定位装置、以及划线装置
技术领域
本发明涉及一种调节加工对象的位置及朝向的定位装置、以及具备该定位装置的划线装置。
背景技术
以往，已知切出玻璃基板或者陶瓷基板的装置。例如，有一种装置，其在贴合的玻璃基板上形成划分线，并切出该玻璃基板的小片(例如，参照专利文献1)。另外，对这样的基板进行加工的装置具备用于调节作为加工对象的基板的位置及朝向的定位机构。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5280442号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
在设置于加工装置的现有的定位机构中，如所谓的“XYT台”那样，作为单独的机构而设置有使基板移动的机构、和使基板旋转的机构。另外，现有的定位机构具有如下结构，例如，在使基板移动的机构的工作台上设置有使基板旋转的机构。即，现有的定位机构具有多个机构向上方向重叠的结构。由于是这样的结构，现有的定位机构的定位精度低。
本发明的目的在于，在用于调节部件的位置及朝向的定位机构中提高部件的定位精度。
(二)技术方案
下面说明多个方式作为用于解决问题的手段。这些方式可以根据需要任意组合。
本发明的一个方面的定位装置是用于调节基板的位置及朝向的装置。定位装置具备：基板保持工作台、一对第一棒状部件、一对第二棒状部件、第一轴承部件、第二轴承部件、一对第一驱动机构、一对第二驱动机构。
基板保持工作台保持基板。一对第一棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔并列配置。一对第二棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔并列配置。另外，一对第二棒状部件与一对第一棒状部件交叉。
第一轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第一棒状部件的表面上滑动。第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第二棒状部件的表面上滑动。
一对第一驱动机构分别设置于一对第一棒状部件的端部，并使一对第一棒状部件的两个端部独立地沿第一方向移动。一对第二驱动机构分别设置于一对第二棒状部件的端部，并使一对第二棒状部件的两个端部独立地沿第二方向移动。第二方向相对于第一方向垂直。
在上述定位装置中，固定于基板保持工作台的第一轴承部件在第一棒状部件的表面上滑动，从而基板保持工作台能够沿第一方向移动。另外，固定于基板保持工作台的第二轴承部件在第二棒状部件的表面上滑动，从而基板保持工作台能够沿第二方向移动。
第一轴承部件及第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，因此当基板保持工作台沿第一方向及第二方向移动时，这些轴承部件不会相互相对移动。由此，定位装置具有基板保持工作台的第一方向及第二方向的高定位精度。
另外，上述的定位装置具备转动机构。转动机构分别设置于一对第一驱动机构及一对第二驱动机构。当基板保持工作台绕垂直于第一方向及第二方向的旋转轴旋转时，该转动机构使一对第一棒状部件的端部及一对第二棒状部件的端部绕与基板保持工作台的旋转轴平行的轴转动。
在具有上述结构的定位装置中，基板保持工作台的旋转轴与驱动机构的旋转轴相互分离。由此，定位装置具有基板保持工作台的旋转方向的高定位精度。
定位装置还可以具备平台。平台在包含第一方向及第二方向的共通的水平面上保持一对第一驱动机构及一对第二驱动机构。
由此，能够使第一棒状部件及第二棒状部件在共通的水平面内移动。其结果为，能够提高基板保持工作台的第一方向及第二方向上的定位精度。
定位装置还可以具备支撑部件。支撑部件设置于基板保持工作台，并抵接于平台的水平面而支撑基板保持工作台。由此，能够在平台的水平面内稳定地移动基板保持工作台。
在定位装置中，可以通过使一对第一驱动机构分别向相互相反的方向移动并使一对第二驱动机构分别向相互相反的方向移动，从而使基板保持工作台旋转。
由此，能够将基板保持工作台高精度地定位于任意角度。
在定位装置中，可以通过使一对第一驱动机构分别向相同方向移动，而使基板保持工作台沿第一方向移动。
由此，能够将基板保持工作台高精度地定位于第一方向的任意位置。
可以通过使一对第二驱动机构分别向相同的方向移动，从而使基板保持工作台沿第二方向移动。
由此，能够将基板保持工作台高精度地定位于第二方向的任意位置。
本发明的另一方面的划线装置具备：定位装置、划线机构。定位装置是用于调节基板的位置及朝向的装置。定位装置具备：基板保持工作台、一对第一棒状部件、一对第二棒状部件、第一轴承部件、第二轴承部件、第一驱动机构、第二驱动机构、转动机构。
基板保持工作台保持基板。一对第一棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔配置。一对第二棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔配置，并与一对第一棒状部件交叉。第一轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第一棒状部件的表面上滑动。第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第二棒状部件的表面上滑动。
一对第一驱动机构分别设置于一对第一棒状部件的端部，并使一对第一棒状部件的两个端部独立地沿第一方向移动。一对第二驱动机构分别设置于一对第二棒状部件的端部，并使一对第二棒状部件的两个端部独立地沿相对于第一方向垂直的第二方向移动。
转动机构分别设置于一对第一驱动机构及一对第二驱动机构，当基板保持工作台绕垂直于第一方向及第二方向的旋转轴旋转时，使一对第一棒状部件的端部及一对第二棒状部件的端部绕与旋转轴平行的轴转动。
划线机构在保持于基板保持工作台的基板上形成划分线。上述定位装置能够高精度地进行保持于基板保持工作台的基板的定位，因此该划线装置能够在基板上准确地形成划分线。
基板保持工作台可以具有使基板的下表面暴露的工作台开口。由此，上述的划线装置也能够对基板的下表面进行加工。
划线机构也可以分别设置于基板的上表面侧和下表面侧。由此，对于基板能够同时在上表面和下表面上形成划分线。
(三)有益效果
本发明的定位装置能够高精度地进行基板的定位。
附图说明
图1是第一实施方式的划线装置的概要剖视图。
图2是第一实施方式的定位装置的概要立体图。
图3是第一驱动机构的保持部的剖视图。
图4是第二驱动机构的保持部的剖视图。
图5是定位装置的俯视图。
图6是表示定位装置中的基板的角度修正动作的俯视图。
图7是表示定位装置中的基板的位置的调整动作的俯视图。
附图标记说明
100-划线装置；1-定位装置；11-基板保持工作台；11a-第一轴承部件；11b-第二轴承部件；11c-腿部；O1-工作台开口；S-基板；12-第一棒状部件；12a-第一下落防止部件；13-第二棒状部件；13a-第二下落防止部件；14、14a、14b-第一驱动机构；15、15a、15b-第二驱动机构；21-旋转轴部件；21a-支撑部；21b-联轴器；22-移动部件；23-驱动电动机；24-直线引导部；24a-导轨；24b-导块；25-保持部；25a-基座；25b-加高部件；25c-棒状部件保持部件；25d-转动机构；25e-轴；16-平台；17-支撑部件；18-控制部；3-划线机构；SW-划线轮。
具体实施方式
1.第一实施方式
(1)划线装置
下文使用图1对第一实施方式的划线装置100进行说明。图1是第一实施方式的划线装置的概要剖视图。
在下文的说明中，定义X轴和Y轴作为规定的水平面内的二维的轴。另外，定义表示垂直于该水平面的方向的Z轴。在图1中，将纸面内的从左向右的方向设定为正X方向，将从纸面向上设定为正Y方向。另外，将纸面内的从下向上的方向设定为正Z方向。
划线装置100是在保持于基板保持工作台11的基板S上形成划分线的装置。基板S是玻璃基板或者陶瓷基板等脆性基板、或者、树脂基板等。通过利用划线装置100在基板上形成划分线，从而能够沿着划分线分离基板。
划线装置100具备定位装置1、划线机构3。定位装置1是进行基板保持工作台11的定位的装置。在定位装置1中，固定于基板保持工作台11的第一轴承部件11a及第二轴承部件11b分别在第一棒状部件12及第二棒状部件13的表面上滑动，从而能够在水平面内(X-Y平面内)对基板保持工作台11进行定位。另外，通过使第一棒状部件12及第二棒状部件13在水平面内“偏斜”，从而能够变更基板保持工作台11在水平面内的角度。
另外，如图1所示，在基板保持工作台上，在其中心设置有工作台开口O1。工作台开口O1是用于使基板S的下表面(负Z方向侧的主面)暴露的开口。由此，本实施方式的划线装置100能够对基板S的下表面进行加工(形成划分线)。
划线机构3是使划线轮SW滚动而切断基板的装置。划线轮SW是外周部分形成为V字形的圆板状的部件。划线轮SW的上述外周部分为在基板S上形成划分线的刀。
如图1所示，在本实施方式的划线装置100中，在基板S的上表面侧和下表面侧设置有划线机构3。由此，能够在基板S的上表面和下表面上同时形成划分线。
(2)定位装置
(2-1)整体结构
下文使用图1～图5对划线装置100所具备的第一实施方式的定位装置1的具体的结构进行说明。图2是第一实施方式的定位装置的概要立体图。图3是第一驱动机构的保持部的剖视图。图4是第二驱动机构的保持部的剖视图。图5是定位装置的俯视图。
第一实施方式的定位装置1通过配置为“井字(井桁)”状的棒状部件支撑基板保持工作台11，并且通过使基板保持工作台11沿棒状部件滑动，从而能够使基板保持工作台11在X-Y平面内移动，并能够绕Z方向的轴旋转。
定位装置1具有：基板保持工作台11、第一轴承部件11a、第二轴承部件11b、一对第一棒状部件12、一对第二棒状部件13、一对第一驱动机构14、一对第二驱动机构15。基板保持工作台11是保持要形成划分线的对象即基板S的平面部件。本实施方式的基板保持工作台11具有四边形的形状，腿部11c从四边形的顶点分别向下方向(负Z方向)延伸。此外，基板保持工作台11的形状不限于四边形，可以是任意的形状。
在基板保持工作台11的腿部11c上，在其上部设置有沿与四边形的一边平行的方向延伸的开口。第一轴承部件11a以嵌合于该开口的状态固定于基板保持工作台11的上部。第一轴承部件11a例如是空气轴承等能够在棒状部件上平滑地滑动的轴承。
另一方面，在腿部11c的下部设置有另一个开口，该开口沿与嵌合有第一轴承部件11a的开口所延伸的方向垂直的方向延伸。第二轴承部件11b以嵌合于该开口的状态固定于基板保持工作台11的下部。第二轴承部件11b例如是空气轴承等能够在棒状部件上平滑地滑动的轴承。
一对第一棒状部件12是长的柱状部件。如图1及图2所示，本实施方式的第一棒状部件12是圆柱状的部件，但也可以是棱柱等具有多边形的剖面的柱状部件。此外，更优选第一棒状部件12的长度比平台(后述)的一边的长度长，且比平台的对角线的长度稍长。
一对第一棒状部件12分别贯通固定于腿部11c的上部的第一轴承部件11a。由此，一对第一棒状部件12在与上述四边形的一边(与第一棒状部件12的长度方向平行的边)垂直的方向上，空出四边形的另一边(与第一棒状部件12的长度方向垂直的边)的长度的间隔配置。
另外，通过使一对第一棒状部件12贯通第一轴承部件11a，从而固定于腿部11c的第一轴承部件11a能够在第一棒状部件12的表面上滑动。即，基板保持工作台11在一对第一棒状部件12的表面上滑动，从而能够沿着第一棒状部件12的长度方向移动。而且，在一对第一棒状部件12的一端以连结一对第一棒状部件12的方式设置有第一下落防止部件12a。
一对第二棒状部件13是长的柱状部件。如图1及图2所示，本实施方式的第二棒状部件13是圆柱状的部件，但也可以是棱柱等具有多边形的剖面的柱状部件。此外，更优选第二棒状部件13的长度比平台(后述)的一边的长度长，且比平台的对角线的长度稍长。
一对第二棒状部件13分别贯通固定于腿部11c的下部的第二轴承部件11b。由此，一对第二棒状部件13在与上述四边形的一边(与第二棒状部件13的长度方向平行的边)垂直的方向上，空出四边形的另一边(与第二棒状部件13的长度方向垂直的边)的长度的间隔配置。
另外，通过使一对第二棒状部件13贯通第二轴承部件11b，从而固定于腿部11c的第二轴承部件11b能够在第二棒状部件13的表面上滑动。即，板保持工作台11通过在一对第二棒状部件13的表面上滑动，而能够沿着第二棒状部件13的长度方向移动。而且，在一对第二棒状部件13的一端以连结一对第二棒状部件13的方式设置有第二下落防止部件13a。
如上所述，第一轴承部件11a固定于腿部11c的上部，第二轴承部件11b固定于腿部11c的下部。另外，第二轴承部件11b沿着与第一轴承部件11a延伸的方向垂直的方向延伸。
利用轴承部件的上述配置，贯通第一轴承部件11a的一对第一棒状部件12、贯通第二轴承部件11b的一对第二棒状部件13在腿部11c的配置位置，即，在基板保持工作台11的四角相互垂直地交叉。也就是说，一对第一棒状部件12与一对第二棒状部件13配置成“井字”状。通过该“井字”结构，一对第一棒状部件12及一对第二棒状部件13能够以稳定的状态支撑基板保持工作台11。
另外，基板保持工作台11能够在相互垂直地交叉的第一棒状部件12及第二棒状部件13上滑动，因此能够在这两个棒状部件形成的平面(即，X-Y平面)上移动到任意的位置。
一对第一驱动机构14分别设置于定位装置1的X方向的端部，并连接一对第一棒状部件12的对应的端部。更具体而言，在一对第一棒状部件12的一端部连接有一个第一驱动机构14，在一对第一棒状部件12的另一端部连接有一个第一驱动机构14。各第一驱动机构14能够使自身连接的一对第一棒状部件12的端部沿Y方向(第一方向的一例)移动。
利用上述结构，一对第一驱动机构14能够使一对第一棒状部件12的两个端部独立地沿Y方向移动。另外，一对第一驱动机构14通过使一对第一棒状部件12的端部沿Y方向移动，从而能够使基板保持工作台11在一对第二棒状部件13的表面上滑动。即，一对第一驱动机构14能够使基板保持工作台11沿第二棒状部件13的长度方向移动。
一对第二驱动机构15分别设置于定位装置1的Y方向的端部，并连接一对第二棒状部件13的对应的端部。更具体而言，在一对第二棒状部件13的一端部连接有一个第二驱动机构15，在一对第二棒状部件13的另一端部连接有一个第二驱动机构15。各第二驱动机构15能够使自身连接的一对第二棒状部件13的端部沿X方向(第二方向的一例)移动。
利用上述结构，一对第二驱动机构15能够使一对第二棒状部件13的两个端部独立地沿X方向移动。另外，一对第二驱动机构15通过使一对第二棒状部件13的端部沿X方向移动，从而能够使基板保持工作台11在一对第一棒状部件12的表面上滑动。即，一对第二驱动机构15能够使基板保持工作台11沿第一棒状部件12的长度方向移动。
定位装置1具有平台16。平台16是定义了一个水平面(X-Y平面)的具有重量的部件。平台16在包含X方向及Y方向的共通的水平面(X-Y平面)上固定一对第一驱动机构14及一对第二驱动机构15。具体而言，一对第一驱动机构14分别固定于平台16的X方向的端部。另一方面，一对第二驱动机构15分别固定于平台16的Y方向的端部。
通过将驱动机构固定于平台16上，从而能够使第一棒状部件12及第二棒状部件13在共通的水平面内移动。其结果为，能够提高基板保持工作台11的X方向及Y方向上的定位精度。
平台16是例如花岗石(Granite)制的石平台。除此之外，也可以使用金属制的平台。
定位装置1具有支撑部件17。支撑部件17设置于基板保持工作台11的腿部11c的下端部，并抵接于平台16的共通的水平面而支撑基板保持工作台11。在与平台16的水平面抵接的状态下，支撑部件17随着基板保持工作台11的移动而在平台16的水平面上移动。由此，支撑部件17能够使基板保持工作台11在平台16的水平面内稳定地移动。支撑部件17例如是气垫等缓冲部件。
(2-2)驱动机构
接着，使用图2及图3，更详细地说明上述第一驱动机构14及第二驱动机构15。下文，在图2中，以设置于正X方向的第一驱动机构14为例对其结构进行说明。
此外，第二驱动机构15与第一驱动机构14的不同之处在于，结构部件的移动方向、旋转轴相差90°(例如，如果在第一驱动机构14中为“向Y方向移动”，则在第二驱动机构15中为“向X方向移动”)；保持部25(后述)保持第二棒状部件13；以及如图4所示在保持部25(后述)上不存在加高部件25b(后述)。
第一驱动机构14具有旋转轴部件21、移动部件22、驱动电动机23、直线引导部24、保持部25。
旋转轴部件21是较长的圆柱状的部件，在其表面形成有螺纹牙。旋转轴部件21的一端被支撑部21a支撑，另一端经由联轴器21b与驱动电动机23的输出旋转轴连接。通过该结构，旋转轴部件21以长度方向与Y方向平行的方式保持于平台16的X方向的侧面。
移动部件22螺纹结合于旋转轴部件21，并随着旋转轴部件21的旋转而沿Y方向移动。另外，保持部25固定于移动部件22的上部。由此，移动部件22能够随着旋转轴部件21的旋转而沿Y方向移动保持部25。移动部件22例如是滚珠丝杠部件，该滚珠丝杠部件在其内部具有插入旋转轴部件21的螺纹牙的金属滚珠。
驱动电动机23使经由联轴器21b连接的旋转轴部件21绕Y轴旋转。即，驱动电动机23是使保持部25沿Y方向移动的驱动源。另外，驱动电动机23通过对其正转和逆转进行切换，从而能够向Y方向的正方向或者负方向移动保持部25。
此外，作为其它实施例，能够将由上述旋转轴部件21、移动部件22、驱动电动机23构成的驱动部分置换为直线电动机。
直线引导部24随着驱动电动机23的旋转而使保持部25沿Y方向移动。直线引导部24具有导轨24a、导块24b。
导轨24a固定于平台16的水平面上，并沿Y方向延伸。导块24b固定于保持部25，并在导轨24a上沿Y方向滑动。通过使导块24b在导轨24a上滑动，从而能够与平台16的水平面平行地移动保持部25。
保持部25保持一对第一棒状部件12的端部。下文对保持部25的结构进行详细说明。保持部25具有基座25a、加高部件25b、棒状部件保持部件25c、转动机构25d。
基座25a是作为保持部25的基座的部件。在基座25a的下表面固定有上述移动部件22和导块24b。另一方面，在基座25a的上表面固定有加高部件25b。
加高部件25b调整从基座25a到棒状部件保持部件25c的高度，从而使得棒状部件保持部件25c能够保持第一棒状部件12。
棒状部件保持部件25c在其Y方向的两端具有开口，通过使第一棒状部件12的端部贯通该开口，从而保持该第一棒状部件12。而且，棒状部件保持部件25c在下部具有沿Z方向延伸的轴25e。
此外，在棒状部件保持部件25c的上述开口中嵌合有轴承部件，第一棒状部件12贯通该轴承部件。由此，在棒状部件保持部件25c的开口(轴承部件)中，第一棒状部件12能够沿X方向滑动。
转动机构25d是在其中心具有沿Z方向延伸的开口，并使插入该开口的轴旋转的轴承等轴承部件。在转动机构25d的沿Z方向延伸的开口中插入有棒状部件保持部件25c的轴25e。
由此，棒状部件保持部件25c能够绕垂直于X方向及Y方向的Z轴转动。即，转动机构25d使一对第一棒状部件12的端部绕Z轴转动。
如图2所示，在本实施方式中，固定于平台16的正X方向的侧面的驱动电动机23的Y方向的配置位置与固定于平台16的负X方向的侧面的驱动电动机23的Y方向的配置位置相反。由此，能够使设置于旋转轴部件21的螺纹精度的影响最小限度。
定位装置1具有控制部18。控制部18对定位装置1(及划线装置100)进行控制。控制部18是具有CPU、存储装置(RAM、ROM、SSD等存储装置)、各种接口的计算机系统(例如，专用控制器、PLC等)。或者，控制部18可以通过将上述结构的一部分或者全部集成于一个芯片的SoC(System on Chip，片上系统)来实现。
后述的利用定位装置1进行的基板的定位动作通过执行存储于控制部18的存储装置的程序来实现。除此之外，也可以通过硬件实现后述的定位动作的一部分或者全部。
(3)定位装置进行的基板的定位动作
接着，使用图5～图7对使用了具有上述结构的定位装置1的基板S的定位动作进行说明。图6是表示定位装置中的基板的角度修正动作的俯视图。图7是表示定位装置中的基板的位置的调整动作的俯视图。
在下文的说明中，如图5等所示，将一对第一驱动机构14中的正X方向侧的第一驱动机构14设定为第一驱动机构14a，将负X方向侧的第一驱动机构14设定为第一驱动机构14b。另外，将一对第二驱动机构15中的正Y方向侧的第二驱动机构15设定为第二驱动机构15a，将负Y方向侧的第二驱动机构15设定为第二驱动机构15b。
首先，对使基板S(基板保持工作台11)在当前位置绕Z轴旋转的情况下的动作进行说明。在使基板S在当前位置旋转的情况下，控制部18使一对第一驱动机构14a、14b分别沿Y方向向相互相反的方向移动。与此同时，控制部18使一对第二驱动机构15a、15b分别沿X方向向相互相反的方向移动。此时，控制部18使一对第一驱动机构14a、14b、以及一对第二驱动机构15a、15b全部以相同的速度移动。由此，能够避免向一对第一棒状部件12及一对第二棒状部件13施加弯曲应力等。
例如，如图6所示，使一方的第一驱动机构14a沿负Y方向、使另一方的第一驱动机构14b沿正Y方向相互向相反方向移动，使一方的第二驱动机构15a沿正X方向、使另一方的第二驱动机构15b沿负X方向相互向相反方向移动。
由此，一对第一棒状部件12相对于X轴偏斜(向负Y方向偏斜)、一对第二棒状部件13相对于Y轴偏斜(向正X方向偏斜)，其结果为，基板S(基板保持工作台11)在当前位置上绕Z轴顺时针(图6的情况)旋转。此外，在整个驱动机构向上述方向的相反方向移动的情况下，基板S(基板保持工作台11)在当前位置绕Z轴绕逆时针(图6的情况)旋转。
如图6所示，在基板保持工作台11绕Z轴旋转时，第一驱动机构14及第二驱动机构15的棒状部件保持部件25c通过转动机构25d绕Z轴转动。这样，在本实施方式的定位装置1中，基板保持工作台11的旋转轴与驱动机构的旋转轴分离。
根据这样的结构，本实施方式的定位装置1能够使基板保持工作台11(基板S)高精度地旋转。也就是说，定位装置1能够执行基板S的高精度的角度修正。
接着，对使基板S(基板保持工作台11)沿X方向和/或Y方向移动的情况下的动作进行说明。在使基板S沿至少包含X方向的成分的方向移动的情况下，控制部18使一对第二驱动机构15a、15b分别向X方向上的相同方向移动。由此，基板保持工作台11沿着在至少包含X方向的成分的方向上延伸的一对第一棒状部件12移动。
另一方面，在使基板S沿至少包含Y方向的成分的方向移动的情况下，控制部18使一对第一驱动机构14a、14b分别向Y方向上的相同方向移动。由此，基板保持工作台11沿着在至少包含Y方向的成分的方向上延伸的一对第二棒状部件13移动。
另外，控制部18在使一对第一驱动机构14a、14b分别向相同的方向移动的同时，也能够进行控制使得一对第二驱动机构15a、15b分别向相同的方向移动。由此，能够使基板S(基板保持工作台11)同时向两个方向移动。
此外，在使基板S在平面内移动的情况下，控制部18使一对第一驱动机构14以相同的速度移动，并使一对第二驱动机构15以相同的速度移动。但是，一对第一驱动机构14的速度可以与一对第二驱动机构15的速度不同。
例如，如图7所示，当如图6那样使基板保持工作台11旋转后，在进一步使一对第一驱动机构14a、14b分别向正Y方向移动的同时，使一对第二驱动机构15a、15b分别向负X方向移动。由此，一对第一棒状部件12及一对第二棒状部件13维持当前的偏斜角度进行移动，并且能够使基板S(基板保持工作台11)同时向X-Y平面内的两个方向移动。
(4)实施方式的共通事项
上述第一实施方式具有下述的结构及功能。
定位装置(例如，定位装置1)是用于调节基板(例如，基板S)的位置及朝向的装置。定位装置具备：基板保持工作台(例如，基板保持工作台11)、一对第一棒状部件(例如，一对第一棒状部件12)、一对第二棒状部件(例如，一对第二棒状部件13)、第一轴承部件(例如，第一轴承部件11a)、第二轴承部件(例如，第二轴承部件11b)、一对第一驱动机构(例如，一对第一驱动机构14)、一对第二驱动机构(例如，一对第二驱动机构15)。
基板保持工作台保持基板。一对第一棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔并列配置。一对第二棒状部件在基板保持工作台的下部空出规定间隔并列配置。另外，一对第二棒状部件与一对第一棒状部件交叉。
第一轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第一棒状部件的表面上滑动。第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并于该位置在第二棒状部件的表面上滑动。
一对第一驱动机构分别设置于一对第一棒状部件的端部，使一对第一棒状部件的两个端部独立地沿第一方向(例如，Y方向)移动。一对第二驱动机构分别设置于一对第二棒状部件的端部，使一对第二棒状部件的两个端部独立地沿第二方向(例如，X方向)移动。第二方向相对于第一方向垂直。
在上述定位装置中，固定于基板保持工作台的第一轴承部件在第一棒状部件的表面上滑动，从而基板保持工作台能够沿第一方向移动。另外，固定于基板保持工作台的第二轴承部件在第二棒状部件的表面上滑动，从而基板保持工作台能够沿第二方向移动。
第一轴承部件及第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，因此当基板保持工作台沿第一方向及第二方向移动时，这些轴承部件不会相互相对移动。由此，定位装置能够将基板高精度地定位于第一方向及第二方向。
另外，上述定位装置具备转动机构(例如，转动机构25d)。转动机构分别设置于一对第一驱动机构及一对第二驱动机构。在基板保持工作台绕垂直于第一方向及第二方向的旋转轴(例如，Z轴)旋转时，该转动机构使一对第一棒状部件的端部及一对第二棒状部件的端部绕与基板保持工作台的旋转轴平行的轴转动。
在具有上述结构的定位装置中，基板保持工作台的旋转轴与驱动机构的旋转轴相互分离。由此，定位装置能够高精度地对基板进行角度修正。
2.其它实施方式
上文对本发明的一个实施方式进行了说明，但是本发明不限于上述实施方式，可以在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。尤其是本说明书中所记载的多个实施方式及变形例可以根据需要任意地组合。
在第一实施方式中说明的定位装置1也能够当在划线装置以外的加工装置中进行加工部件(不限于基板)的定位时使用。另外，除了加工装置以外，例如，也能够在光学系统中当为了调整光轴、光路而对光学部件进行定位时使用。
工业实用性
本发明能够在调节加工对象等部件的位置及朝向的定位装置中广泛应用。
