一种检验气路喷淋均匀性的装置
技术领域
本发明属于气路喷淋管道喷气均匀性检测技术领域，具体涉及一种检验气路喷淋均匀性的装置。
背景技术
气路喷淋管道用于PECVD镀膜设备中,参与工艺的特种气体工过气路喷淋管道均匀的分布到设备腔体内部,所以气路喷淋的均匀性直接关系到镀膜的效果,对工艺产生的影响非常关键。
现有的气路喷淋管道通过气路管道分布的设计,喷淋孔的分布设计,已经极大的保证了气体喷淋的均匀性,但是还是会有加工过程中出现的一些偏差和不良,如果没有有效的检测手段,将会混入到正常的管道中,在生产中就会产生影响的问题，为此我们提出一种检验气路喷淋均匀性的装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检验气路喷淋均匀性的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种检验气路喷淋均匀性的装置，包括支架，所述支架内侧设置有水箱，所述支架顶部设置有检测箱，所述检测箱内部设置有检测台，所述检测台两侧端部分别贯穿有进水管与出水管，所述进水管与出水管一端均插入到水箱内部，且进水管一端连接有泵体，所述泵体位于水箱内部，所述进水管另一端设置有接嘴，所述接嘴内部设置有接头，所述接头内侧固定有进液管，所述进液管一端连接有三通，所述三通两端均固定有分接管，所述分接管一端连接有喷淋管。
优选的，所述支架底部四个拐角处均通过螺纹连接有调节地脚，所述调节地脚底部套设有耐磨套，所述耐磨套底部开设有安装孔，所述安装孔内部设置有紧固螺钉，所述紧固螺钉与调节地脚通过螺纹连接。
优选的，所述分接管的横截面为L型结构，所述喷淋管表面开设有喷孔。
优选的，所述喷淋管两端均连接有堵头，所述堵头与喷淋管之间通过螺纹连接，且堵头一端外部套设有密封垫。
优选的，所述喷淋管底部设置有托架，所述托架固定在检测台表面。
优选的，所述检测台位于检测箱的中心位置，且检测箱内壁设置有检测标度线。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
（1）通过设计的水箱和检测箱，将其待检测的喷淋管至于检测箱内部与进液管相互接通，通过水箱内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管内部，喷出进而观察检测标度线，已达到检测喷孔是否均匀的目的，通过设计的进水管和出水管，两者实现一个循环系统，保证其进水管的液体输送至喷淋管内部喷出然后在通过出水管循环至水箱内部，达到循环使用，节约资源，通过设计的接头，接头与接嘴快速插入卡接固定，从而便于进液管与进水管的快速组装，通过设计的三通，便于将其进液管与两个分接管实现连接，保证其一拖二的模式工作，降低其进液成本，使其两个分接管进入液体压力等同，通过设计的检测标度线，方便操作者进行水位的观察是否合格。
（2）通过设计的耐磨套，包裹在调节地脚的底部，对其地脚底部实现包裹保护，避免其受到磨损而影响本发明的水平调整，从而导致其检测结果出现误差，通过设计的紧固螺钉，紧固螺钉安装在耐磨套底部的安装孔内，达到紧固作用，其通过螺纹旋合连接，方便后期的拆装。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明检测台与喷淋管的组装俯视图；
图3为本发明进液管与进水管的组装剖视图；
图4为本发明调节地脚与耐磨套的组装剖视图；
图中：1、支架；2、出水管；3、检测箱；4、检测标度线；5、喷淋管；6、检测台；7、进水管；8、水箱；9、耐磨套；10、调节地脚；11、进液管；12、分接管；13、接嘴；14、接头；15、紧固螺钉。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1至图3，本发明提供一种技术方案：一种检验气路喷淋均匀性的装置，包括支架1，支架1内侧设置有水箱8，通过设计的水箱8和检测箱3，将其待检测的喷淋管5至于检测箱3内部与进液管11相互接通，通过水箱8内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管5内部，喷出进而观察检测标度线4，已达到检测喷孔是否均匀的目的，支架1顶部设置有检测箱3，检测箱3内部设置有检测台6，检测台6两侧端部分别贯穿有进水管7与出水管2，进水管7与出水管2一端均插入到水箱8内部，通过设计的进水管7和出水管2，两者实现一个循环系统，保证其进水管7的液体输送至喷淋管内部喷出然后在通过出水管2循环至水箱8内部，达到循环使用，节约资源，且进水管7一端连接有泵体，泵体位于水箱8内部，进水管7另一端设置有接嘴13，接嘴13内部设置有接头14，通过设计的接头14，接头14与接嘴13快速插入卡接固定，从而便于进液管11与进水管7的快速组装，接头14内侧固定有进液管11，进液管11一端连接有三通，通过设计的三通，便于将其进液管11与两个分接管12实现连接，保证其一拖二的模式工作，降低其进液成本，使其两个分接管12进入液体压力等同，三通两端均固定有分接管12，分接管12一端连接有喷淋管5，分接管12的横截面为L型结构，喷淋管5表面开设有喷孔，喷淋管5两端均连接有堵头，堵头与喷淋管5之间通过螺纹连接，且堵头一端外部套设有密封垫，喷淋管5底部设置有托架，托架固定在检测台6表面，检测台6位于检测箱3的中心位置，且检测箱3内壁设置有检测标度线4，通过设计的检测标度线4，方便操作者进行水位的观察是否合格。
实施例2
请参阅图1至图4，本发明提供一种技术方案：一种检验气路喷淋均匀性的装置，包括支架1，支架1内侧设置有水箱8，通过设计的水箱8和检测箱3，将其待检测的喷淋管5至于检测箱3内部与进液管11相互接通，通过水箱8内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管5内部，喷出进而观察检测标度线4，已达到检测喷孔是否均匀的目的，支架1顶部设置有检测箱3，检测箱3内部设置有检测台6，检测台6两侧端部分别贯穿有进水管7与出水管2，进水管7与出水管2一端均插入到水箱8内部，通过设计的进水管7和出水管2，两者实现一个循环系统，保证其进水管7的液体输送至喷淋管内部喷出然后在通过出水管2循环至水箱8内部，达到循环使用，节约资源，且进水管7一端连接有泵体，泵体位于水箱8内部，进水管7另一端设置有接嘴13，接嘴13内部设置有接头14，通过设计的接头14，接头14与接嘴13快速插入卡接固定，从而便于进液管11与进水管7的快速组装，接头14内侧固定有进液管11，进液管11一端连接有三通，通过设计的三通，便于将其进液管11与两个分接管12实现连接，保证其一拖二的模式工作，降低其进液成本，使其两个分接管12进入液体压力等同，三通两端均固定有分接管12，分接管12一端连接有喷淋管5，分接管12的横截面为L型结构，喷淋管5表面开设有喷孔，喷淋管5两端均连接有堵头，堵头与喷淋管5之间通过螺纹连接，且堵头一端外部套设有密封垫，喷淋管5底部设置有托架，托架固定在检测台6表面，检测台6位于检测箱3的中心位置，且检测箱3内壁设置有检测标度线4，通过设计的检测标度线4，方便操作者进行水位的观察是否合格。
本实施例中，优选的，支架1底部四个拐角处均通过螺纹连接有调节地脚10，调节地脚10底部套设有耐磨套9，通过设计的耐磨套9，包裹在调节地脚10的底部，对其地脚底部实现包裹保护，避免其受到磨损而影响本发明的水平调整，从而导致其检测结果出现误差，耐磨套9底部开设有安装孔，安装孔内部设置有紧固螺钉15，紧固螺钉15与调节地脚10通过螺纹连接，通过设计的紧固螺钉15，紧固螺钉15安装在耐磨套9底部的安装孔内，达到紧固作用，其通过螺纹旋合连接，方便后期的拆装。
本发明的工作原理及使用流程：本发明在使用的时候，将其待检测的喷淋管5至于检测箱3内部与进液管11相互接通，通过水箱8内的泵体传送液体，使其进入到喷淋管5内部，喷出进而观察检测标度线4，已达到检测喷孔是否均匀的目的，本发明中喷出的液体通过出水管2再次回流到水箱8内部，从而达到循环利用的目的，本发明中通过三通对分接管12和进液管11相互连接，已达到两个分接管12内部的液体水压相同，从而避免其水压出现偏差而影响检测结果。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
