一种吸气剂测量系统中氢气提纯和小流量控制装置
技术领域
本实用新型涉及氢气纯化领域，特别涉及一种吸气剂测量系统中氢气提纯和小流量控制装置。
背景技术
在用定容法、等压法等测试仪器对吸气剂进行吸气动力学、吸气热力学、吸气平台压、初始吸气量与总吸气量测试中，其中氢气可以作为代表气氛，进行吸气剂对氢气气氛的吸氢实验，检测吸气剂的吸氢动力学、吸气热力学、吸气平台压、初始吸氢量与总吸氢量。
定容法、等压法等检测吸气剂的初始吸氢速率和最大吸氢量等数据中，为了确保其测试数据的精度，出来要求氢气有高的纯度外（纯度高达99.9999 ％以上），同时需要低压氢气可控。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供高度提纯及流量可控的一种吸气剂测量系统中氢气提纯和小流量控制装置。
本实用新型的目的是这样实现的：一种吸气剂测量系统中氢气提纯和小流量控制装置，包括净化腔体，还包括设置在净化腔体两端的氢气进口及氢气出口，还包括设置在净化腔体中部的氢纯化过滤镍管；所述净化腔体中部向上凸起，所述凸起内设置有热电偶，所述热电偶通过导线与氢纯化过滤镍管连接；所述氢气进口向净化腔体内部延伸形成锥形管口，所述氢纯化过滤镍管两端焊接设置有左铜电极及右铜电极，所述左铜电极与锥形管口固定连接；所述氢纯化过滤镍管左端穿过左铜电极与锥形管口连通，所述氢纯化过滤镍管右端穿过右铜电极并伸出净化腔体外；所述左铜电极、右铜电极通过导线与外部的电流加热装置连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益之处在于：由于在氢纯化过滤镍管上设置了热电偶，使得氢纯化过滤镍管的温度能够实时被监控；由于将氢气进口设置为锥形管口，使得氢气流入的量变小，流动速率更慢，便于氢气在S型氢纯化过滤镍管中发生渗透；由于将氢纯化过滤镍管设置为S型，使得氢气从中流动的时间更长，路程更远，给氢气渗透出氢纯化过滤镍管充足的时间。
作为本实用新型的优选方案，所述氢纯化过滤镍管为S型状设置在净化腔体内；所述氢纯化过滤镍管的内径为0.5mm~5mm，壁厚为0.5~1mm。
作为本实用新型的进一步优选方案，所述电流加热装置为直流稳压电源输出的额定电流，所述额定电流范围为0~10A。
作为本实用新型的进一步优选方案，所述氢纯化过滤镍管可替换为氢纯化过滤钨管、氢纯化过滤钼管。
作为本实用新型的进一步优选方案，所述氢气出口与外部连接有流量控制装置。
作为本实用新型的进一步优选方案，所述氢纯化过滤镍管在受热状态下内部氢气可以渗透出氢纯化过滤镍管表面。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
其中，1净化腔体，2氢气进口，3氢气出口，4氢纯化过滤镍管，5热电偶，6锥形管口，7左铜电极，8右铜电极，9电流加热装置。
具体实施方式
如图1所示，一种吸气剂测量系统中氢气提纯和小流量控制装置，包括净化腔体1，还包括设置在净化腔体1两端的氢气进口2及氢气出口3，还包括设置在净化腔体1中部的氢纯化过滤镍管4；净化腔体1中部向上凸起，凸起内设置有热电偶5，热电偶5通过导线与氢纯化过滤镍管4连接；氢气进口2向净化腔体1内部延伸形成锥形管口6，氢纯化过滤镍管4两端焊接设置有左铜电极7及右铜电极8，左铜电极7与锥形管口6固定连接；氢纯化过滤镍管4左端穿过左铜电极7与锥形管口6连通，氢纯化过滤镍管4右端穿过右铜电极8并伸出净化腔体1外；左铜电极7、右铜电极8通过导线与外部的电流加热装置9连接。
上述氢纯化过滤镍管4为S型状设置在净化腔体1内；氢纯化过滤镍管4的内径为0.5mm~5mm，壁厚为0.5~1mm。
上述电流加热装置9为直流稳压电源输出的额定电流，额定电流范围为0~10A。
上述氢纯化过滤镍管4可替换为氢纯化过滤钨管、氢纯化过滤钼管。
上述氢气出口3与外部连接有流量控制装置。
上述氢纯化过滤镍管4在受热状态下内部氢气可以渗透出氢纯化过滤镍管4表面。
本实用新型的工作原理阐述如下：当测试的时候，让氢气流至氢纯化过滤镍管4，通过左铜电极7、右铜电极8和电流加热装置9给氢纯化过滤镍管4加热。在一定的温度下，有些有害杂质气体是不能通过氢纯化过滤镍管的，只有氢气能通过氢纯化过滤镍管4，，热电偶5实施监控显示氢纯化过滤镍管4的温度，通过这种方式，达到对氢的纯化。同时，氢气在不同温度下，通过至氢纯化过滤镍管4其渗透系数不同，通过这种方式，达到对氢流量的控制。氢气渗透的流量与输出电流有关，电流越大，流量越大，反之越小。本实用新型通过加热方法控制氢气流量，达到灵活控制氢气的流量，能够确保吸气剂测试性能的精确度。通过镍管加热法对氢的提纯和小流量控制，能够有效提纯氢气和实现测试系统气体小流量，模拟MEMS器件腔内吸气剂实际应用环境。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
