一种机体内智能隔离和洁净设备
技术领域
本实用新型涉及半导体晶圆洁净领域，具体来说，涉及一种机体内智能隔离和洁净设备。
背景技术
目前，公知的晶圆光刻机内，对外部经常加载的晶圆传送盒是没有智能隔离和清洁功能的。这会导致外部经常加载的晶圆传送盒内部的温湿度、微尘会流入到光刻机体内，根据生产的需要，每一个晶圆传送盒要十几次甚至几十次从外部与光刻机对接，温湿度和微尘都会累积到光刻机内，光刻机又对温湿度、微尘有很严格的要求。
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种机体内智能隔离和洁净设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种机体内智能隔离和洁净设备，包括光刻机和电控柜，其特征在于，所述光刻机内部主要包括风刀部件和不锈钢管部件，电控柜内部分别设有配电模块、液晶显示屏和气控盒。
进一步的，风刀部件包括表面设有若干贯穿小孔的风刀、机体孔可调支架和风刀管接头，所述机体孔可调支架上设有温湿度传感器。
进一步的，所述不锈钢管部件主要包括不锈钢管焊接组件、卡套管接头、软管、Y型三通接头和设置在管道上的第一调速节流阀，所述不锈钢管焊接组件通过架管固定座固定在光刻机上。
进一步的，所述气控盒两端以及内部分别设有进气口、电磁阀、第二调速节流阀、流量计、出气口和集成电路板，所述电磁阀、第二调速节流阀和流量计设在进气口和出气口之间的管道上。
进一步的，所述风刀风幕和不锈刚管部件风幕相距离40mm
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
1、本实用新型隔绝晶圆传送盒和晶圆片对光刻机机体内部温湿度和微尘累积的同时，还利用负压清洁打开门的晶圆传送盒，还会清洁机械臂每次吸取的晶圆片上下外表面，还会清洁机体内。
2、本实用新型是机、电、气、软一体设备，除了清洁的功能以外、还有实时数据上传功能能够用于监控，便于维护。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型图1的电控柜结构示意图；
图3是本实用新型图2的气控盒结构示意图；
图4是本实用新型的风刀部件结构示意图；
图5是本实用新型的不锈钢管部件结构示意图。
附图标记：
1、光刻机；2、风刀部件；3、不锈钢管部件；4、电控柜；21、风刀；22、机体孔可调支架；23、温湿度传感器；24、风刀气管接头；31、不锈钢管焊接组件；32、架管固定座；33、卡套管接头；34、软管；35、第一调速节流阀； 36、Y型三通接头；41、配电模块；42、液晶显示屏；43、气控盒；431、进气口；432、电磁阀；433、第二调速节流阀；434、流量计；435、出气口；436、集成电路板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“顶部”、“底部”、“一侧”、“另一侧”、“前面”、“后面”、“中间部位”、“内部”、“顶端”、“底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-5：
图1，光刻机，风刀部件，不钢管部件，电控柜，厂房配电接到电控柜里面；
图2，配电模块，液晶显示器，气控盒，配电模块给气控盒中集成电路板配电，集成电路板再分配给液晶显示屏、电磁阀、数显流量计、温湿度传感器，并收集反馈数据上报后台；
图3，进气口，电磁阀，第二调速节流阀，流量计，出气口，集成电路板，进气口连接厂房气源，出气口通过Y型三通接头，两路分别通过各自的第二调速节流阀，通过软管连接风刀管接头和不锈钢管卡套管接头；
图4，风刀，借用机体孔可调支架，温湿度传感器，风刀气管接头，可调支架借用光刻机机体内现有孔进行安装；
图5，不锈钢管焊接组件，夹管固定座，卡套管接头，软管(34),第一调速节流阀，Y型三通接头，夹管固定座借用机体内现有孔安装。
(1)电路连接关系：厂房供电给电控柜、电控柜再分给模块化气控盒、每个气控盒中的集成电路板(型号：FP-Purge-20191218)得电后再分给气控盒中电磁阀和流量计、机体内温湿度传感器。
(2)气路连接关系：厂房供超纯清洁气体进入到每个气控盒中主进气管，经电磁阀、经第一调速节流阀、数显流量计、每个气控盒主出气管由Y型接头变成两路出气，分别经过第一调速节流阀一路气给风刀，从晶圆传送盒前开门顶部吹扫，形成自上到下的一片风幕，隔绝晶圆传送盒内温湿度和微尘的同时也负压吸出晶圆传送盒内部的温湿度和微尘送达到光刻机底面的恒温恒湿除尘管路中，另一路气给不锈钢管焊接组件，不锈钢管焊接组件三面围住晶圆传送盒前开门，不锈钢管焊接组件开密排小孔，保证每两个孔出气覆盖每一片晶圆的上下两个表面(每一个晶圆传送盒内上下等间距分布25片晶圆)，隔绝晶圆片的温湿度和微尘，而且风刀风幕和不锈钢管风幕两者前后相距40mm，形成有间隔的两层风幕、减少乱流现象的产生。
(3)数据通讯关系：集成电路板(自主研发型号为：FP-Purge-20191218) 收集流量计、温湿度传感器数据反馈数据到客户监控端，同时主机液晶显示屏显示。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限定本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
