加工装置
技术领域
本发明涉及加工装置。
背景技术
存在利用卡盘工作台对半导体晶片或封装基板等被加工物进行保持而进行切削、激光加工、磨削等的各种加工装置。在这些加工装置中，为了实现作业的效率化，已知有将表示装置的运转状况等的文字和数值数据等作为日志而进行记录的技术。
专利文献1：日本特开2018-41136号公报
在上述技术中，为了解析加工装置的运转状况等，需要操作者自己根据日志来制作解析用的数据，会产生麻烦。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供加工装置，其能够容易地执行基于加工装置的日志的解析。
为了解决上述课题实现目的，本发明是加工装置，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；记录部，其将按照每个监视项目以时间序列记录的表示加工状况的信息作为日志信息而进行记录，其中，该监视项目是作为用于监视该加工状况的项目而事先设定的；以及数据处理部，其特征在于，该数据处理部具有转换部，其将该记录部所记录的该日志信息按照每个监视项目转换成能够解析的解析用数据。
根据本发明的结构，将所记录的日志信息(文字和数值数据)按照每个监视项目转换成能够解析的解析用数据，因此无需操作者自己制作解析用的数据，能够容易地执行基于加工装置的日志的解析。
另外，本发明的加工装置可以将日志信息(文字和数值数据)转换成图或表。根据该结构，能够使操作者容易地把握与监视项目对应的加工装置的状况。
另外，在本发明的加工装置中，监视项目可以与加工装置的运转状况、被加工物、加工单元以及在加工装置中产生的错误信号中的至少任意一个相关。根据该结构，能够向操作者提供与加工装置的运转状况、被加工物、加工单元、错误相关的解析用数据。
另外，本发明的加工装置还可以具有连接部，该连接部能够将外部记录介质与该加工装置连接，数据处理部还可以具有输出部，该输出部将解析用数据输出至外部记录介质。根据该结构，能够将基于加工装置的日志的解析用数据以容易携带的状态提供给操作者。
另外，本发明的加工装置可以经由网络而与任意的信息设备连接，数据处理部还可以具有：发送目的地登记部，其对解析用数据的发送目的地进行登记；以及自动发送部，其将该解析用数据发送至该发送目的地。根据该结构，能够将基于加工装置的日志的解析用数据提供至操作者所希望的发送目的地。
另外，在本发明的加工装置中，数据处理部还可以具有：自动发送设定登记部，其将该解析用数据的发送要求日期、该解析用数据的解析对象期间以及该解析用数据的解析对象项目作为自动发送设定信息事先进行登记；以及自动转换部，其按照该自动发送设定登记部所登记的该自动发送设定信息，将该记录部所记录的该日志信息转换成该解析用数据。并且，该自动发送部可以将通过该自动转换部转换的该解析用数据发送至该发送目的地登记部所登记的该发送目的地。根据该结构，能够在操作者所希望的日期按照操作者所希望的内容自动地提供基于加工装置的日志的解析用数据。
根据本发明，起到如下的效果：能够容易地执行基于加工装置的日志的解析。
附图说明
图1是示出实施方式的加工装置的立体图。
图2是示意性示出实施方式的加工装置的功能结构的一例的图。
图3是示出存储于实施方式的加工状况保存部的加工状况日志信息的一例的图。
图4是示出存储于实施方式的错误产生状况保存部的错误日志信息的一例的图。
图5是示出实施方式的日志解析窗口的结构例的图。
图6是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图7是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图8是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图9是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图10是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图11是示出实施方式的发送目的地信息的一例的图。
图12是示出实施方式的加工装置的处理的步骤的一例的流程图。
图13是示意性示出变形例的加工装置的功能结构的一例的图。
图14是示出变形例的自动发送设定信息的一例的图。
标号说明
1：加工装置；10：卡盘工作台；20：加工单元；80：控制单元；81：数据记录部；82：数据处理部；821：转换部；822：输出部；823：发送目的地登记部；824：自动发送部；825：自动发送设定登记部；826：自动转换部；90：通信单元；100：触摸面板；110：连接器。
具体实施方式
以下，参照附图对用于本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
在以下所说明的实施方式中，设定XYZ直角坐标系，参照该XYZ直角坐标系对各部的位置关系进行说明。将水平面内的一个方向设为X轴方向，将在水平面内与X轴方向垂直的方向设为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向分别垂直的方向设为Z轴方向。包含X轴和Y轴的XY平面与水平面平行。与XY平面垂直的Z轴方向是铅垂方向。
参照附图，对实施方式的加工装置1的概要进行说明。图1是示出实施方式的加工装置1的立体图。图2是示意性示出实施方式的加工装置1的功能结构的一例的图。
如图1所示，实施方式的多个加工装置1构成为具有：卡盘工作台10；具有切削刀具21的加工单元20；加工进给单元(移动单元)30；分度进给单元(移动单元)40；切入进给单元(移动单元)50；盒升降机60；清洗单元70；以及控制单元80。加工装置1利用卡盘工作台10对被加工物301进行保持并利用加工单元20对该被加工物301进行切削加工。
被加工物301例如是以硅、蓝宝石、镓等作为基板的半导体晶片或光器件晶片，如图1所示，例如被加工物301形成为圆板形状。被加工物301的正面(上表面)侧由呈格子状排列的分割预定线划分成多个区域，在各区域内形成有器件。另外，在被加工物301的背面(下表面)侧粘贴有直径比被加工物301大的带303。带303的外周部分固定于环状的框架305。即，被加工物301借助带303而支承于框架305。
如图1所示，卡盘工作台10配设成能够在设置于装置主体2的上表面的开口部2a上沿着X轴方向移动。卡盘工作台10具有保持面11和多个(四个)夹具12。卡盘工作台10形成为圆板状，通过未图示的旋转单元绕与Z轴方向(铅垂方向)大致平行的旋转轴旋转。保持面11是卡盘工作台10的铅垂方向上的上端面，相对于水平面平坦地形成。保持面11例如由多孔陶瓷等构成，通过未图示的真空吸引源的负压而对被加工物301进行吸引保持。多个夹具12在保持面11的周围配设于四个部位，对框架305进行夹持而固定。
加工单元20例如是切削单元，对卡盘工作台10所保持的被加工物301进行切削加工。在装置主体2的上表面上按照在Y轴方向上跨越开口部2a的方式设置有支承构造3。加工单元20借助分度进给单元40和切入进给单元50而固定于支承构造3。
加工单元20具有安装于旋转驱动的未图示的主轴的切削刀具21。加工单元20一边使该切削刀具21旋转一边将卡盘工作台10在X轴方向上进行加工进给，从而沿着X轴方向对卡盘工作台10所保持的被加工物301进行切削。然后，加工单元20通过分度进给单元40在Y轴方向上按照规定的间距依次进行分度进给，反复执行按照该间距间隔沿着X轴方向对被加工物301进行切削。
切削刀具21例如具有切刃，该切刃由金刚石或CBN(Cubic Boron Nitride，立方氮化硼)等磨粒和金属或树脂等结合材料构成，形成为规定的厚度。根据被加工物301的种类(密度或硬度等)而选择具有崩边或裂纹为适当值内的适当切刃(例如树脂结合剂、金属结合剂、多孔结合剂等)的切削刀具21。
另外，在加工单元20上按照一体地移动的方式固定有对被加工物301进行拍摄的拍摄部22。拍摄部22构成为具有对卡盘工作台10所保持的被加工物301的上表面进行拍摄的CCD相机，例如获取用于进行被加工物301的切削预定线和切削刀具21的对准的图像。加工单元20是加工单元的一例。
加工进给单元30使卡盘工作台10和加工单元20在X轴方向上相对移动。加工进给单元30具有沿X轴方向延伸的未图示的滚珠丝杠及电动机等驱动源，使支承卡盘工作台10的移动基台31在X轴方向上移动。另外，加工进给单元30具有波纹部件32，该波纹部件32配设于开口部2a，与移动基台31的前后连结，沿X轴方向延伸。另外，在移动基台31上设置有对切削刀具21的刃尖的切入进给方向上的前端位置(下端位置)进行检测的刃尖检测单元33。
分度进给单元40使卡盘工作台10和加工单元20在Y轴方向上相对移动。分度进给单元40具有：一对导轨41，它们沿Y轴方向延伸；滚珠丝杠42，其与导轨41平行地配设；Y轴移动基台43，其固定于与滚珠丝杠42螺合的未图示的螺母而滑动自如地配设于导轨41上；以及未图示的电动机，其使滚珠丝杠42旋转。分度进给单元40通过电动机使滚珠丝杠42旋转，从而使对加工单元20和切入进给单元50进行支承的Y轴移动基台43在Y轴方向上移动。
切入进给单元50使加工单元20在与卡盘工作台10的保持面11垂直的Z轴方向上移动。切入进给单元50具有：一对导轨51，它们沿Z轴方向延伸，固定于Y轴移动基台43上；滚珠丝杠52，其与导轨51平行地配设；Z轴移动基台53，其固定于与滚珠丝杠52螺合的未图示的螺母而滑动自如地配设于导轨51上；以及电动机54，其使滚珠丝杠52旋转。切入进给单元50通过电动机54使滚珠丝杠52旋转，从而使对加工单元20进行支承的Z轴移动基台53在Z轴方向上移动。
盒升降机60将收纳多个被加工物301的盒61支承为能够相对于装置主体2在铅垂方向上升降。清洗单元70利用旋转工作台71对通过加工单元20进行了切削加工的被加工物301进行保持并进行清洗。
控制单元80是具有处理器、存储装置以及输入输出接口装置而能够执行计算机程序的计算机。控制单元80具有CPU(Central Processing Unit，中央处理器)、微处理器、微型计算机、DSP(Digital Signal Processor，数字信号处理器)、系统LSI(Large ScaleIntegration，大规模集成)等处理器。控制单元80具有RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory，只读存储器)、闪存、EPROM(Erasable ProgrammableRead Only Memory，可擦除可编程只读存储器)、EEPROM(注册商标)(ElectricallyErasable Programmable Read Only Memory，电可擦除可编程只读存储器)等非易失性或易失性的半导体存储器等存储装置。
控制单元80是通过CPU(Central Processing Unit，中央处理器)或MPU(MicroProcessing Unit，微处理器)等将RAM作为作业区域来执行各种程序而实现的。控制单元80通过由各种程序提供的功能而实现或执行基于后述的数据记录部81和数据处理部82的各种处理。各种程序存储于控制单元80所具有的存储装置。各种程序包含后述的解析用数据的转换工具。另外，控制单元80例如可以通过ASIC(Application Specific IntegratedCircuit，专用集成电路)或FPGA(Field Programmable Gate Array，现场可编程门阵列)等集成电路而实现。
如图1所示，控制单元80具有数据记录部81和数据处理部82，控制单元80实现或执行以下所说明的加工装置1的处理的功能或作用。
数据记录部81按照时间序列记录与加工装置1中的加工相关的监视项目的状况。即，数据记录部81将按照每个监视项目以时间序列记录的表示加工状况的信息作为日志信息进行记录，其中，该监视项目是作为用于监视加工装置1的加工状况的项目而由操作者事先设定的。监视项目由操作者等预先设定于加工装置1。监视项目例如与加工装置1的运转状况、被加工物301、加工单元20以及在加工装置1中产生的错误信号中的至少任意一个相关。如以下所说明的那样，日志信息中，日期和与监视项目对应的装置所进行的动作、与监视项目相关地测量的数值数据以及表示在加工装置1中产生的错误内容的文字数据相关联而作为表示加工状况的信息进行记录。数据记录部81是记录部的一例。
如图2所示，数据记录部81具有加工状况保存部811和错误产生状况保存部812。
加工状况保存部811将与运转状况相关的日志信息、与被加工物301相关的日志信息、与加工单元20相关的日志信息作为表示加工装置1的加工状况的信息进行存储。图3是示出存储于实施方式的加工状况保存部811的加工状况日志信息的一例的图。
图3所示的加工状况日志信息例如包含日志信息LG1-1、LG1-2、日志信息LG2-1以及日志信息LG3-1、LG3-2。如图3所示，日志信息LG1-1、LG1-2、日志信息LG2-1以及日志信息LG3-1、LG3-2由所记录的日期和与该日期相关的文字数据和数值数据构成。
日志信息LG1-1、LG1-2是与加工装置1的运转状况相关的日志信息的一例。通过将加工装置1的运转状况设定为监视项目而记录日志信息LG1-1、LG1-2。与运转状况相关的日志信息由生产时间、待机时间、计划外停机时间、计划内停机时间以及由于错误所导致的运转停止时间和从错误起的恢复时间等各信息构成。日志信息LG1-1中所包含的生产时间例如表示从被加工物301的加工开始至加工结束的时间。日志信息LG1-1中所包含的待机时间表示至加工开始所需的时间。日志信息LG1-1中所包含的计划外停机时间表示预料之外停止加工处理的时间。日志信息LG1-1中所包含的计划内停机时间表示由于预定的装置检测等而停止加工处理的时间。
日志信息LG2-1是与被加工物301相关的日志信息的一例。通过将被加工物301设定为监视项目而记录日志信息LG2-1。日志信息LG2-1例如由被加工物301的张数以及对被加工物301进行收纳的盒的个数的信息等构成。与被加工物301相关的日志信息可以包含被加工物301的种类。
日志信息LG3-1、LG3-2是与加工单元20相关的日志信息的一例。通过将加工单元20设定为监视项目而记录日志信息LG3-1、LG3-2。日志信息LG3-1、LG3-2由刀具更换次数、切削长度、切削行数以及切削刀具21的使用开始时间和使用结束时间等信息构成。与加工单元20相关的日志信息可以包含按照规定的频率测量的切削刀具21的刃尖突出量、切削刀具21的更换开始时间和更换结束时间等。
错误产生状况保存部812按照时间序列记录加工装置1中的错误产生状况作为表示加工装置1的加工状况的信息。图4是示出存储于实施方式的错误产生状况保存部812的错误日志信息的一例的图。
图4所示的错误日志信息具有日期的项目和错误名的项目，这些项目相互对应。通过与错误内容对应地将不同的错误信号的种类及其时间设定为监视项目而记录图4所示的错误日志信息。在日期的项目中存储错误信号的产生日期。在错误名的项目中存储错误信号所表示的错误的内容。如图4所示，存储于错误产生状况保存部812的错误日志信息由产生错误信号的日期和与该日期相关的错误的内容(文字数据)构成。根据图4所示的例子，作为错误日志信息记录有在“2018年12月1日16时14分13秒”产生了“切口宽度错误(较宽)”。
返回图2，数据处理部82具有转换部821、输出部822、发送目的地登记部823以及自动发送部824。
转换部821将数据记录部81所记录的日志信息(文字数据和数值数据)按照每个监视项目转换成能够解析的解析用数据。转换部821根据操作者的操作而将日志解析窗口100W显示在触摸面板100上。接着，转换部821经由日志解析窗口100W而从操作者处接受例如要求解析用数据的输出的解析对象项目的选择。并且，转换部821从数据记录部81获取与该解析对象项目对应的日志信息(文字数据和数值数据)，并转换成能够由操作者进行解析的解析用数据。
图5是示出实施方式的日志解析窗口100W的结构例的图。如图5所示，日志解析窗口100W具有项目选择区域101、期间设定区域102、输出数据形式选择区域103、执行按钮104以及取消按钮105。
项目选择区域101是用于从操作者处接受要求解析用数据的输出的解析对象项目的选择的区域。解析对象项目分别与作为用于监视加工装置1的加工状况的项目而由操作者事先设定的监视项目对应。项目选择区域101按照每个解析对象项目分别具有用于接受来自操作者的选择的复选框b1～b4。例如在要求与加工装置1的运转状况相关的解析用数据的输出的情况下，操作者勾选复选框b1。在执行解析用数据的输出时，关于从日志信息抽出哪个数据，可以在解析用数据的转换工具的制作时由操作者任意地设定。例如通过操作者的设定，能够将生产时间、待机时间、计划外停机时间、计划内停机时间、由于错误所导致的运转停止时间以及从错误起的恢复时间作为转换成与运转状况相关的解析用数据的日志信息而进行抽出。
期间设定区域102是用于从操作者处接受要求解析用数据的输出的解析对象期间的设定的区域。期间设定区域102具有：在实施解析期间的设定的情况下由操作者指定的复选框b5；开始日期输入框k1；以及结束日期输入框k2。操作者在进行解析对象期间的设定的情况下，勾选复选框b5，在开始日期输入框k1中输入期间的开始日期，在结束日期输入框k2中输入期间的结束日期。期间的设定可以以日为单位或以月为单位等以任意的单位进行设定。期间的设定例如可以以日为最小单位。
输出数据形式选择区域103是用于从操作者处接受解析用数据的输出数据形式的选择的区域。输出数据形式选择区域103按照每个输出数据形式分别具有用于选择输出数据形式的复选框b6～b8。例如在要求以饼图输出的情况下，操作者勾选复选框b6。
执行按钮104是用于开始解析用数据的转换处理的按钮。转换部821可以将至少完成了项目选择区域101中的解析对象项目的选择和输出数据形式选择区域103中的输出数据形式的选择作为用于将执行按钮104控制为能够操作的状态的条件。另外，转换部821在进行解析用数据的转换时，当需要解析对象期间的设定时，能够显示需要期间的设定的内容的弹出框。例如在选择“运转状况”作为解析对象项目的情况下，能够显示需要进行期间设定的内容。另外，转换部821在进行解析用数据的转换时，在未进行解析对象期间的设定的情况下，可以将所记录的全部期间的日志转换成解析用数据。取消按钮105是用于取消解析用数据的转换处理的按钮。
当转换部821检测到在日志解析窗口100W中执行按钮104的操作时，从数据记录部81读入所对应的日志信息(文字数据和数值数据)，对所读入的日志信息进行解析而转换成解析用数据。图6～图10是示出实施方式的解析用数据的一例的图。
图6示出在日志解析窗口100W中选择“运转状况”作为解析对象项目、设定2018年8月1日至2018年8月31日作为期间、并选择饼图作为输出数据形式的情况下的解析用数据的例子。转换部821从加工状况保存部811读入例如2018年8月1日至8月31日记录的生产时间、待机时间、计划外停机时间、计划内停机时间的日志信息。并且，转换部821对所读入的日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，将生产时间、待机时间、计划外停机时间和计划内停机时间转换成饼图的数据形式。在图6所示的例子中，2018年的8月1日～8月31日中的各时间所占的比例以饼图的形式示出。
图7示出在日志解析窗口100W中选择“运转状况”作为解析对象项目、设定2018年12月1日至12月3日作为期间、选择条形图作为输出数据形式的情况下的解析用数据的例子。转换部821从加工状况保存部811读入例如2018年12月1日至12月3日记录的从错误起的恢复时间的日志信息。并且，转换部821对所读入的日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，将从错误起的恢复时间转换成条形图的数据形式。在图7所示的例子中，按照每个日期示出从错误起的恢复时间。
另外，关于图6和图7所示的解析用数据，当在日志解析窗口100W中的设定期间相同的情况下，若记录有所对应的日志信息，则也可设想在转换部821中分别进行转换的情况。
图8示出在日志解析窗口100W中选择“被加工物”作为解析对象项目、设定2018年12月1日至12月3日作为期间、选择条形图作为输出数据形式的情况下的解析用数据的例子。转换部821从加工状况保存部811读入例如2018年12月1日至12月3日记录的处理张数的日志信息。并且，转换部821对所读入的日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，将处理张数转换成条形图的数据形式。在图8所示的例子中，按照每个日期示出被加工物301的处理张数。
图9示出在日志解析窗口100W中选择“加工单元”作为解析对象项目、设定2018年12月1日至12月3日作为期间、选择条形图作为输出数据形式的情况下的解析用数据的例子。转换部821从加工状况保存部811读入例如2018年12月1日至12月3日记录的刀具更换次数的日志信息。并且，转换部821对所读入的日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，将刀具更换次数转换成条形图的数据形式。在图8所示的例子中，按照每个日期示出刀具更换次数。
图7～图9所示的解析用数据在日志解析窗口100W中设定的解析对象期间相同。因此，假如在日志解析窗口100W中分别选择“运转状况”、“被加工物”和“加工单元”作为解析对象项目的情况下，加工装置1能够输出与各解析对象项目对应的解析用数据。此时，可以将解析对象期间相同和记录有与所选择的解析对象项目对应的日志信息作为用于输出与各解析对象项目对应的解析用数据的条件。另外，加工装置1可以在日志解析窗口100W中按照每个解析对象项目设定解析对象期间。在该情况下，对于在日志解析窗口100W中选择的多个解析对象项目，也能够分别输出不同的解析对象期间的解析用数据。
图10示出在日志解析窗口100W中选择“错误信息”作为解析对象项目、设定2018年8月1日至12月1日作为期间、选择条形图作为输出数据形式的情况下的解析用数据的例子。转换部821从错误产生状况保存部812读入例如2018年8月1日至12月1日记录的错误日志信息。并且，转换部821对所读入的错误日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，例如将与切口检查相关的错误信息转换成条形图的数据形式。在图10所示的例子中，示出对象期间(2018年8月1日至12月1日)的各错误的产生次数。在错误日志信息中包含种类不同的错误信息的情况下，转换部821能够根据错误种类ID而按照每个错误种类进行错误日志信息的解析，将错误日志信息转换成每个错误种类的解析用数据。
返回图2，输出部822将转换部821所转换的解析用数据输出。在输出部822经由连接器110而连接到外部存储装置200的情况下，根据来自操作者的指示向外部存储装置200输出解析用数据。
发送目的地登记部823对由操作者预先设定的解析用数据的发送目的地信息进行登记。图11是示出实施方式的发送目的地信息的一例的图。如图11所示，登记在发送目的地登记部823中的发送目的地信息具有操作者ID的项目、发送目的地的项目以及电子邮件地址的项目，这些项目相互对应。
在操作者ID的项目中存储有对操作者唯一赋予的识别信息。在发送目的地的项目存储有操作者作为解析用数据的发送目的地而设定的设备的种类。在电子邮件地址的项目存储有操作者作为解析用数据的发送目的地而设定的电子邮件的地址。根据图11所示的例子，由操作者ID为“OP001”的操作者将发送目的地的电子邮件地址设定为个人计算机和平板电脑的电子邮件地址。
自动发送部824将转换部821所转换的解析用数据自动发送。自动发送部824从发送目的地登记部823获取发送目的地信息，将所获取的发送目的地信息作为收件人的地址而发送解析用数据。例如自动发送部824生成将发送目的地信息所示的电子邮件地址作为发送目的地的电子邮件，将解析用数据作为所生成的电子邮件的附件而发送。
通信单元90经由通信网络而进行各种数据的发送和接收。通信单元90支持用于自动发送解析用数据的通信标准。通信网络例如包含量产被加工物301的工厂内和事务所内的通信电路、公众通信电路和专用通信电路等。另外，通信单元90通过无线或有线的方式与通信网络连接而能够发送和接收信息。
触摸面板100在将显示面朝向外侧的状态下设置于加工装置1。触摸面板100显示出与加工装置1相关的各种信息。触摸面板100能够显示出上述日志解析窗口100W(图5)。触摸面板100从操作者处接受加工条件的设定输入等与加工装置1相关的各种操作输入。触摸面板100能够从操作者处接受上述日志解析窗口100W(图5)的操作。触摸面板100是显示单元的一例。
连接器110能够提供用于与外部存储装置(外部记录介质的一例)200等其他装置物理连接的连接功能。加工装置1能够对经由连接器110而连接的外部存储装置200执行读写。加工装置1例如能够对经由连接器110而连接的外部存储装置200输出解析用数据。操作者例如在将记录解析用数据的外部存储装置200与连接器110连接之后，将日志解析窗口100W显示在触摸面板100上而进行操作。连接器110可以由USB(Universal Serial Bus，通用串行总线)、HDMI(注册商标)(High-Definition Multimedia Interface，高清多媒体接口)等通用的端子构成。连接器110是连接部的一例。
使用图12对实施方式的加工装置1的处理的步骤进行说明。图12是示出实施方式的加工装置1的处理的步骤的一例的流程图。图12所示的加工装置1的处理通过控制单元80的数据处理部82的各部来执行。
如图12所示，当转换部821检测到日志解析窗口100W(参照图5)中的执行按钮104的操作时，从数据记录部81读入日志信息(步骤S101)。即，转换部821从数据记录部81所记录的日志信息(文字数据和数值数据)中读入与在日志解析窗口100W中选择的项目和设定的期间对应的日志信息。
接着，转换部821将日志信息转换成解析用数据(步骤S102)。即，转换部821对从数据记录部81读入的日志信息(文字数据和数值数据)进行解析，按照日志解析窗口100W中的输出数据形式的设定，将日志信息转换成解析用数据。
当在转换部821中将日志信息转换成解析用数据时，输出部822根据来自操作者的指示，向连接中的外部存储装置200输出解析用数据(步骤S103)。
接着，自动发送部824向所登记的发送目的地自动发送解析用数据(步骤S104)，结束图12所示的处理。自动发送部824例如根据登记在加工装置1的控制单元80的系统中的操作者ID而从发送目的地登记部823获取发送目的地信息。并且，自动发送部824将所获取的发送目的地信息作为收件人的地址而自动地发送添加有解析用数据的电子邮件。
如上所述，实施方式的加工装置1具有卡盘工作台10、加工单元20(加工单元的一例)、数据记录部81(记录部的一例)以及数据处理部82(数据处理部的一例)。并且，加工装置1的特征在于，数据处理部82具有转换部821，该转换部821将数据记录部81所记录的日志信息(文字数据和数值数据)按照每个监视项目转换成能够解析的解析用数据。
这样，实施方式的加工装置1将所记录的日志信息(文字数据和数值数据)按照每个监视项目转换成能够解析的解析用数据，因此无需操作者自己制作解析用的数据，能够容易地执行基于加工装置1的日志信息的解析。因此，实现操作者的作业的效率化。
另外，实施方式的加工装置1能够将日志信息(文字数据和数值数据)转换成图或表。因此，实施方式的加工装置1能够使操作者容易地把握与监视项目对应的加工装置1的状况。
另外，为了对日志信息进行记录而预先设定的监视项目可以与加工装置1的运转状况、被加工物301、加工单元20以及在加工装置1中产生的错误信号中的至少任意一个相关。因此，实施方式的加工装置1能够对操作者提供与加工装置1的运转状况、被加工物301、加工单元20以及错误相关的解析。
另外，实施方式的加工装置1还具有能够将外部存储装置200(外部记录介质的一例)连接于加工装置1的连接器110(连接部的一例)，数据处理部82还可以具有将解析用数据输出至外部存储装置200的输出部822。因此，实施方式的加工装置1能够将基于加工装置1的日志信息的解析用数据以容易携带的状态提供给操作者。
另外，实施方式的加工装置1可以经由通信单元90并通过网络连接于任意的信息设备。并且，数据处理部82还可以具有发送目的地登记部823和自动发送部824。发送目的地登记部823对解析用数据的发送目的地进行登记。自动发送部824对登记在发送目的地登记部823的发送目的地自动发送解析用数据。因此，实施方式的加工装置1能够将基于加工装置1的日志信息的解析用数据在通过操作者的手动操作进行转换的时刻自动地提供至操作者所希望的发送目的地。
另外，在上述实施方式中，在加工装置1上连接有外部存储装置200的情况下，可以在对外部存储装置200输出解析用数据的同时询问操作者是否进行解析用数据的自动发送。另外，在加工装置1上未连接外部存储装置200的情况下，可以询问操作者是否连接外部存储装置200。另外，加工装置1可以将未连接外部存储装置200的情况作为条件而执行向操作者事先设定的发送目的地自动地发送解析用数据的控制。
另外，在上述实施方式中，对数据处理部82经由日志解析窗口100W而接受要求解析用数据的输出的项目的选择、解析对象期间的设定以及输出数据形式的选择的例子进行了说明，但无需限于该例。例如数据处理部82可以根据解析对象项目是运转状况、被加工物301、加工单元20或错误信息中的哪一个而由操作者事先设定解析对象期间和输出数据形式。
另外，图5所示的日志解析窗口100W的结构为一例，也可以在输出数据形式设定区域中选择折线图、散点图、回归直线等其他数据形式。
另外，自动发送部824在自动发送解析用数据时，可以将解析用数据加密。自动发送部824可以不将所有解析用数据加密而将保密性高的数据等解析用数据的一部分加密。另外，作为自动发送部824自动发送解析用数据的发送目的地，除了个人计算机或平板电脑等装置以外，操作者还可以设定云服务器等。
[实施方式的变形例]
在上述实施方式中，对按照操作者的操作将基于加工装置1的日志信息的解析用数据输出至外部存储装置200并且自动发送至操作者事先登记的发送目的地的例子进行了说明。但是，本发明的加工装置1无需特别限定于该例，例如可以按照操作者事先登记的设定而将解析用数据自动地转换并进行发送。
图13是示意性示出变形例的加工装置1的功能结构的一例的图。如图13所示，变形例的加工装置1具有自动发送设定登记部825和自动转换部826。
自动发送设定登记部825对由操作者事先设定的解析用数据的自动发送设定信息进行登记。图14是示出变形例的自动发送设定信息的一例的图。如图14所示，自动发送设定信息具有操作者ID的项目、发送要求日期的项目、解析对象期间的项目以及解析对象项目的项目，这些项目相互对应。
在发送要求日期中由操作者登记要求解析用数据的自动发送的日期。在解析对象期间中由操作者登记要求解析用数据的输出的期间、即要求向解析用数据的转换的日志信息的记录期间。在解析对象项目中由操作者登记要求解析用数据的输出的项目、即要求向解析用数据的转换的监视项目。根据图14所示的例子，通过操作者ID为“OP001”的操作者，登记有要求每月1日发送将上月的第一天至最后一天作为解析对象期间、将错误信息作为解析对象项目的解析用数据的自动发送设定信息。
自动转换部826根据登记在自动发送设定登记部825的自动发送设定信息而自动转换解析用数据。自动转换部826根据自动发送设定登记部825的发送要求日期而从数据记录部81获取与解析对象项目对应的日志信息，将所获取的日志信息自动转换成解析用数据。自动转换部826委托自动发送部824发送所转换的解析用数据。自动转换部826在委托自动发送部824发送解析用数据时，一并发送操作者ID。
自动发送部824收到来自自动转换部826的委托而将解析用数据发送至登记在发送目的地登记部823的发送目的地。自动发送部824根据包含在来自自动转换部826的委托中的操作者ID而能够从发送目的地登记部823获取发送目的地信息。
这样，根据变形例的加工装置1，例如按照在每月1日自动地转换上月一个月的解析数据并进行发送的方式自动地进行从解析用数据的转换至发送。即，变形例的加工装置1能够按照操作者所希望的日程和所希望的内容自动地提供基于加工装置1的日志信息的解析用数据。因此，根据变形例的加工装置1，操作者不使用日志解析窗口100W等进行解析用数据的输出操作而能够获取解析用数据，能够进一步提高操作者的作业效率。
另外，在上述变形例中，通过自动转换部826实现的处理功能可以通过转换部821执行。在该情况下，转换部821根据自动发送设定登记部825中所登记的自动发送设定信息而自动转换解析用数据。即，转换部821根据自动发送设定登记部825的发送要求日期，从数据记录部81获取与解析对象项目对应的日志信息，将所获取的日志信息自动转换成解析用数据。并且，转换部821委托自动发送部824发送所转换的解析用数据。
[其他实施方式]
另外，本发明的加工装置1并不限于上述实施方式，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。例如加工装置1可以是切削装置以外的磨削装置或激光加工装置。
另外，在上述实施方式中所说明的加工装置1的各构成要素是功能概念性的，未必需要在物理上如图示那样构成。即，加工装置1的分散、整合的具体方式不限于图示的方式，可以将其全部或一部分根据各种负荷或使用状况等而以任意的单位在功能上或物理上进行分散、整合而构成。例如可以将数据处理部82的转换部821、输出部822以及自动发送部824在功能上或物理上整合。
