一种阵列式碳化硅加热装置
技术领域
本实用新型属于碳化硅加热设备领域，尤其涉及一种阵列式碳化硅加热装置。
背景技术
碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小，因此碳化硅大量用于制作电热元件硅碳加热棒；在碳化硅加热棒在制作生产时，需要对其表面涂刷涂料，然后在放入加热设备中，通过加热使涂料固化，使碳化硅加热棒具有更好的导热效果，更加耐用。
目前一些用于碳化硅加热棒的加热设备，多采用直接加热的形式对碳化硅加热棒进行加热，但是，在加热过程中，由于直接以燃烧的形式对碳化硅加热棒，易发生副反应，产生多余的杂质，影响碳化硅加热棒的生产质量；另外采用低电压高电流的加热器对碳化硅加热棒加热，造成大量的点热能损失，不够经济实用；以上两种方式均存在加热效率低的问题。
现有技术中，中国专利申请号201910317907 .3公开了一种碳化硅片快速加热退火装置，包括：依次连接的冷却室、预热室、加热室，冷却室位于预热室的一侧，加热室位于预热室的上方，冷却室、预热室内皆设置有可旋转的硅片托盘；冷却室、预热室之间设置有机械手臂；预热室的硅片托盘底部设置有升降架。
上述技术方案中，采用直接预热的方式，对碳化硅片加热，加热效率低，热损失量大。
现有技术中，中国专利申请号201910659137 .0公开了一种用于碳化硅外延的加热装置。包括外延生长反应腔和绕设于外延生长反应腔外的电磁感应线圈；电磁感应线圈包括多个线圈匝，电磁感应线圈的匝间距自线圈端部向线圈中部逐渐递增。
通过电磁感应的加热方式，温度难以控制，在实际应用时，加热效率低，在用于大批量加工时，生产成本高。
实用新型内容
针对现有技术不足，本实用新型的目的在于提供一种阵列式碳化硅加热装置，通过将氮气等气体通入换热器，将加热的氮气通入加热板，通过设置的阵列式散热片对碳化硅加热棒进行加热，利用氮气的惰性，有效防止在加热过程中发生副反应，生产杂质，影响碳化硅加热棒的生产质量；采用阵列式散热片的加热方式，进一步提高了加热效率，温度便于控制，热能量损失小。
本实用新型提供如下技术方案：
一种阵列式碳化硅加热装置，包括壳体、换热器；所述换热器底部设有燃烧室，燃烧室底部设有点火器，燃烧室的一侧设有燃料管和进气管，燃烧室的另一侧设有排气管；所述换热器内部设有通气管，通气管连通换热器外部设置的通气口；所述通气管浸入换热器内部的换热液中；所述通气管的另一端连接有风机，风机底部连接有底座，通气管经过风机之后的通气管贯穿所述壳体，所述壳体内设有加热板，加热板为中空结构，加热板内设有加热通道；所述通气管与加热通道连通。
优选的，所述加热板为为“U”型结构，加热板与壳体内壁连接；所述加热板的内侧设有多个散热板，所述散热板为中空结构，散热板内部设有内腔，所述内腔与加热通道连通；所述散热板远离加热板的一侧开设有毛细透气管。
优选的，所述散热板在加热板内侧呈对称阵列式分布，散热板间隔距离为5-15cm。
优选的，所述加热板的内侧设有置物架，所述置物架为多层结构；所述置物架两侧设置有连接板，通过连接板与壳体内壁连接。
优选的，所述置物架包括多个放置板，多个放置板之间四个靠近顶角的位置设有四个支柱，通过支柱连接。
优选的，所述通气口通入的气体为氮气或者二氧化碳。
优选的，所述壳体的一侧设有密封门，所述密封门上设有泄压阀。
优选的，所述通气口通入氮气最佳，防止碳化硅在加热过程中与其它气体放生反应，影响碳化硅生产质量。
优选的，所述换热液为水或者煤油。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
（1）本实用新型一种阵列式碳化硅加热装置，通过将氮气等气体通入换热器，将加热的氮气通入加热板，通过设置的阵列式散热片对碳化硅加热棒进行加热，利用氮气的惰性，有效防止在加热过程中发生副反应，生产杂质，影响碳化硅加热棒的生产质量。
（2）本实用新型一种阵列式碳化硅加热装置，采用阵列式散热片的加热方式，进一步提高了加热效率。
（3）本实用新型一种阵列式碳化硅加热装置，通过换热器对气体加热，利用高温气体对碳化硅加热棒进行加热，温度便于控制，热能量损失小。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型的置物架结构示意图。
图3是本实用新型的壳体剖面结构示意图。
图4是本实用新型的加热板俯视图。
图5是本实用新型的散热片结构示意图。
图中：1、壳体；2、换热器；3、点火器；4、燃料管；5、进气管；6、排气管；7、通气口；8、通气管；9、换热液；10、风机；11、底座；12、加热板；13、加热通道；14、散热板；15、连接板；16、置物架；17、密封门；18、放置板；19、支柱；20、毛细透气管；21、燃烧室；22、内腔；23、泄压阀。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一
如图1所示，一种阵列式碳化硅加热装置，包括壳体1、换热器2；所述换热器2底部设有燃烧室21，燃烧室21底部设有点火器3，燃烧室21的一侧设有燃料管4和进气管5，燃烧室21的另一侧设有排气管6；所述换热器2内部设有通气管8，通气管8连通换热器2外部设置的通气口7；所述通气管8浸入换热器2内部的换热液9中；所述通气管8的另一端连接有风机10，风机10底部连接有底座11，通气管8经过风机10之后的通气管8贯穿所述壳体1，所述壳体1内设有加热板12，加热板12为中空结构，加热板12内设有加热通道13；所述通气管8与加热通道13连通。
通过将氮气等气体通入换热器2，将加热的氮气通入加热板12，通过设置的阵列式散热片对碳化硅加热棒进行加热，利用氮气的惰性，有效防止在加热过程中发生副反应，生产杂质，影响碳化硅加热棒的生产质量。
实施例二：
如图1-5所示，在实施例一基础上进行改进，所述加热板12为为“U”型结构，加热板12与壳体1内壁连接；所述加热板12的内侧设有多个散热板14，所述散热板14为中空结构，散热板14内部设有内腔22，所述内腔22与加热通道13连通；所述散热板14远离加热板12的一侧开设有毛细透气管20。
所述散热板14在加热板12内侧呈对称阵列式分布，散热板14间隔距离为5-15cm。
采用阵列式散热片的加热方式，进一步提高了加热效率。
实施例三
如图1-5所示，在实施例一的基础上进行改进，所述加热板12的内侧设有置物架16，所述置物架16为多层结构；所述置物架16两侧设置有连接板15，通过连接板15与壳体1内壁连接。
所述置物架16包括多个放置板18，多个放置板18之间四个靠近顶角的位置设有四个支柱19，通过支柱19连接；所述壳体1的一侧设有密封门17，所述密封门17上设有泄压阀23。
所述通气口7通入氮气，防止碳化硅在加热过程中与其它气体放生反应，影响碳化硅生产质量。
所述换热液9为使用煤油，加热温度高，通过换热器2对气体加热，利用高温气体对碳化硅加热棒进行加热，温度便于控制，热能量损失小。
通过上述技术方案得到的装置是一种阵列式碳化硅加热装置，在使用时，从换热器2的通气口7通入氮气，打开风机10进行吹风，打开泄压阀23，将壳体1内的空气从泄压阀23排除干净，关闭泄压阀23，保证壳体1内不为氮气状态，防止在加热过程中，产生副反应，影响碳化硅的质量，然后将涂刷好涂料的碳化硅放在置物架16上，燃烧室21通入燃油和空气，经点火器3点燃，对换热液9加热，进一步对氮气加热，将高温氮气通入加热板12，通过将氮气等气体通入换热器2，将加热的氮气通入加热板12，通过设置的阵列式散热片对碳化硅加热棒进行加热，利用氮气的惰性，有效防止在加热过程中发生副反应，生产杂质，影响碳化硅加热棒的生产质量；采用阵列式散热片的加热方式，进一步提高了加热效率。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化；凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
