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一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具

2021-02-07 03:02:32

一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具

  技术领域

  本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体为一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  背景技术

  现有的半导体制造用刀片夹具在使用的时候,由于半导体本身的性质再切的时候会出现半导体切割边出现碎变,使半导体不能使用造成半导体的浪费,并且现在的刀片固定比较差,在使用的时候会出现刀具转动不稳的问题。

  专利号CN201721406040.1,公开了一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括刀具固定螺栓,所述刀具固定螺栓的一侧设置有刀具固定螺母,所述刀具固定螺栓的一端设置有固定板,所述刀具固定螺母的一侧设置有夹块,所述夹块的一侧设置有刀具,所述固定板的一侧设置有转轴,所述转轴的一端设置有转动装置,所述转动装置的一端设置有刀具转动轴,所述刀具转动轴的一端设置有支架;通过设计的弹簧和缓冲块在使用夹具和刀片对半导体进行切割的时候,可以减少刀片与半导体受到的冲击力,防止半导体和刀片受到力过大导致半导体和刀片出现损坏,并且通过夹块可以使刀片在夹具上固定的更稳,防止出现刀片在夹具上出现打滑的现象。

  目前,现有的便于维护保养型半导体制造用刀片夹具还存在着一些不足的地方,例如;现有的便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,刀片在夹持的过程中稳定性不是很高,而且在切割的过程中,会产生很大的噪音。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,解决了背景技术中所提出的问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括电机,所述电机顶部设置有夹持机构;

  所述夹持机构包括电机轴、第一固定板、刀片、第二固定板、第一固定螺栓、第二固定螺栓、螺纹孔、阻尼块、斜支撑杆和第三固定螺栓;所述电机顶部转动连接有电机轴,所述电机轴顶部固定连接有第一固定板,所述第一固定板顶部贴合有刀片,且刀片内部中间左右两侧均开设有螺纹孔,所述螺纹孔内部中间粘合有阻尼块,所述刀片顶部贴合有第二固定板,所述第一固定板底部左右两侧和第二固定板顶部左右两侧分别贴合有第一固定螺栓和第二固定螺栓,所述第一固定螺栓和第二固定螺栓一端分别穿过第一固定板和第二固定板螺纹连接有螺纹孔,且第一固定螺栓和第二固定螺栓一端贴合有阻尼块。

  作为本实用新型的一种优选实施方式,所述第二固定板顶部中间固定连接有多孔吸音柱。

  作为本实用新型的一种优选实施方式,所述斜支撑杆与电机轴之间粘合有泡沫铝。

  作为本实用新型的一种优选实施方式,所述第一固定板、第二固定板和斜支撑杆均为不锈金属材质。

  与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

  1.本实用新型通过刀片上的第一固定板和第二固定板以及斜支撑杆,不仅可以利用第一固定板和第二固定板,从上下两端对刀片进行螺栓固定,而且采用斜支撑杆,能够对刀片进行支撑稳固,利用第三固定螺栓固定,进一步提高了刀片的稳定性,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  2.本实用新型通过第二固定板上的多孔吸音柱,可以利用多孔吸音柱内的多孔结构,对切割时产生的噪音进行吸收,降低了切割噪音,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  3.本实用新型通过斜支撑杆上的泡沫铝,可以将泡沫铝设置在斜支撑杆和电机轴之间,利用泡沫铝进行减震和吸音,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  附图说明

  通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

  图1为本实用新型一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具的主视图;

  图2为本实用新型一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具的刀片内视图。

  图中:1,电机2,电机轴3,第一固定板4,第一固定螺栓5,刀片6,第二固定板7,第二固定螺栓8,斜支撑杆9,泡沫铝10,第三固定螺栓11,多孔吸音柱12,螺纹孔13,阻尼块。

  具体实施方式

  为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

  在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

  在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

  请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括电机1,所述电机1顶部设置有夹持机构;

  所述夹持机构包括电机轴2、第一固定板3、刀片5、第二固定板6、第一固定螺栓4、第二固定螺栓7、螺纹孔12、阻尼块13、斜支撑杆8和第三固定螺栓10;所述电机1顶部转动连接有电机轴2,所述电机轴2顶部固定连接有第一固定板3,所述第一固定板3顶部贴合有刀片5,且刀片5内部中间左右两侧均开设有螺纹孔12,所述螺纹孔12内部中间粘合有阻尼块13,所述刀片5顶部贴合有第二固定板6,所述第一固定板3底部左右两侧和第二固定板6顶部左右两侧分别贴合有第一固定螺栓4和第二固定螺栓7,所述第一固定螺栓4和第二固定螺栓7一端分别穿过第一固定板3和第二固定板6螺纹连接有螺纹孔12,且第一固定螺栓4和第二固定螺栓7一端贴合有阻尼块13。

  本实施例中请参阅图1,通过刀片5上的第一固定板3和第二固定板6以及斜支撑杆8,不仅可以利用第一固定板3和第二固定板6,从上下两端对刀片5进行螺栓固定,而且采用斜支撑杆8,能够对刀片5进行支撑稳固,利用第三固定螺栓10固定,进一步提高了刀片5的稳定性,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  其中,所述第二固定板6顶部中间固定连接有多孔吸音柱11。

  本实施例中请参阅图1,通过第二固定板6上的多孔吸音柱11,可以利用多孔吸音柱11内的多孔结构,对切割时产生的噪音进行吸收,降低了切割噪音,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  其中,所述斜支撑杆8与电机轴2之间粘合有泡沫铝9。

  本实施例中请参阅图1,通过斜支撑杆8上的泡沫铝9,可以将泡沫铝9设置在斜支撑杆8和电机轴2之间,利用泡沫铝9进行减震和吸音,有利于更为实用的使用一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。

  其中,所述第一固定板3、第二固定板6和斜支撑杆8均为不锈金属材质。

  在一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具使用的时候,通过在刀片5上设置第一固定板3和第二固定板6以及斜支撑杆8,不仅可以利用第一固定板3和第二固定板6,从上下两端对刀片5进行螺栓固定,而且采用斜支撑杆8,能够对刀片5进行支撑稳固,然后利用第三固定螺栓10固定,进一步提高了刀片5的稳定性,通过在第二固定板6上设置多孔吸音柱11,可以利用多孔吸音柱11内的多孔结构,对切割时产生的噪音进行吸收,降低了切割噪音,通过在斜支撑杆8上设置泡沫铝9,可以将泡沫铝9设置在斜支撑杆8和电机轴2之间,利用泡沫铝9进行减震和吸音。

  以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

  此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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