一种氮化镓生产用生长杆输送装置
技术领域
本实用新型涉及晶体新材料生产技术领域，具体涉及一种氮化镓生产用生长杆输送装置。
背景技术
工业上使用氮化镓生长炉生产制备氮化镓晶体的工艺是在1000℃左右的高温下使用金属镓、氯化氢和氨气进行反应，在生长炉内的籽晶生长杆上生长氮化镓晶体。传统的晶体生长炉为立式，其生长杆一般采用提拉机构插入到炉体中，晶体生长过程中提拉生长杆，此种生长杆的安装方式在卧式的生长炉中却不适用。
发明内容
为解决现有技术中存在的问题，本实用新型专利设计了一种可以用于卧式加热生长炉的氮化镓生产用生长杆输送装置，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。本实用新型专利设计的生长杆输送装置的对接盘与生长炉对接固定，通过生长炉对接法兰上的钩件勾连紧固。生长杆连接在固定杆上插入到生长炉中，并在动力电机的带动下转动，使其表面的氮化镓晶体生长均匀。
进一步的，所述生长杆输送装置还包括滑道，所述支撑板下侧连接有平板，所述平板的底部设有滑块，所述滑块卡合在滑道上。输送装置在对接生长炉时通过滑道进行移动。
进一步的，所述对接盘的外侧中部焊接有短管，所述短管与套管同轴，二者直径相同，所述短管通过不锈钢波纹管与套管连接，所述短管的下侧连接有立板，所述立板底部连接有横板，所述横板底部也设有滑块与滑道连接。将生长杆输送装置分成对接盘和套管两部分，并使用可伸缩的波纹管进行密封连接。固定杆连接在套管上，对接盘起与生长炉对接密封的作用，可通过移动套管对生长杆插入到生长炉中的长度进行调节。
进一步的，所述对接盘的内侧表面接近边缘处设有一圈凹槽，所述凹槽中嵌有O型密封圈。
进一步的，所述对接盘的内部设有空腔，所述短管为双层管壁，管壁之间为空腔且与对接盘的内部空腔连通，所述对接盘的外侧面及短管的外侧管壁上分别设有管口并连接有不锈钢管。对接盘和短管上的不锈钢管分别连接循环水，对接盘通循环水进行降温，减少生长炉中的高温对对接盘的影响，O型密封圈不会因为高温环境而减少使用寿命。
进一步的，所述套管为双层管壁，所述套管的外侧管壁的两端对称的设有接管连通两层管壁之间的空腔。接管也可连通循环水进行降温。
进一步的，所述立板与支撑板相对一侧的中部固定有一连接轴承，所述支撑板的中部开有内螺纹孔，所述内螺纹孔与连接轴承的内圈在同一轴心上，所述连接轴承的内圈固定有丝杆，所述丝杆穿过支撑板中部的内螺纹孔，并与之螺纹连接，所述丝杆的端部连接有手轮。通过转动手轮带动丝杆转动，对套管的位置进行调节，从而调节生长杆在生长炉中的位置。
进一步的，所述平板上设有螺栓穿孔并设有定位螺栓，相对应的所述平板下侧的滑道上设有一排定位孔。将套管调节到合适位置后，通过拧动定位螺栓插入定位孔进行定位。
相对于现有技术，本实用新型专利设计的一种氮化镓生产用生长杆输送装置的进步之处在于，首先安装生长杆的固定杆通过轴承固定在套管上，在固定杆的一端连接传动齿轮并连接动力电机，由动力电机带动生长杆转动，使其上的氮化镓晶体生长均匀;再者，生长杆输送装置通过设置滑道进行移动，连接固定杆的套管与对接盘的短管采用可伸缩的波纹管连接，通过移动套管的位置，对生长杆插入到生长炉中的长度进行调节，位置调节方便;还有，设置了丝杆连接立板和支撑板，通过转动丝杠调节套管的位置，实现对生长杆位置的调节，操作方便;最后，对接盘和套管采用中空设计，可分别连接循环水对其降温，减少生长炉内高温对输送装置的影响。
附图说明
图1是生长杆输送装置的结构示意图
附图标记说明
1对接盘、2套管、3固定杆、4波纹管、5滑道、6丝杆、11短管、12立板、13横板、15-O型密封圈、16不锈钢管、21支撑板、22平板、23接管、24定位螺栓、31传动齿轮、32动力电机、51滑块、52定位孔、61手轮
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明。对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，本实用新型专利设计的一种氮化镓生产用生长杆输送装置的一种实施例，包括对接盘1、套管2和固定杆3，对接盘1的中部开有穿孔，其外侧焊接有短管11，对接盘1内部为中空结构，短管11由双层管壁构成，双层管壁之间的空腔与对接盘1内部的空腔连通。对接盘1的外侧面及短管11的外层管壁上分别开有一个管口并分别连接有不锈钢管16，不锈钢管16用于连接循环水系统。短管11下侧连接有立板12，立板12底部连接横板13。
短管11通过不锈钢的波纹管4连接套管2，套管2内固定有轴承，固定杆3穿过轴承的内圈并固定，固定杆3穿过轴承后从套管2后侧穿出，套管2的后侧密封，与固定杆密闭连接，固定杆3的后侧端部连接有传动齿轮31，传动齿轮31通过链条连接动力电机32。另外，在固定杆3的前侧端设有一排螺栓固定孔，用于连接生长杆。
套管2的下侧连接有支撑板21，动力电机32也固定于支撑板21上，与套管2并排设置。支撑板21的底部连接有平板22。
生长杆输送装置的下侧设置有滑道5，在横板13和平板22的底部分别设有滑块51，滑块51与滑道5卡合连接，并能沿滑道5前后滑动。其中平板22的两侧分别开有螺栓穿孔，并设有定位螺栓24，相对应的在滑道5上设有一排定位孔52，旋拧定位螺栓24插入定位孔52可对平板22的位置进行定位。
套管2也设有双层管壁，其外侧管壁的两端对称的设有接管23，接管23连通套管的双层管壁之间的空腔。接管23用于连接循环水系统。
立板12与支撑板21相对的一侧的中部固定有连接轴承，支撑板21的中部开有贯穿的内螺纹孔，内螺纹孔与连接轴承的内圈在同一轴心线上，连接轴承的内圈固定连接有丝杆6，丝杆6从支撑板21的内螺纹孔穿过并与其螺纹连接，丝杆6的端部连接有手轮61。转动丝杆6可带动支撑板21前后移动。
对接盘1的内侧面的边缘设有一圈凹槽，凹槽中嵌有O型密封圈15。
上述内容仅为本发明创造的较佳实施例而已，不能以此限定本发明创造的实施范围，即凡是依本发明创造权利要求及发明创造说明内容所做出的简单的等效变化与修饰，皆仍属于本发明创造涵盖的范围。
