的焊料23B，上下有上板21与下板22的保护，因此间接受压后仍然能够维持完整性，与第一槽道211、第二槽道221以及注液管26之间不容易产生缝隙，让均温板的气密性得以维持，产品的良率自然就能够提升。图2G为位于上板21、下板22以及注液管26间的焊料23A与23B的分布示意图，显示出焊料23B被压合后仍然稳固地设置在上板21、下板22以及注液管26之间，而焊料23B与焊料23A之间，仍然相互连接在一起，确保均温板2的气密性。
在本实施例中，上板21的第一槽道211与下板22的第二槽道221，其截面在被压合之前为一接近半圆形的外形，而注液管26则是采用圆管或是其他圆弧形的管身，如此一来，夹设在上板21与下板22之间的注液管26，便可上下分别与上板21的第一槽道211以及下板22的第二槽道221的外形对应并贴合在一起。而在其他实施例中，上板21与下板22也可形成不同外形的槽道，对应其他外形的注液管26。
请参考图3A至图3F，其是依据本发明的第三实施例所提供的均温板制程示意图，其中图3D是沿图3C中3D-3D线的均温板的剖面示意图，图3F是沿图3E中3F-3F线的均温板的剖面示意图。依据本发明的第三实施例提供一种均温板的制程以及以该制程所形成的均温板3，均温板的制程包括：
(A)提供一上板31、一下板32以及一注液管36。请参照图3A，上板31具有一第一槽道311、一第一接合面312以及一第一空间313；下板32具有一第二槽道321、一第二接合面322以及一第二空间323；注液管36具有一内开口361以及一外开口362。而在提供上述的上板31与下板32之前，上板31跟下板32可先经过一板材蚀刻或板材冲压步骤、以及一板材清洗步骤。而在提供注液管36之前，注液管36也可先经过一清洗的步骤。在本实施例中，上板31的第一槽道311与下板32的第二槽道321，其截面为一矩形凹槽的外形，而注液管36的管身则是采用方形管或矩形管，以便能够上下分别与上板31的第一槽道311以及下板32的第二槽道321的外形对应并贴合在一起。
(B)设置焊料33A于该第一接合面312与/或该第二接合面322。如图3A所示，可借由涂布等方式，对应在上板31的第一接合面312与/或下板32的第二接合面322，设置一焊料33A。此焊料33A可设置在上板31的第一接合面312与下板32的第二接合面322上，也可选择性地仅设置在上板31的第一接合面312或是下板32的第二接合面322上。此外，在设置焊料33A于该第一接合面312与/或该第二接合面322之前，可先执行上板31的第一空间313与一毛细结构的烧结步骤，或是下板32的第一空间323与一毛细结构的烧结步骤。
(C)设置焊料33B于第一槽道311、第二槽道321与/或注液管36的外缘。借由涂布等方式，对应在上板31的第一槽道311、下板32的第二槽道321与/或注液管36的外缘，设置焊料33B。此焊料33B可设置在上板31的第一槽道311上、下板32的第二槽道321上以及注液管36的外缘，但也可选择仅对应设置在上板31的第一槽道311与下板32的第二槽道321上，甚至于如图3A所示仅设置在注液管36的外缘，其均可依照本发明而具体实施，只要能确保注液管36与上板31以及注液管36与下板32之间，未来在固定时彼此间的缝隙可由扩散的焊料33B予以充填即可。
(D)固定上板31、下板32以及注液管36，使得第一接合面312与第二接合面322借由被加热而扩散的焊料33A而结合在一起，而第一槽道311与第二槽道321也借由被加热而扩散的焊料33B而与注液管36的外缘结合在一起。请参照图3A至图3D，注液管36可如图3A至图3B所示，先借由电阻焊的方式跟下板32的第二槽道321结合在一起后，再如图3C所示与上板31的第一槽道311结合在一起，或者也可相反，先与上板31的第一槽道311借由电阻焊而结合在一起后，再与下板32的第二槽道321结合在一起。此外，如图3D所示，由于第一槽道311跟第二槽道321所共同形成的一贯孔34，与注液管36之间设置有焊料33B，而上板31的第一接合面312与/或下板32的第二接合面322上也形成有焊料33A，因此，可借由硬焊的方式让上板31、下板32以及注液管36三者稳固地结合在一起。在本发明中，固定上板31与注液管36、固定下板32与注液管36，或是固定上板31、下板32以及注液管36的方式，并不仅以上述为限，可选自下列之一方式来达成：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
当上板31、下板32以及注液管36三者固定在一起后，上板31的第一空间313与下板32的第二空间323共同形成均温板3的作用空间35，此时，注液管36的内开口361就连通该作用空间35，注液管36的外开口362则连通至均温板3的外部。此外，在完成上板31、下板32与注液管36的固定后，形成在第一槽道311与注液管36之间或是形成在第二槽道321与注液管36之间的焊料33B，由于上下有上板31与下板32的保护，将来被压合时也比较不会因为外力的直接压迫而导致剧烈的变形或碎裂。此外，此时的焊料33A与33B在结构上已彼此相互连接在一起，两者在组成的成分上也可是相同的，可应上板31与下板32的材质而对应采用铜膏、不锈钢膏、铝合金膏、钛合金膏、铜银膏或其他适当的焊膏。但若是要让焊料33A与33B采用不同的成分组成的话，原则上也是可以具体实施的。
(E)借由注液管36注水进入作用空间35。从均温板3的外部借由注液管36而将工作介质注入均温板3内部的作用空间35。
(F)进行抽真空制程，使得作用空间35呈真空状态。注液完成后借由注液管(或形成在均温板3上其他部位的孔洞)来进行抽真空制程，让均温板3内部的作用空间35除了填充有工作介质外，其他空间得以呈现真空的状态。此外，在本发明中，抽真空制程也可提前至注水制程前来进行，本发明并不予以限制。
(G)封闭注液管36的外开口362。在完成抽真空制程后，将注液管36的外开口予以封闭，封闭的手段可采用压合或是焊接的方式来进行。而在封闭外开口362之前，也可选择性地去除位于贯孔34以外的部分注液管36。
(H)压合第一槽道311、注液管36以及第二槽道321。如图3E与图3F所示，为了让均温板3内部与外界完全隔离，因此会以热压成型等方式，对上板31的第一槽道311、注液管36以及下板32的第二槽道321进行压合，使得注液管36完全封闭。由于形成在第一槽道311与注液管36之间的焊料33B、或是形成在第二槽道321与注液管36之间的焊料33B，上下有上板31与下板32的保护，因此间接受压后仍然能够维持完整性，与第一槽道311、第二槽道321以及注液管36之间不容易产生缝隙，让均温板3的气密性得以维持，产品的良率自然就能够提升。图3G为位于上板31、下板32以及注液管36间的焊料33A与33B的分布示意图，显示出焊料33B被压合后仍然稳固地设置在上板31、下板32以及注液管36之间，而焊料33B与焊料33A之间，仍然相互连接在一起，确保均温板3的气密性。
请参考图4A至图4F，其是依据本发明的第四实施例所提供的均温板制程示意图，其中图4D是沿图4C中4D-4D线的均温板的剖面示意图，图4F是沿图4E中4F-4F线的均温板的剖面示意图。依据本发明的第四实施例提供一种均温板的制程以及以该制程所形成的均温板4，均温板的制程包括：
(A)提供一上板41、一下板42以及一注液管46。请参照图4A，上板41具有一第一接合面412；下板42具有一槽道421、一第二接合面422以及一第一空间423；注液管46具有一内开口461以及一外开口462。而在提供上述的上板41与下板42之前，上板41跟下板42可先经过一板材蚀刻或板材冲压步骤、以及一板材清洗步骤。而在提供注液管46之前，注液管46也可先经过一清洗的步骤。下板42的槽道421，其截面为一矩形凹槽的外形，而注液管46则是采用方形管或矩形管，外形对应至下板42的槽道421。
(B)设置焊料43A于该第一接合面412与/或该第二接合面422。如图4A所示，可借由涂布等方式，对应在上板41的第一接合面412与/或下板42的第二接合面422，设置焊料43A。此焊料43A可设置在上板41的第一接合面412与下板42的第二接合面422上，也可选择性地仅设置在上板41的第一接合面412或是下板42的第二接合面422上，图4A所显示的是焊料43A仅设置在下板42的第二接合面422上的情况。此外，在设置焊料43A于该第一接合面412与/或该第二接合面422之前，可先执行上板41与一毛细结构的烧结步骤，或是下板42的第一空间423与一毛细结构的烧结步骤。
(C)设置焊料43B于槽道421与/或注液管46的外缘。可借由涂布等方式，对应在上板41的第一接合面412、下板42的槽道421与/或是注液管46的外缘，设置焊料43B。此焊料43B可设置在上板41的第一接合面412上面向着槽道421的位置、下板42的槽道421上以及注液管46的外缘，但也可选择仅对应设置在上板41的第一接合面412上面向着槽道421的位置以及下板42的槽道421上，或是选择仅设置在注液管46的外缘。而当设置在注液管46的外缘时，也可涂布一整圈，或是如图4A所示仅设置在注液管46的上缘与下缘，均可依照本发明而具体实施，只要能确保注液管46与上板41以及注液管46与下板42之间，未来在固定时彼此间的缝隙可由扩散的焊料43B予以充填即可。
(D)固定上板41、下板42以及注液管46，使得第一接合面412与第二接合面422借由被加热而扩散的焊料43A而结合在一起，而上板41的第一接合面412与下板42的槽道421也借由被加热而扩散的焊料43B而与注液管46的外缘结合在一起。请参照图4A至图4D，注液管可如图4A至图4B所示，先借由电阻焊的方式跟下板42的槽道421结合在一起后，再如图4C所示与上板41结合在一起，或者也可相反，先与上板41的第一接合面412借由电阻焊而结合在一起后，再与下板42的槽道421结合在一起。此外，如图4D所示，由于上板41跟下板42的槽道421所共同形成的一贯孔44，与注液管46之间设置有焊料43B，而上板41的第一接合面412与/或下板42的第二接合面422上也形成有焊料43A，因此，也可借由硬焊的方式让上板41、下板42以及注液管46三者稳固地结合在一起。在本发明中，固定上板41与注液管46、固定下板42与注液管46，或是固定上板41、下板42以及注液管46的方式，并不以上述为限，可选自下列之一方式来达成：硬焊、电阻焊、超声波焊接、扩散焊、激光焊与高周波焊。
当上板41、下板42以及注液管46三者固定在一起后，上板41与下板42的空间423共同形成均温板4的作用空间45，此时，注液管46的内开口461就连通该作用空间45，注液管46的外开口462则连通至均温板4的外部。此外，在完成上板41、下板42与注液管46的固定后，形成在第二槽道421与注液管46之间的焊料43B，由于上下有上板41与下板42的保护，将来被压合时也比较不会因为外力的直接压迫而导致剧烈的变形或碎裂。此外，此时的焊料43A与43B在结构上已彼此相互连接在一起，两者在组成的成分上也可是相同的，可应上板41与下板42的材质而对应采用铜膏、不锈钢膏、铝合金膏、钛合金膏、铜银膏或其他适当的焊膏。但若是要让焊料43A与43B采用不同的成分组成的话，原则上也是可以具体实施的。
(E)借由注液管46注水进入作用空间45。从均温板4的外部借由注液管46而将工作介质注入均温板4内部的作用空间45。
(F)进行抽真空制程，使得作用空间45呈真空状态。注液完成后借由注液管46(或形成在均温板4上其他部位的孔洞)来进行抽真空制程，让均温板4内部的作用空间除了填充有工作介质外，其他空间则呈现真空的状态。此外，在本发明中，抽真空制程也可提前至注水制程前来进行，本发明并不予以限制。
(G)封闭注液管46的外开口462。在完成抽真空制程后，将注液管46的外开口462予以封闭，封闭的手段可采用压合或是焊接的方式来进行。而在封闭外开口462之前，也可选择性地去除位于贯孔44以外的部分注液管46。
(H)压合上板41、注液管46以及槽道421。如图4E与图4F所示，为了让均温板4内部与外界完全隔离，因此会以热压成型等方式，对上板41、注液管46以及下板42的槽道421进行压合，使得注液管46完全封闭。由于形成在第二槽道421与注液管46之间的焊料43B，上下有上板41与下板42的保护，因此间接受压后仍然能够维持完整性，与上板41、第二槽道421以及注液管46之间不容易产生缝隙，让均温板4的气密性得以维持，产品的良率自然就能够提升。图4G为位于上板41、下板42以及注液管46间的焊料43A与43B的分布示意图，显示出焊料43B被压合后仍然稳固地设置在上板41、下板42以及注液管46之间，而焊料43B与焊料43A之间，仍然相互连接在一起，确保均温板4的气密性。
以上概述了依据本发明的数个实施例的内容，使得本技术领域中普通技术人员可以理解本发明所揭露的发明技术。本技术领域普通技术人员应该理解，他们可以容易地使用本揭露作为基础，来设计或修改用于实施与在此所介绍实施例相同的目的及/或达到相同优点的其他制程与结构。再者，本发明所揭露的制程方法的实施例可能以特定的进行顺序来讨论，然而在其他实施例中，也可以其他合理且可行的顺序来进行，本发明并不予以限制。
