一种多功能掩模保护膜拆除工具
技术领域
本发明涉及保护膜拆除工具领域，具体为一种多功能掩模保护膜拆除工 具。
背景技术
掩模保护膜是蒙贴在铝合金框架上的一层透明薄膜，防止灰尘掉落在掩 模有图形的一侧。在实际贴膜工序，由于环境、人员等因素，在贴膜过程中 会有颗粒掉落，在出货前颗粒检测时不合格被要求返工；同时，掩模在晶圆 厂使用多次以及储存环境的影响，保护膜会破损以及被污染，也需要退到掩 模厂进行返工。此类型返工产品，需要将保护膜拆除、清洗后再进行贴膜工 序。
由于5寸、6、7、9寸掩模保护膜膜框上排气孔距离不相同，现有拆膜工 具根据5、6、7、9寸排气孔距离进行单独设计。
本专利发明一种新型的多功能拆膜工具，可以同时进行5、6、7、9寸掩 模保护膜的拆除。只需要调节两撬锥间距后即可进行拆膜，使用方便为此， 提出一种多功能掩模保护膜拆除工具。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对上述背景技术提出的不足，本发明提供了一种多功能掩模保护膜拆 除工具，解决了上述背景技术提出的问题。
(二)技术方案
本发明提供如下技术方案：一种多功能掩模保护膜拆除工具，该保护膜 拆除工具包括第一陶瓷支撑环与第二陶瓷支撑环，所述第一陶瓷支撑环与第 二陶瓷支撑环套在第一横杆与第二横杆的一端，且第一横杆的中心有个内螺 纹孔，所述第二横杆的外壁有滑轨槽，且第二横杆的中间开有孔，把第一横 杆套住，其右端有个通孔，螺杆可以通过通孔螺入第一横杆的内螺纹孔内， 从而把第一横杆与第二横杆连接在一起，第一撬锥固定在第一陶瓷支撑环； 第二撬锥固定在第二陶瓷支撑环上，撬棒前端有个滑块，滑块在第二横杆的 外壁的滑轨槽内左右移动，使第一撬锥与第二撬锥的间距与保护膜上排气孔 的间距一致。
优选的，所述撬棒为一个不规则的圆柱体结构。
优选的，所述第一撬锥与第二撬锥的规格大小一致。
优选的，所述第一横杆与第二横杆的横截面积相同。
优选的，所述撬棒与滑轨槽之间的角度为90度。
优选的，所述第一陶瓷支撑环与第二陶瓷支撑环内部中空。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种多功能掩模保护膜拆除工具，具备 以下有益效果：该一种多功能掩模保护膜拆除工具，本发明结构紧凑，使用 方便，只需调整两撬锥的间距就可以拆除不同尺寸掩模保护膜，无需更换不 同尺寸的拆膜工具，方便、快捷，从成本上，可降低成本。
附图说明
图1为本发明一种多功能掩模保护膜拆除工具的整体结构示意图；
图2为本发明一种多功能掩模保护膜拆除工具的第一横杆结构示意图；
图3为本发明一种多功能掩模保护膜拆除工具的第二横杆的结构示意图；
图中：1、第一陶瓷支撑环；2、第二陶瓷支撑环；3、第一横杆；4、第 二横杆；5、螺杆；6、第一撬锥；7、第二撬锥；8、滑轨槽；9、撬棒。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而 不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做 出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-3所示，一种多功能掩模保护膜拆除工具，该保护膜拆除工具包 括第一陶瓷支撑环1与第二陶瓷支撑环2，所述第一陶瓷支撑环1与第二陶瓷 支撑环2套在第一横杆3与第二横杆4的一端，且第一横杆3的中心有个内 螺纹孔，所述第二横杆4的外壁有滑轨槽8，且第二横杆4的中间开有孔，把 第一横杆3套住，其右端有个通孔，螺杆5可以通过通孔螺入第一横杆3的 内螺纹孔内，从而把第一横杆3与第二横杆4连接在一起，第一撬锥6固定在第一陶瓷支撑环1；第二撬锥7固定在第二陶瓷支撑环2上，撬棒9前端有 个滑块，滑块在第二横杆4的外壁的滑轨槽8内左右移动，使第一撬锥6与 第二撬锥7的间距与保护膜上排气孔的间距一致。
撬棒9为一个不规则的圆柱体结构。
第一撬锥6与第二撬锥7的规格大小一致。
第一横杆3与第二横杆4的横截面积相同。
撬棒9与滑轨槽8之间的角度为90度。
第一陶瓷支撑环1与第二陶瓷支撑环2内部中空。
需要说明的是，该掩模保护膜拆除工具在工作时，两陶瓷环套在第一横 杆3与第二横杆4的一端，第一横杆3的中心有个内螺纹孔；
第二横杆4的外壁有滑轨槽8，且中间有孔，可以把第一横杆3套住，其 右端有个通孔，螺杆5可以通过通孔螺入第一横杆3的内螺纹孔内，从而把 第一横杆3与第二横杆4连接在一起；
第一撬锥6固定在第一陶瓷支撑环1上；第二撬锥7固定在第一陶瓷支 撑环2上；
撬棒9前端有个滑块，滑块在第二横杆4的外壁有滑轨槽8内左右移动， 使两撬锥的间距与保护膜上排气孔的间距一样，从而可以同时进行5、6、7、 9寸掩模保护膜的拆除；
该工具结构紧凑，使用方便，只需调整两撬锥的间距就可以拆除不同尺 寸掩模保护膜，无需更换不同尺寸的拆膜工具，方便、快捷，从成本上，可 降低成本。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来 将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示 这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包 括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包 括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括 没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备 所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术 人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这 些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权 利要求及其等同物限定。
