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一种芯片切割液流量监测报警装置

2021-02-01 08:03:37

一种芯片切割液流量监测报警装置

  技术领域

  本实用新型属于芯片加工技术领域,具体涉及一种芯片切割液流量监测报警装置。

  背景技术

  芯片的材料是硅片,在硅片上制作出电路,然后封装起来的产品,芯片的原材料为硅材料,硅片在加工生产过程中,需要对硅片进行切割切割成规定大小的小硅片,在硅片切割加工的过程中需要采用切割液对切割刀进行冷却,切割刀冷却用的切割液流量过大,常常出现切割液用完,由于没有报警提醒装置,使得切割刀在继续切割的过程中,损害切割刀,加速了切割刀的使用寿命。

  为此,我们提出一种通过单片机设计程序与电磁阀以及蜂鸣器电性连接,能够进行缺液报警的芯片切割液流量监测报警装置来解决上述问题。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种芯片切割液流量监测报警装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片切割液流量监测报警装置,包括蜂鸣器以及切割液进液机构,所述切割液进液机构包括进液管、设于进液管上的流量计、与进液管的出液口相接通电动三通电磁阀、分别与电动三通电磁阀上的两个出液分管相接通的且设于两个切割刀固定架上的两个切割液喷嘴,两个所述切割液喷嘴之间夹装固定设有切割刀,所述切割刀固定架包括T形固定块、固定设于T形固定块后侧面的L形固定面板以及螺接固定设于T形固定块顶部且套接在L形固定面板后侧的倒L形面板,两个所述切割刀固定架上T形固定块与L形固定面板之间拼接构成的矩形凹面槽与切割刀的两端卡接固定,所述蜂鸣器、电动三通电磁阀以及流量计通过电线与切割机上的单片机电性连接。

  优选的,所述蜂鸣器固定设于安装支架的顶部。

  优选的,所述T形固定块上固定设有上下对称设置的四个固定孔。

  优选的,所述L形固定面板上螺接的螺栓贯穿于切割刀与T形固定块螺接固定。

  优选的,所述倒L形面板的顶部设有出液分管相穿插固定的第一抱箍。

  优选的,所述倒L形面板后侧面固定设有与切割液喷嘴相穿插固定的第二抱箍。

  本实用新型的技术效果和优点:该芯片切割液流量监测报警装置,单片机通过设计程序,将单片机与电动三通电磁阀连接,设计程序来控制电磁阀的开闭,根据流量计的流量计数与储液罐的初始储液量进行对比,当切割液储罐内储液缺乏时,单片机连接的蜂鸣器自动响起,可提醒人们向储液罐内加装切割液,由单片机控制电动三通电磁阀的通电以及断电,在通电时,电磁线圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起,阀门打开,向切割液喷嘴提供切割液,断电时,电磁力消失,弹簧把关闭件压在阀座上,阀门关闭,能够实时监测切割液流量以及缺液及时报警提醒人们添加切割液。

  附图说明

  图1为本实用新型的结构示意图;

  图2为本实用新型切割液进液机构的结构示意图;

  图3为本实用新型切割液进液机构的分解图。

  图中:1、蜂鸣器;2、切割液进液机构;3、进液管;4、流量计;5、电动三通电磁阀;6、出液分管;7、切割刀固定架;8、切割液喷嘴;9、切割刀;10、安装支架;11、T形固定块;12、L形固定面板;13、倒L形面板;14、第一抱箍;15、第二抱箍;16、固定孔;17、矩形凹面槽;18、螺栓。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  本实用新型提供了如图1-3所示的一种芯片切割液流量监测报警装置,包括蜂鸣器1以及切割液进液机构2,所述蜂鸣器1固定设于安装支架10的顶部,切割液进液机构2缺乏切割液时通过蜂鸣器1报警提醒;

  所述切割液进液机构2包括进液管3、设于进液管3上的流量计4、与进液管3的出液口相接通电动三通电磁阀5、分别与电动三通电磁阀5上的两个出液分管6相接通的且设于两个切割刀固定架7上的两个切割液喷嘴8,两个所述切割液喷嘴8之间夹装固定设有切割刀9,两个所述切割刀固定架7上T形固定块11与L形固定面板12之间拼接构成的矩形凹面槽17与切割刀9的两端卡接固定,所述L形固定面板12上螺接的螺栓18贯穿于切割刀9与T形固定块11螺接固定,所述蜂鸣器1、电动三通电磁阀5以及流量计4通过电线与切割机上的单片机电性连接,单片机通过设计程序,将单片机与电动三通电磁阀5连接,设计程序来控制电磁阀的开闭,根据流量计4的流量计数与储液罐的初始储液量进行对比,当切割液储罐内储液缺乏时,单片机连接的蜂鸣器自动响起,可提醒人们向储液罐内加装切割液,由单片机控制电动三通电磁阀5的通电以及断电,在通电时,电磁线圈产生电磁力把关闭件从阀座上提起,阀门打开,向切割液喷嘴8提供切割液,断电时,电磁力消失,弹簧把关闭件压在阀座上,阀门关闭,

  所述切割刀固定架7包括T形固定块11、固定设于T形固定块11后侧面的L形固定面板12以及螺接固定设于T形固定块11顶部且套接在L形固定面板12后侧的倒L形面板13,所述T形固定块11上固定设有上下对称设置的四个固定孔16,所述倒L形面板13的顶部设有出液分管6相穿插固定的第一抱箍14,所述倒L形面板13后侧面固定设有与切割液喷嘴8相穿插固定的第二抱箍15,方便对切割液进液管以及喷嘴进行安转固定,方便切割刀的安装与拆卸。

  最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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