图案形成材料及固化膜、及固化图案的制造方法
技术领域
本发明涉及图案形成材料及固化膜、及固化图案的制造方法。
背景技术
用于印刷电路板用的阻焊层的树脂材料等图案形成材料要求在少的曝光量下会进行固化、碱显影性优异等。
作为图案形成材料，例如已知有使通过使甲阶酚醛清漆型环氧树脂、丙烯酸和苯二甲酸酐反应而得的中间体进一步与四氢苯二甲酸酐反应而得到的含酸基树脂(含酸基环氧丙烯酸酯树脂)(例如，参照专利文献1。)，但感光度及碱显影性不充分，无法满足当下越发提高的要求性能。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平8-259663号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明的目的在于提供感光度及碱显影性优异的图案形成材料及使用该图案形成材料形成的固化膜、以及使用该图案形成材料的固化图案的制造方法。
用于解决问题的方案
本发明一方面提供一种图案形成材料，其含有：具有聚合性双键的含酸基树脂、和锂部分固定型蒙皂石。
上述图案形成材料组合有具有聚合性双键的含酸基树脂、和锂部分固定型蒙皂石，因此感光度及碱显影性优异。
含酸基树脂可包含(甲基)丙烯酰基。
酸基可以为选自由羧基、磺酸基及磷酸基组成的组中的至少一种。
含酸基树脂的重均分子量可以为1000～20000。
锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量可以为1～70meq/100g。
锂部分固定型蒙皂石的含量相对于图案形成材料中的不挥发成分总量可以为3～70质量％。
本发明一方面提供一种固化膜，其包含上述图案形成材料的固化物。
固化膜可以形成为图案状。即，固化膜可以为固化图案。
固化膜可以为抗蚀膜。
本发明一方面提供一种固化图案的制造方法，其具备使由上述图案形成材料形成的膜的一部分固化的工序、和将膜的未固化部分去除而得到固化图案的工序。
通过上述制造方法，可以制造高分辨率的固化图案。
使膜的一部分固化的工序可包含对膜以图案状照射活性能量射线的工序。
发明的效果
通过本发明，可以提供感光度及碱显影性优异的图案形成材料及使用该图案形成材料而形成的固化膜，以及使用该图案形成材料的固化图案的制造方法。
具体实施方式
以下，对本发明的优选实施方式进行详细说明。但本发明并不限定于以下的实施方式。
<图案形成材料>
实施方式的图案形成材料是为了形成固化图案而使用的材料(固化性树脂组合物)。图案形成材料含有：具有聚合性双键的含酸基树脂(以下，也简称作“含酸基树脂”。)、和锂部分固定型蒙皂石。
实施方式的图案形成材料的感光度优异，因此通过该图案形成材料，可以制造高分辨率的固化图案。另外，实施方式的图案形成材料的碱显影性也优异，因此通过实施方式的图案形成材料，利用碱显影形成固化图案时，可以容易地制造高分辨率的固化图案。
另外，基于锂部分固定型蒙皂石对含酸基树脂表现高分散性等理由，通过实施方式的图案形成材料，易于得到水蒸气阻隔性、氧气阻隔性(例如高湿度下的氧气阻隔性)等阻气性优异的固化膜(例如固化图案)。即，通过实施方式的图案形成材料，易于以高分辨率制造具有优异的阻气性的固化图案。
另外，通过实施方式的图案形成材料，易于得到平均线膨胀率小的固化膜(例如固化图案)。因此，易于降低具备由图案形成材料形成的固化膜(例如固化图案)的基材的翘曲的发生。使用以往的图案形成材料时，容易使具备固化图案的基材发生翘曲，难以兼顾翘曲的降低与分辨率的提高，但通过实施方式的图案形成材料，易于兼顾翘曲的降低和分辨率的提高。
另外，使用实施方式的图案形成材料在基材上形成的固化膜(例如固化图案)有对基材具有高密合性的倾向。对于以往的图案形成材料，从翘曲的降低的观点来看使填料含量增加时，有固化膜(例如固化图案)对基材的密合性降低的倾向，但通过实施方式的图案形成材料，易于兼顾对基材的高密合性和翘曲的降低。
[锂部分固定型蒙皂石]
蒙皂石(smectite)是具有层结构的页硅酸盐矿物(层状粘土矿物)的一种。作为蒙皂石的具体结构，已知有蒙脱石(montmorillonite)、贝得石、皂石、水辉石、硅镁石、锌蒙脱石等结构。这些之中，作为粘土材料的结构，优选选自由蒙脱石及硅镁石组成的组中的至少一种结构。这些结构在八面体片的金属元素的一部分上具有与低化合价金属元素的同型置换、缺陷等。因此，八面体片带负电。其结果，这些结构在八面体片上具有空位点，具有这些结构的蒙皂石如后述那样在锂离子移动后可以稳定地存在。
将具有的阳离子为锂离子的蒙皂石称作锂型蒙皂石(但在本说明书中，不包括后述的锂部分固定型蒙皂石。)。作为将蒙皂石具有的阳离子转化为锂离子的方法，可举出例如在天然的钠型蒙皂石的分散液(分散浆料)中添加氢氧化锂、氯化锂等锂盐进行阳离子交换的方法。通过调节向分散液中添加的锂的量，可以适当地调节得到的锂型蒙皂石的浸出阳离子量中锂离子所占的量。另外，锂型蒙皂石也可以通过使用了将阳离子交换树脂离子交换为锂离子的树脂的柱法、或分批法得到。
实施方式中，锂部分固定型蒙皂石是指锂型蒙皂石中的锂离子的一部分被固定在八面体片的空位点上的蒙皂石。锂部分固定型蒙皂石例如通过利用锂型蒙皂石的加热处理将层间的锂离子固定在八面体片的空位点来得到。通过锂离子被固定化，从而使得蒙皂石耐水化。
将锂部分固定的加热处理的温度条件只要可以将锂离子固定化就没有特别限制。如后所述，阳离子交换容量(CEC：Cation%20Exchange%20Capacity)小时，配混有锂部分固定型蒙皂石的图案形成材料(固化性树脂组合物)的水蒸气阻隔性及氧气阻隔性进一步提高。因此，从高效地对锂离子进行固定化，使阳离子交换容量大幅降低的观点来看，优选以150℃以上进行加热。上述加热处理的温度更优选为150～600℃、进一步优选为180～600℃、特别优选为200～500℃、最优选为250～500℃。通过以上述温度进行加热，可以更高效地使阳离子交换容量降低，同时可以抑制蒙皂石中的羟基的脱水反应等。上述加热处理优选用开放系的电炉实施。此时，加热时的相对湿度为5％以下，压力为常压。上述加热处理的时间只要可以将锂部分固定就没有特别限制，但从生产的效率性的观点来看，优选设为0.5～48小时，更优选设为1～24小时。
对于是否为锂部分固定型蒙皂石，可以通过X射线光电子能谱(XPS：X-rayPhotoelectron%20Spectroscopy)分析来判断。具体而言，确认通过XPS分析测定的XPS光谱中的源自Li离子的结合能的峰位置。例如，蒙皂石为蒙脱石时，通过加热处理等将锂型蒙皂石制成锂部分固定型蒙皂石，由此XPS光谱中的源自Li离子的结合能的峰位置从57.0ev偏移至55.4ev。因此，蒙皂石为蒙脱石时，通过是否具有55.4ev的结合能峰，可以判断是否为部分固定型。
从水蒸气阻隔性及氧气阻隔性(例如高湿度下的氧气阻隔性)更加优异的观点来看，锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量优选为70meq/100g以下，更优选为60meq/100g以下。从水蒸气阻隔性及氧气阻隔性(例如高湿度下的氧气阻隔性)更加优异的观点来看，锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量为1meq/100g以上，更优选为5meq/100g以上，进一步优选为10meq/100g以上。从这些观点来看，锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量为1～70meq/100g，更优选为5～70meq/100g，进一步优选为10～60meq/100g。例如，蒙皂石为蒙脱石时，通常离子交换容量为80～150meq/100g左右，但通过进行部分固定化处理，可以使其为5～70meq/100g。锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量可以为不足60meq/100g，也可以为50meq/100g以下。例如，锂部分固定型蒙皂石的阳离子交换容量可以为1meq/100g以上且不足60meq/100g，可以为5meq/100g以上且不足60meq/100g，也可以为10meq/100g以上且不足60meq/100g。
蒙皂石的阳离子交换容量可以通过依据Schollenberger法(粘土手册第三版、日本粘土学会编、2009年5月、p.453-454)的方法测定。更具体而言，可以用日本膨润土工业会标准试验方法JBAS-106-77记载的方法测定。
对于蒙皂石的浸出阳离子量，可以如下来算出：对0.5g蒙皂石使用100mL的1M乙酸铵水溶液，用4小时以上，使蒙皂石的层间阳离子浸出，并利用ICP发光分析、原子吸光分析等测定得到的溶液中的各种阳离子的浓度，算出蒙皂石的浸出阳离子量。
锂部分固定型蒙皂石的含量优选相对于图案形成材料中的不挥发成分总量为3质量％以上。锂部分固定型蒙皂石的含量相对于不挥发成分总量为3质量％以上时，水蒸气阻隔性及氧气阻隔性(例如高湿度下的氧气阻隔性)更为优异。从相同的观点来看，锂部分固定型蒙皂石的含量相对于图案形成材料中的不挥发成分总量可以为5质量％以上、7质量％以上、9质量％以上、10质量％以上、15质量％以上、18质量％以上、20质量％以上、25质量％以上或30质量％以上。锂部分固定型蒙皂石的含量优选相对于图案形成材料中的不挥发成分总量为70质量％以下。锂部分固定型蒙皂石的含量为70质量％以下时，图案形成材料的成形性(例如涂布性)更为优异，且对基材的密合性提高。另外，在高湿度下可以得到更高的氧气阻隔性。从相同的观点来看，锂部分固定型蒙皂石的含量相对于图案形成材料中的不挥发成分总量可以为50质量％以下、45质量％以下、40质量％以下、35质量％以下、30质量％以下。上述的上限值及下限值可以任意组合。即，锂部分固定型蒙皂石的含量例如相对于图案形成材料中的不挥发成分总量可以为3～70质量％、3～50质量％、3～35质量％、5～35质量％、5～30质量％、7～30质量％、9～30质量％或10～30质量％。本说明书中的相同的记载中，单独记载的上限值及下限值也可任意组合。需要说明的是，不挥发成分是指从图案形成材料的总质量中将稀释溶剂质量以及含酸基树脂、改性剂及各种添加剂中包含的挥发成分质量去除后的质量。
[含酸基树脂]
含酸基树脂为重均分子量为1000以上的化合物，其分子结构中具有聚合性双键。聚合性双键换言之也可以称作烯属不饱和键或聚合性不饱和双键。
(聚合性双键)
聚合性双键可以包含在含酸基树脂所含的基团中。即，含酸基树脂可以含有具有聚合性双键的基团。作为具有聚合性双键的基团，可举出乙烯基、烯丙基、(甲基)丙烯酰基等。具有聚合性双键的基团也可以为具有酸基的基团。即，含酸基树脂可以含有具有酸基及聚合性双键的基团，也可以与酸基分开地含有具有聚合性双键的基团。需要说明的是，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基或甲基丙烯酰基，类似的表达也同样。
从使含酸基树脂的亲水度提高，使含酸基树脂与锂型部分固定型蒙皂石的亲和性进一步提高的观点来看，具有聚合性双键的基团优选为(甲基)丙烯酰基，更优选为下述式(1-1)或式(1-2)所示的基团。
式(1-1)～(1-2)中，R表示氢原子或甲基，*表示原子键。
含酸基树脂含有一个以上具有聚合性双键的基团即可，从使感光度提高的观点来看，优选含有2个以上、更优选含有3个以上具有聚合性双键的基团。含酸基树脂中的具有聚合性双键的基团的个数可以为30以下、或15以下。含酸基树脂中，优选(甲基)丙烯酰基的个数、更优选上述式(1-1)或式(1-2)所示的基团的个数在上述的范围内。
(酸基)
作为酸基，可举出例如羧基、磺酸基、磷酸基等。这些之中，从发挥优异的碱显影性的观点来看，优选羧基。
含酸基树脂的基本骨架并无特别限定。作为树脂的基本骨架，可举出例如(甲基)丙烯酸类树脂骨架、氨基甲酸酯树脂骨架、环氧树脂骨架、酚醛树脂骨架、聚酯树脂骨架。
实施方式的含酸基树脂的重均分子量为1000以上，从得到感光度优异的图案形成材料的观点来看，可以为2000以上。从得到碱显影性优异的图案形成材料的观点来看，实施方式的含酸基树脂的重均分子量为20000以下、可以为15000以下。从这些观点来看，含酸基树脂的重均分子量例如可以为1000～20000或2000～15000。本说明书中，重均分子量表示使用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的值，为聚苯乙烯换算分子量。使用凝胶渗透色谱法(GPC)测定的、聚苯乙烯换算的含酸基树脂的数均分子量可以为与上述相同的范围。
以下，对实施方式的更优选的含酸基树脂进行具体说明。
更优选的含酸基树脂为具有酸基及(甲基)丙烯酰基的树脂(以下，也称作“含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(A)”。)。含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(A)只要具有酸基及(甲基)丙烯酰基即可，其他的具体结构、分子量等并无特别限制，可以使用各种各样的树脂。以下，也将含有含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(A)作为含酸基树脂的图案形成材料(固化性树脂组合物)称作“含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物”。
作为前述含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(A)含有的酸基，可举出例如羧基、磺酸基、磷酸基等。从表现优异的碱显影性的方面来看，这些之中优选羧基。
作为前述含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(A)，可举出例如〔1〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)、〔2〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)、〔3〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)、〔4〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)、〔5〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸酯树脂(A-5)等。
对〔1〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)进行说明。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)，可举出例如以环氧树脂(a1-1)、不饱和一元羧酸(a1-2)、和多元羧酸酐(a1-3)作为必需反应原料而得到的环氧树脂等。
作为前述环氧树脂(a1-1)，只要树脂中具有多个环氧基，则其具体结构并无特别限定。
作为前述环氧树脂(a1-1)，可举出双酚型环氧树脂、氢化双酚型环氧树脂、亚苯基醚型环氧树脂、亚萘基醚型环氧树脂、联苯型环氧树脂、氢化联苯型环氧树脂、三苯基甲烷型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、双酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-苯酚共缩酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-甲酚共缩酚醛清漆型环氧树脂、苯酚芳烷基型环氧树脂、萘酚芳烷基型环氧树脂、二环戊二烯-苯酚加成反应型环氧树脂、联苯芳烷基型环氧树脂、芴型环氧树脂、呫吨型环氧树脂、二羟基苯型环氧树脂、三羟基苯型环氧树脂等。
前述不饱和一元羧酸(a1-2)是指一分子中具有(甲基)丙烯酰基和羧基的化合物，可举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸等。另外，也可使用前述不饱和一元羧酸(a1-2)的酯化物、酰卤化物、酸酐等。这些不饱和一元羧酸(a1-2)可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述不饱和一元羧酸(a1-2)的酯化物，可举出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯化合物；(甲基)丙烯酸羟基乙酯、(甲基)丙烯酸羟基丙酯、(甲基)丙烯酸羟基丁酯等含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物；(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙氨基乙酯等含氮(甲基)丙烯酸酯化合物；(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸吗啉酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸环己酯等其他(甲基)丙烯酸酯化合物等。
作为前述不饱和一元羧酸(a1-2)的酰卤化物，可举出例如(甲基)丙烯酰氯等。
作为前述不饱和一元羧酸(a1-2)的酸酐，可举出例如(甲基)丙烯酸酐等。
前述多元羧酸酐(a1-3)只要是在一分子中具有2个以上羧基的化合物的酸酐，就可以使用任意酸酐。作为前述多元羧酸酐，可举出例如草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、马来酸、富马酸、柠康酸、衣康酸、戊烯二酸、1,2,3,4-丁烷四羧酸、四氢苯二甲酸、六氢苯二甲酸、甲基六氢苯二甲酸、环己烷三羧酸、环己烷四羧酸、双环[2.2.1]庚烷-2,3-二羧酸、甲基双环[2.2.1]庚烷-2,3-二羧酸、4-(2,5-二氧四氢呋喃-3-基)-1,2,3,4-四氢萘-1,2-二羧酸、苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四甲酸、萘二羧酸、萘三羧酸、萘四羧酸、联苯二羧酸、联苯三羧酸、联苯四羧酸、二苯甲酮四羧酸等二羧酸化合物的酸酐等。
前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)的制造方法只要以前述环氧树脂(a1-1)、前述不饱和一元羧酸(a1-2)、及前述多元羧酸酐(a1-3)作为必需的反应原料，就没有特别限定，可以采用任意方法来制造。例如，可以通过使全部反应原料一次性反应的方法来制造，也可通过使反应原料依次反应的方法来制造。其中，从反应的控制容易的方面来看，优选先使环氧树脂(a1-1)与不饱和一元羧酸(a1-2)反应，然后与多元羧酸酐(a1-3)反应的方法。该反应例如可以利用以下方法进行：在酯化反应催化剂的存在下、以100～150℃的温度范围使环氧树脂(a1-1)与不饱和一元羧酸(a1-2)反应后，在反应体系中添加多元羧酸酐(a1-3)，在80～120℃的温度范围下进行反应的方法等。
对于前述环氧树脂(a1-1)与不饱和一元羧酸(a1-2)的反应比例，优选相对于环氧树脂(a1-1)中的环氧基1摩尔，不饱和一元羧酸(a1-2)为0.9～1.1摩尔的比例。另外，对于前述多元羧酸酐(a1-3)的反应比例，优选相对于环氧树脂(a1-1)中的环氧基1摩尔，前述多元羧酸酐(a1-3)为0.2～1.0摩尔的比例。
作为前述酯化反应催化剂，可举出例如三甲基膦、三丁基膦、三苯基膦等磷化合物，三乙胺、三丁胺、二甲基苄胺等胺化合物，2-甲基咪唑、2-十七烷基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、1-苄基-2-甲基咪唑、1-异丁基-2-甲基咪唑等咪唑化合物等。这些反应催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
前述反应催化剂的添加量优选相对于反应原料的总计100质量份为0.001～5质量份的范围。
前述环氧树脂(a1-1)、前述不饱和一元羧酸(a1-2)、及前述多元羧酸酐(a1-3)的反应根据需要也可在有机溶剂中进行。
作为前述有机溶剂，可举出例如甲乙酮、丙酮、二甲基甲酰胺、甲基异丁基酮等酮溶剂；四氢呋喃、二氧戊环等环状醚溶剂；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯溶剂；甲苯、二甲苯、溶剂石脑油等芳香族溶剂；环己烷、甲基环己烷等脂环族溶剂；卡必醇、溶纤剂、甲醇、异丙醇、丁醇、丙二醇单甲基醚等醇溶剂；亚烷基二醇单烷基醚、二亚烷基二醇单烷基醚、二亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯等二醇醚溶剂；甲氧基丙醇、环己酮、甲基溶纤剂、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等。这些有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。另外，对于前述有机溶剂的用量，从反应效率良好的方面来看，优选以相对于反应原料的总计质量为0.1～5倍量左右的范围使用。
从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)的酸值优选30～150mgKOH/g的范围，更优选40～120mgKOH/g的范围。需要说明的是，本说明书中，具有酸基及(甲基)丙烯酰基的环氧树脂(A-1)的酸值为用JIS K 0070(1992)的中和滴定法测定的值。
接着，对〔2〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)进行说明。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)，可举出例如以含酚羟基树脂(a2-1)、环状碳酸酯化合物(a2-2a)或环状醚化合物(a2-2b)、不饱和一元羧酸(a2-3a)和/或N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)、和多元羧酸酐(a2-4)作为必需的反应原料而得到的丙烯酰胺树脂等。
前述含酚羟基树脂(a2-1)是指分子内具有2个以上酚羟基的树脂，可举出例如以芳香族多羟基化合物、分子内具有至少1个酚羟基的化合物中的1种或2种以上作为反应原料的酚醛清漆型酚醛树脂、以前述具有至少1个酚羟基的化合物和下述结构式(x-1)～(x-5)中的任意者所示的化合物(x)作为必需的反应原料的反应产物等。
(式中h为0或1。R1分别独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳氧基、芳烷基中的任意者，i为0或1～4的整数。Z为乙烯基、卤代甲基、羟甲基、烷氧基甲基中的任意者。Y为碳原子数1～4的亚烷基、氧原子、硫原子、羰基中的任意者。j为1～4的整数。)
作为前述芳香族多羟基化合物，可举出例如二羟基苯、三羟基苯、四羟基苯、二羟基萘、三羟基萘、四羟基萘、二羟基蒽、三羟基蒽、四羟基蒽、联苯酚、四羟基联苯、双酚等，以及在这些的芳香核上具有1个或多个取代基的化合物等。另外，作为芳香核上的取代基，可举出例如甲基、乙基、乙烯基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基、庚基、辛基、壬基等脂肪族烃基；甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等烷氧基；氟原子、氯原子、溴原子等卤原子；苯基、萘基、蒽基、及在这些的芳香核上取代有前述脂肪族烃基、前述烷氧基、前述卤原子等的芳基；苯氧基、萘氧基、及在这些的芳香核上取代有前述脂肪族烃基、前述烷氧基、前述卤原子等的芳氧基；苯甲基、苯乙基、萘甲基、萘乙基、及在这些的芳香核上取代有前述脂肪族烃基、前述烷氧基、前述卤原子等的芳烷基等。这些芳香族多羟基化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。这些之中，从可以得到具有高绝缘可靠性的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂的方面来看，优选不含卤素的化合物。
作为前述酚醛清漆型酚醛树脂，可举出例如在酸性催化剂下，使1种或2种以上在分子内具有至少1个酚羟基的化合物与醛化合物反应而得到的酚醛清漆型酚醛树脂。
作为前述分子内具有至少1个酚羟基的化合物，只要是在芳香核上具有至少1个羟基的芳香族化合物则可以为任意化合物，可举出例如苯酚、二羟基苯酚、三羟基苯酚或在苯酚的芳香核上具有1个或多个取代基的苯酚化合物、萘酚或在萘酚的芳香核上具有1个或多个取代基的萘酚化合物、蒽酚或在蒽酚的芳香核上具有1个或多个取代基的蒽酚化合物等。另外，作为芳香核上的取代基，可举出例如脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳氧基、芳烷基等，各自的具体例如前所述。这些具有至少1个酚羟基的化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述醛化合物，可举出例如甲醛；乙醛、丙醛、丁醛、异丁醛、戊醛、己醛等烷基醛；水杨醛、3-羟基苯甲醛、4-羟基苯甲醛、2-羟基-4-甲基苯甲醛、2,4-二羟基苯甲醛、3,4-二羟基苯甲醛等羟基苯甲醛；2-羟基-3-甲氧基苯甲醛、3-羟基-4-甲氧基苯甲醛、4-羟基-3-甲氧基苯甲醛、3-乙氧基-4-羟基苯甲醛、4-羟基-3,5-二甲氧基苯甲醛等具有羟基和烷氧基这两者的苯甲醛；甲氧基苯甲醛、乙氧基苯甲醛等烷氧基苯甲醛；1-羟基-2-萘醛、2-羟基-1-萘醛、6-羟基-2-萘醛等羟基萘醛；溴苯甲醛等卤化苯甲醛等。
作为前述酸性催化剂，可举出例如盐酸、硫酸、磷酸等无机酸，甲烷磺酸、对甲苯磺酸、草酸等有机酸，三氟化硼、无水氯化铝、氯化锌等路易斯酸等。这些酸性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为以前述具有至少1个酚羟基的化合物和前述化合物(x)作为必需的反应原料的反应产物，例如可以利用如下方法得到：在酸性催化剂下，于80～200℃左右的温度条件下，对前述分子内具有至少1个酚羟基的化合物和前述化合物(x)进行加热搅拌的方法。对于前述分子内具有至少1个酚羟基的化合物与前述化合物(x)的反应比例，优选相对于前述化合物(x)1摩尔，前述分子内具有至少1个酚羟基的化合物为0.5～5摩尔的比例。
作为前述酸性催化剂，与上述酸性催化剂相同。
作为前述环状碳酸酯化合物(a2-2a)，可举出例如碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、碳酸亚丁酯、碳酸亚戊酯等。这些环状碳酸酯化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。另外，这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选碳酸亚乙酯、或碳酸亚丙酯。
作为前述环状醚化合物(a2-2b)，可举出例如环氧乙烷、环氧丙烷、四氢呋喃等。这些环状醚化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。另外，这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选环氧乙烷、或环氧丙烷。
作为前述不饱和一元羧酸(a2-3a)，可以使用与上述的不饱和一元羧酸(a1-2)相同者。
作为前述N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)，可举出例如N-甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-甲氧基乙基(甲基)丙烯酰胺、N-乙氧基乙基(甲基)丙烯酰胺、N-丁氧基乙基(甲基)丙烯酰胺等。这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选N-甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺。另外，这些N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述多元羧酸酐(a2-4)，可以使用与上述的多元羧酸酐(a1-3)相同者。
对于使用前述N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)时与前述多元羧酸酐(a2-4)的当量比[(b2-3b)/(b2-4)]，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选0.2～7的范围，更优选0.25～6.7的范围。
前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)的制造方法并无特别限定，可以采用任意方法制造。例如，可以通过使全部反应原料一次性反应的方法来制造，也可以通过使反应原料依次反应的方法来制造。其中，从反应的控制容易的方面来看，优选如下方法：先使含酚羟基树脂(a2-1)与环状碳酸酯化合物(a2-2a)或环状醚化合物(a2-2b)反应，然后，使不饱和一元羧酸(a2-3a)和/或N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)反应后，使多元羧酸酐(a2-4)反应。该反应例如可以利用如下方法进行：在碱性催化剂的存在下，于100～200℃的温度范围使前述含酚羟基树脂(a2-1)与前述环状碳酸酯化合物(a2-2a)或前述环状醚化合物(a2-2b)反应后，在酸性催化剂的存在下，于80～140℃的温度范围使不饱和一元羧酸(a2-3a)和/或N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)反应，然后，添加多元羧酸酐(a2-4)，于80～140℃的温度范围使其反应的方法等。
作为前述碱性催化剂，可举出例如N-甲基吗啉、吡啶、1,8-二氮杂双环[5.4.0]十一碳-7-烯(DBU)、1,5-二氮杂双环[4.3.0]壬-5-烯(DBN)、1,4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷(DABCO)、三正丁胺或二甲基苄胺、丁胺、辛胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、咪唑、1-甲基咪唑、2,4-二甲基咪唑、1,4-二乙基咪唑、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-(N-苯基)氨基丙基三甲氧基硅烷、3-(2-氨基乙基)氨基丙基三甲氧基硅烷、3-(2-氨基乙基)氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、四甲基氢氧化铵等胺化合物类；三辛基甲基氯化铵、三辛基甲基乙酸铵等季铵盐类；三甲基膦、三丁基膦、三苯基膦等膦类；四甲基氯化鏻、四乙基氯化鏻、四丙基氯化鏻、四丁基氯化鏻、四丁基溴化鏻、三甲基(2-羟丙基)氯化鏻、三苯基氯化鏻、苄基氯化鏻等鏻盐类；二月桂酸二丁锡、三月桂酸辛基锡、二乙酸辛基锡、二乙酸二辛基锡、二新癸酸二辛基锡、二乙酸二丁基锡、辛酸锡、1,1,3,3-四丁基-1,3-十二烷酰基二锡氧烷(distannoxane)等有机锡化合物；辛酸锌、辛酸铋等有机金属化合物；辛酸锡等无机锡化合物；无机金属化合物等。这些碱性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述酸性催化剂，可举出例如盐酸、硫酸、磷酸等无机酸，甲烷磺酸、对甲苯磺酸、草酸等有机酸、三氟化硼、无水氯化铝、氯化锌等路易斯酸等。这些酸性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
前述含酚羟基树脂(a2-1)、前述环状碳酸酯化合物(a2-2a)或前述环状醚化合物(a2-2b)、前述不饱和一元羧酸(a2-3a)和/或前述N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)、及前述多元羧酸酐(a2-4)的反应根据需要也可以在有机溶剂中进行。
作为前述有机溶剂，可以使用与上述的有机溶剂同样的有机溶剂，前述有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
从反应效率良好的方面来看，前述有机溶剂的用量优选相对于反应原料的总计100质量份为10～500质量份的范围。
前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)的具体的结构并无特别限定，只要以含酚羟基树脂(a2-1)、环状碳酸酯化合物(a2-2a)或环状醚化合物(a2-2b)、不饱和一元羧酸(a2-3a)和/或N-烷氧基烷基(甲基)丙烯酰胺化合物(a2-3b)、和多元羧酸酐(a2-4)作为必需的反应原料，且在树脂中具有酸基及(甲基)丙烯酰基即可，作为得到的前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)，可举出例如具有将下述结构式(a-1)所示的结构部位(I)和下述结构式(a-2)所示的结构部位(II)作为重复结构单元的树脂结构者、将下述结构式(a-3)所示的结构部位(III)和下述结构式(a-4)所示的结构部位(IV)作为重复结构单元的树脂结构者。
[式中R2分别独立地为氢原子或碳原子数1～4的烃基。R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～4的烃基、碳原子数1～4的烷氧基、卤原子中的任意者，n分别独立地为1或2。R4分别独立地为亚甲基或下述结构式(x’-1)～(x’-5)中的任意者所示的结构部位。R5、R6分别独立地为氢原子或碳原子数1～20的烃基。另外，也可以R5与R6连接而形成饱和或不饱和的环。R7为碳原子数1～12的烃基。R8为氢原子或甲基。x为前述R3所示的结构部位、或者是借助带*标记的R4与结构式(a-1)所示的结构部位(I)或结构式(a-2)所示的结构部位(II)进行连接的键合点。]
[式中R2分别独立地为氢原子或碳原子数1～4的烃基。R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～4的烃基、碳原子数1～4的烷氧基、卤原子中的任意者，n分别独立地为1或2。R4分别独立地为亚甲基或下述结构式(x’-1)～(x’-5)中的任意者所示的结构部位。R5、R6分别独立地为氢原子或碳原子数1～20的烃基。另外，也可以R5与R6连接而形成饱和或不饱和的环。R7为碳原子数1～12的烃基。R8为氢原子或甲基。x为前述R3所示的结构部位、或者借助带*标记的R4与结构式(a-3)所示的结构部位(III)或结构式(a-4)所示的结构部位(IV)进行连接的键合点。]
[式中h为0或1。R9分别独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者，i为0或1～4的整数。R10为氢原子或甲基。W为下述结构式(w-1)或(w-2)。Y为碳原子数1～4的亚烷基、氧原子、硫原子、羰基中的任意者。j为1～4的整数。]
(式中的R11分别独立地为氢原子或碳原子数1～4的烃基。R12、R13分别独立地为氢原子或碳原子数1～20的烃基。另外，也可以R12与R13连接而形成饱和或不饱和的环。R14为碳原子数1～12的烃基。R15为氢原子或甲基。)
从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酰胺树脂(A-2)的酸值优选30～150mgKOH/g的范围，更优选40～120mgKOH/g的范围。需要说明的是，本说明书中，前述含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂的酸值为基于JIS K0070(1992)的中和滴定法测定的值。
接着，对〔3〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)进行说明。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)，可举出例如以具有酸基或酸酐基的酰胺酰亚胺树脂(a3-1)、和含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)作为必需的反应原料而得到的酰胺酰亚胺树脂。
作为前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)，可以仅具有酸基或酸酐基中的任一者，也可具有两者。从与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应性及反应控制的观点来看，优选具有酸酐基，更优选具有酸基和酸酐基两者。前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的酸值优选在中性条件下、即在不使酸酐基开环的条件下的测定值为60～350mgKOH/g的范围。另一方面，在水的存在下等在使酸酐基开环的条件下的测定值优选为61～360mgKOH/g的范围。
前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的具体结构及制造方法并无特别限定，可以广泛使用通常的酰胺酰亚胺树脂等。可举出例如以多异氰酸酯化合物、和多元羧酸或其酸酐作为反应原料而得到的酰胺酰亚胺树脂。
作为前述多异氰酸酯化合物，可举出例如丁烷二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、2,2,4-三甲基六亚甲基二异氰酸酯、2,4,4-三甲基六亚甲基二异氰酸酯等脂肪族二异氰酸酯化合物；降冰片烷二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、氢化苯二甲基二异氰酸酯、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯等脂环式二异氰酸酯化合物；甲苯二异氰酸酯、苯二甲基二异氰酸酯、四甲基苯二甲基二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、1,5-萘二异氰酸酯、4,4’-二异氰酸基-3,3’-二甲基联苯、邻联甲苯胺二异氰酸酯等芳香族二异氰酸酯化合物；具有下述结构式(i-1)所示的重复结构的多亚甲基多苯基多异氰酸酯；这些的异氰脲酸酯改性体、缩二脲改性体、脲基甲酸酯改性体等。另外，这些多异氰酸酯化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
[式中，R21分别独立地为氢原子、碳原子数1～6的烃基中的任意者。R22分别独立地为碳原子数1～4的烷基、或借助带*标记的亚甲基与结构式(i-1)所示的结构部位连接的键合点中的任意者。l为0或1～3的整数，m为1以上的整数。]
另外，作为前述多异氰酸酯化合物，从可以得到具有高溶剂溶解性的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选脂环式二异氰酸酯化合物或其改性体、脂肪族二异氰酸酯化合物或其改性体，更优选脂环式二异氰酸酯或其异氰脲酸酯改性体、脂肪族二异氰酸酯或其异氰脲酸酯改性体。
另外，前述多异氰酸酯化合物的总质量中，脂环式二异氰酸酯化合物或其改性体与脂肪族二异氰酸酯化合物或其改性体的总计质量的比例优选为70质量％以上，优选为90质量％以上。
另外，组合使用脂环式二异氰酸酯化合物或其改性体与脂肪族二异氰酸酯化合物或其改性体时，两者的质量比优选为30/70～70/30的范围。
作为前述多元羧酸或其酸酐，只要是分子结构中具有多个羧基的化合物或其酸酐，则具体结构就没有特别限制，可以使用各种各样的化合物。需要说明的是，为了使前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酰胺基和酰亚胺基这两者，需要在体系中存在羧基及酸酐基这两者，本实施方式中，可以使用分子中具有羧基和酸酐基这两者的化合物，也可组合使用具有羧基的化合物和具有酸酐基的化合物。
作为前述多元羧酸或其酸酐，可举出例如脂肪族多元羧酸化合物或其酸酐、脂环式多元羧酸化合物或其酸酐、芳香族多元羧酸化合物或其酸酐等。
作为前述脂肪族多元羧酸化合物或其酸酐，脂肪族烃基为直链型及支链型均可，结构中可具有不饱和键。
作为前述脂肪族多元羧酸化合物或其酸酐，可举出例如草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、马来酸、富马酸、柠康酸、衣康酸、戊烯二酸、1,2,3,4-丁烷四羧酸、及这些的酸酐等。
关于前述脂环式多元羧酸化合物或其酸酐，本实施方式中，以羧基或酸酐基与脂环结构键合而成者作为脂环式多元羧酸化合物或其酸酐，其以外的结构部位中有无芳香环没有限制。作为前述脂环式多元羧酸化合物或其酸酐，可举出例如四氢苯二甲酸、六氢苯二甲酸、甲基六氢苯二甲酸、环己烷三羧酸、环己烷四羧酸、双环[2.2.1]庚烷-2,3-二羧酸、甲基双环[2.2.1]庚烷-2,3-二羧酸、4-(2,5-二氧四氢呋喃-3-基)-1,2,3,4-四氢萘-1,2-二羧酸、及这些的酸酐等。
作为前述芳香族多元羧酸化合物或其酸酐，可举出例如苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四甲酸、萘二羧酸、萘三羧酸、萘四羧酸、联苯二羧酸、联苯三羧酸、联苯四羧酸、二苯甲酮四羧酸等。
这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选前述脂环式多元羧酸化合物或其酸酐、或者前述芳香族多元羧酸化合物或其酸酐。另外，从可以高效地制造前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的方面来看，优选使用分子结构中具有羧基和酸酐基这两者的三羧酸酐，特别优选使用环己烷三羧酸酐或偏苯三酸酐。进而，相对于前述多元羧酸或其酸酐的总质量，脂环式三羧酸酐与芳香族三羧酸酐的总量的比例优选为70质量％以上，更优选为90质量％以上。
前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)以前述多异氰酸酯化合物、和前述多元羧酸或其酸酐作为反应原料时，根据期望的树脂性能等，也可组合使用这些以外的反应原料。此时，从可以更加充分地发挥本发明所发挥的效果的方面来看，相对于酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的反应原料总质量，前述多异氰酸酯化合物和前述多元羧酸或其酸酐的总计质量的比例优选为90质量％以上，更优选为95质量％以上。
前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)以多异氰酸酯化合物和多元羧酸或其酸酐作为反应原料时，并无特别限定，可以采用任意方法制造。可举出例如可以用与通常的酰胺酰亚胺树脂同样的方法来制造。具体而言可列举出如下的方法：相对于多异氰酸酯化合物具有的异氰酸酯基1摩尔，使用0.5～2.0摩尔的多元羧酸或其酸酐，在120～180℃左右的温度条件下进行搅拌混合使其反应的方法。
前述多异氰酸酯化合物与多元羧酸或其酸酐的反应根据需要也可以在碱性催化剂的存在下进行。另外，该反应根据需要也可以在有机溶剂中进行。
作为前述碱性催化剂，可以使用与上述的碱性催化剂同样的碱性催化剂，前述碱性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述有机溶剂，可以使用与上述的有机溶剂同样的有机溶剂，前述有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
从反应效率良好的方面来看，前述有机溶剂的用量优选相对于反应原料的总计100质量份为10～500质量份的范围。
作为前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)，只要是在分子结构中具有羟基和(甲基)丙烯酰基的化合物，则其他具体结构并无特别限定，可以使用各种各样的化合物。可举出例如(甲基)丙烯酸羟基乙酯、(甲基)丙烯酸羟基丙酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等羟基(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述各种羟基(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等(聚)氧亚烷基链的(聚)氧亚烷基改性体；在前述各种羟基(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的内酯改性体等。这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选分子量为1000以下。另外，前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)为前述氧亚烷基改性体或内酯改性体时，重均分子量优选为1000以下。这些含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
另外，作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)，根据需要，除了前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)和含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)以外，也可组合使用含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)作为反应原料。另外，作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)，根据需要，除了前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)和含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)以外，也可组合使用含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)及多元羧酸酐(a3-4)作为反应原料。
前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)只要在分子结构中具有(甲基)丙烯酰基和环氧基，则其他具体结构就没有特别限定，可以使用各种各样的化合物。可举出例如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯缩水甘油醚、环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯等含缩水甘油基的(甲基)丙烯酸酯单体；二羟基苯二缩水甘油醚、二羟基萘二缩水甘油醚、联苯酚二缩水甘油醚、双酚二缩水甘油醚等二缩水甘油醚化合物的单(甲基)丙烯酸酯化物等。这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，优选含缩水甘油基的(甲基)丙烯酸酯单体。另外，其分子量优选为500以下。进而，前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)的总质量中前述含缩水甘油基的(甲基)丙烯酸酯单体的比例优选为70质量％以上，更优选为90质量％以上。
作为前述多元羧酸酐(a3-4)，可以使用作为上述的多元羧酸酐(a1-3)例示的物质，前述多元羧酸(b3-4)可以单独使用，也可组合使用两种以上。
对于前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)而言，根据期望的树脂性能等，除了前述具有酸基或酸酐基的酰胺酰亚胺树脂(a3-1)、前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)、含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)及多元羧酸酐(a3-4)以外，也可组合使用其他反应原料。此时，含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂(B-3)的反应原料总质量中前述(b3-1)～(b3-4)成分的总计质量的比例优选为80质量％以上，更优选为90质量％以上。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)的制造方法，并无特别限定，可以采用任意方法制造。例如，可以通过使包含前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)及前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应原料全部一次性反应的方法来制造，也可以通过使反应原料依次反应的方法来制造。
前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应主要是使前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)中的酸基和/或酸酐基与含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)中的羟基反应。前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)与酸酐基的反应性特别优异，因此如前所述，前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)优选具有酸酐基。需要说明的是，对于前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)中的酸酐基的含量，可以根据前述两种酸值的测定值的差算出，即，可以根据在使酸酐基开环的条件下的酸值与在不使酸酐基开环的条件下的酸值的差算出。
对于前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应比例而言，在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸基及酸酐基的情况下、及在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸酐基的情况下，优选相对于前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有的酸酐基1摩尔，前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)具有的羟基的摩尔数为0.9～1.1的比例。另外，在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸基的情况下，前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应比例优选的是，相对于前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有的酸基1摩尔，前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)具有的羟基的摩尔数为0.01～1.0的比例。
前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应根据需要也可使用碱性催化剂或酸性催化剂。其中，在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸基及酸酐基的情况下、及在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸酐基的情况下，优选使用碱性催化剂，在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)具有酸基的情况下，优选使用酸性催化剂。
作为前述碱性催化剂，可以使用作为上述的碱性催化剂例示的物质，前述碱性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述酸性催化剂，可以使用作为上述的酸性催化剂例示的物质，前述酸性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
对于前述碱性催化剂或前述酸性催化剂的添加量，优选以相对于反应原料的总计质量100质量份为0.001～5质量份的范围使用。
另外，前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应可以在适当的催化剂的存在下、于80～140℃左右的温度条件下进行加热搅拌来进行。
该反应根据需要可以在有机溶剂中进行，作为前述有机溶剂，可以使用与上述的有机溶剂同样的有机溶剂，前述有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。需要说明的是，与前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的制造连续地进行时，也可以在前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)的制造所使用的有机溶剂中直接继续进行反应。
对于前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)而言，作为反应原料，除了前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)及前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)以外，还使用含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)时，可以通过使包含前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)、前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)、及前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)的反应原料全部一次性反应的方法来制造，也可以通过使反应原料依次反应的方法来制造。其中，从反应的控制容易的方面来看，优选用以下方法制造：使前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)反应而得到产物(以下，有时称作“产物(1)”。)，并使该产物与前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)反应。
前述产物(1)与前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)的反应主要是使前述产物(1)中的酸基与前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)反应。其反应比例优选为：相对于前述产物(1)具有的酸基1摩尔，前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)具有的环氧基的摩尔数为0.05～1.1的比例。该反应例如可以在适当的碱性催化剂的存在下、于90～140℃左右的温度条件下进行加热搅拌来进行。与前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)和前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)的反应连续地进行时，可以不追加碱性催化剂，也可适当追加。另外，该反应根据需要也可在有机溶剂中进行。需要说明的是，对于前述碱性催化剂及前述有机溶剂而言，可以使用与上述的碱性催化剂及有机溶剂同样的物质，这些可以单独使用，也可组合使用两种以上。
对于前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)而言，作为反应原料，除了前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)及前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)以外，还使用含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)及多元羧酸酐(a3-4)时，可以通过使包含前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)、前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)、前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)、及多元羧酸酐(a3-4)的反应原料全部一次性反应的方法来制造，也可以通过使反应原料依次反应的方法来制造。其中，从反应的控制容易的方面来看，优选用以下方法制造：使前述酰胺酰亚胺树脂(a3-1)与前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)反应而得到产物(1)，使该产物与前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)反应，使得到的产物(以下，有时称作“产物(2)”。)与前述多元羧酸酐(a3-4)反应。
前述产物(2)与前述多元羧酸酐(a3-4)的反应主要是使前述产物(2)中的羟基与前述多元酸酐反应。此时，对于前述产物(2)而言，前述产物(1)与前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)的反应比例优选相对于前述产物(1)具有的酸基1摩尔，前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)具有的环氧基的摩尔数为0.1～1.2的比例，进一步优选为0.2～1.1的比例。此处，在前述产物(2)中，例如存在由前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)中的环氧基的开环生成的羟基等。前述多元羧酸酐(a3-4)的反应比例优选以制造的具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)的酸值成为50～120mgKOH/g左右的方式进行调节。该反应例如可以在适当的碱性催化剂的存在下、于80～140℃左右的温度条件下进行加热搅拌来进行。与前述产物(1)和前述含(甲基)丙烯酰基环氧化合物(a3-3)的反应连续地进行时，可以不追加碱性催化剂，也可适当追加。另外，该反应根据需要可以在有机溶剂中进行。需要说明的是，前述碱性催化剂及前述有机溶剂可以使用与上述的碱性催化剂及有机溶剂同样的物质，这些可以单独使用，也可组合使用两种以上。
从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)的酸值优选30～150mgKOH/g的范围，更优选40～120mgKOH/g的范围。需要说明的是，本说明书中，具有酸基及(甲基)丙烯酰基的酰胺酰亚胺树脂(A-3)的酸值为基于JIS K 0070(1992)的中和滴定法测定的值。
接着，对〔4〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)进行说明。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)，可举出例如以具有羟基、羧基、异氰酸酯基、缩水甘油基等反应性官能团的(甲基)丙烯酸酯化合物(α)作为必需的成分进行聚合而得到丙烯酸类树脂中间体，使得到的丙烯酸类树脂中间体与具有可以与这些官能团反应的反应性官能团的(甲基)丙烯酸酯化合物(β)进一步反应，由此导入(甲基)丙烯酰基而得到的反应产物；使前述反应产物中的羟基与多元酸酐反应而得到者等。
对于前述丙烯酸类树脂中间体，除了前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)外，根据需要也可以使其他含聚合性不饱和基团的化合物共聚。前述其他含聚合性不饱和基团的化合物可举出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯等含脂环式结构(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、丙烯酸苯氧乙酯等含芳香环(甲基)丙烯酸酯；3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷等含甲硅烷基(甲基)丙烯酸酯；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯苯乙烯等苯乙烯衍生物等。这些可以单独使用，也可组合使用两种以上。
前述(甲基)丙烯酸酯化合物(β)只要可以与前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)具有的反应性官能团反应，就没有特别限定，从反应性的观点来看，优选以下的组合。即，将含羟基(甲基)丙烯酸酯用作前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)时，作为(甲基)丙烯酸酯化合物(β)，优选使用含异氰酸酯基(甲基)丙烯酸酯。将含羧基(甲基)丙烯酸酯用作前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)时，作为(甲基)丙烯酸酯化合物(β)，优选使用含缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯。将含异氰酸酯基(甲基)丙烯酸酯用作前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)时，作为(甲基)丙烯酸酯化合物(β)，优选使用含羟基(甲基)丙烯酸酯。将含缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯用作前述(甲基)丙烯酸酯化合物(α)时，作为(甲基)丙烯酸酯化合物(β)，优选使用含羧基(甲基)丙烯酸酯。前述(甲基)丙烯酸酯化合物(β)可以单独使用，也可组合使用两种以上。
前述多元酸酐可举出例如苯二甲酸酐、琥珀酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、马来酸酐、四氢苯二甲酸酐、甲基四氢苯二甲酸酐、甲基纳迪克酸酐、六氢苯二甲酸酐、甲基六氢苯二甲酸酐、辛烯基琥珀酸酐、四丙烯基琥珀酸酐等。这些多元酸酐可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)的制造方法，并无特别限定，采用任意方法制造均可。前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)的制造中，根据需要也可在有机溶剂中进行，另外，根据需要也可使用碱性催化剂。
作为前述有机溶剂，可以使用与上述的有机溶剂同样的有机溶剂，前述有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述碱性催化剂，可以使用与上述的碱性催化剂同样的碱性催化剂，前述碱性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂组合物的方面来看，前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)的酸值优选30～150mgKOH/g的范围，更优选40～120mgKOH/g的范围。需要说明的是，本说明书中，具有酸基及(甲基)丙烯酰基的丙烯酸类树脂(A-4)的酸值为用JIS K 0070(1992)的中和滴定法测定的值。
接着，对〔5〕具有酸基及(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸酯树脂(A-5)进行说明。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸酯树脂(A-5)，可举出例如与多异氰酸酯化合物、含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物、含羧基多元醇化合物、及根据需要的多元酸酐、除前述含羧基多元醇化合物以外的多元醇化合物反应得到的氨基甲酸酯树脂；与多异氰酸酯化合物、含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物、多元酸酐、及除含羧基多元醇化合物以外的多元醇化合物反应得到的氨基甲酸酯树脂；与环氧树脂、不饱和一元酸、多元酸酐及多异氰酸酯化合物反应得到的氨基甲酸酯树脂；与环氧树脂、不饱和一元酸、多元酸酐、多异氰酸酯化合物、及含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物反应得到的氨基甲酸酯树脂等。
作为前述多异氰酸酯化合物，可以使用与上述的多异氰酸酯化合物同样的多异氰酸酯化合物，前述多异氰酸酯化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物，可以使用与上述的含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物(a3-2)同样的含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物，前述含羟基(甲基)丙烯酸酯化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述含羧基多元醇化合物，可举出例如2,2-二羟甲基丙酸、2,2-二羟甲基丁酸、2,2-二羟甲基戊酸等。前述含羧基多元醇化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述多元酸酐，可以使用作为上述的多元酸酐例示的物质，前述多元酸酐可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为除前述含羧基多元醇化合物以外的多元醇化合物，可举出例如乙二醇、丙二醇、丁二醇、己二醇、丙三醇、三羟甲基丙烷、二(三羟甲基丙烷)、季戊四醇、二季戊四醇等脂肪族多元醇化合物；联苯酚、双酚等芳香族多元醇化合物；在前述各种多元醇化合物的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等(聚)氧亚烷基链的(聚)氧亚烷基改性体；在前述各种多元醇化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的内酯改性体等。除前述含羧基多元醇化合物以外的多元醇化合物可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述环氧树脂，可以使用作为上述的环氧树脂(a1-1)例示的物质，前述环氧树脂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述不饱和一元酸，可举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、β-苯乙烯基丙烯酸、β-糠基丙烯酸等。另外，也可以使用前述不饱和一元酸的酯化物、酰卤化物、酸酐等。这些不饱和一元酸可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述具有酸基及(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸酯树脂(A-5)的制造方法，并无特别限定，采用任意方法制造均可。前述具有酸基及聚合性不饱和键的氨基甲酸酯树脂的制造根据需要可以在有机溶剂中进行，另外，根据需要也可使用碱性催化剂。
作为前述有机溶剂，可以使用与上述的有机溶剂同样的有机溶剂，前述有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
作为前述碱性催化剂，可以使用与上述的碱性催化剂同样的碱性催化剂，前述碱性催化剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的图案形成材料的观点来看，含酸基树脂的含量相对于图案形成材料中的不挥发成分总量优选为10～90质量％、更优选为20～80质量％。即，相对于图案形成材料中的不挥发成分总量，含酸基树脂的含量可以为10质量％以上或20质量％以上，另外，可以为90质量％以或80质量％以下。
[其他成分]
实施方式的图案形成材料由于含酸基树脂在其分子结构中具有聚合性双键，因此可以通过例如添加聚合引发剂使其固化。作为聚合引发剂，可举出例如光聚合引发剂及热聚合引发剂。这些之中，从易于形成图案的观点来看，优选光聚合引发剂。
光聚合引发剂可举出例如1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-〔4-(2-羟基乙氧基)苯基〕-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、噻吨酮及噻吨酮衍生物、2,2’-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、二苯基(2,4,6-三甲氧基苯甲酰基)氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮等。
作为光聚合引发剂的市售品，可举出例如“Omnirad-1173”、“Omnirad-184”、“Omnirad-127”、“Omnirad-2959”、“Omnirad-369”、“Omnirad-379”、“Omnirad-907”、“Omnirad-4265”、“Omnirad-1000”、“Omnirad-651”、“Omnirad-TPO”、“Omnirad-819”、“Omnirad-2022”、“Omnirad-2100”、“Omnirad-754”、“Omnirad-784”、“Omnirad-500”、“Omnirad-81”(IGM公司制)、“Kayacure-DETX”、“Kayacure-MBP”、“Kayacure-DMBI”、“Kayacure-EPA”、“Kayacure-OA”(日本化药株式会社制)、“Vicure-10”、“Vicure-55”(Stouffer Chemical Cmopany制)、“Trigonal P1”(Akzo公司制)、“Sandoray 1000”(SANDOZ公司制)、“DEAP”(Upjohn公司制)、“Quantacure-PDO”、“Quantacure-ITX”、“Quantacure-EPD”(Ward Blenkinsop公司制)、“Runtecure-1104”(Runtec公司制)等。
光聚合引发剂的添加量(含量)例如相对于图案形成材料的聚合性化合物(例如含酸基树脂)优选为1～20质量份。
实施方式的图案形成材料也可含有除具有聚合性双键的含酸基树脂以外的其他聚合性化合物。作为其他聚合性化合物，可举出例如使双酚型环氧化合物、酚醛清漆型环氧化合物等环氧化合物与(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酐等反应而得到的具有(甲基)丙烯酰基的树脂；各种(甲基)丙烯酸酯单体等。
作为(甲基)丙烯酸酯单体，可举出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯等脂肪族单(甲基)丙烯酸酯化合物；(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、单(甲基)丙烯酸金刚烷基酯等脂环型单(甲基)丙烯酸酯化合物；(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸四氢糠基酯等杂环型单(甲基)丙烯酸酯化合物；(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯基苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧基酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基苄酯、(甲基)丙烯酸苄基苄酯、(甲基)丙烯酸苯基苯氧基乙酯等芳香族单(甲基)丙烯酸酯化合物等单(甲基)丙烯酸酯化合物：在前述各种单(甲基)丙烯酸酯单体的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等聚氧亚烷基链的(聚)氧亚烷基改性单(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述各种单(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的内酯改性单(甲基)丙烯酸酯化合物；乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等脂肪族二(甲基)丙烯酸酯化合物；1,4-环己烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸降冰片酯、降冰片基二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二环戊酯、三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯等脂环型二(甲基)丙烯酸酯化合物；联苯酚二(甲基)丙烯酸酯、双酚二(甲基)丙烯酸酯等芳香族二(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述各种二(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等(聚)氧亚烷基链的聚氧亚烷基改性二(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述各种二(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的内酯改性二(甲基)丙烯酸酯化合物；三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三(甲基)丙烯酸酯等脂肪族三(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述脂肪族三(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等(聚)氧亚烷基链的(聚)氧亚烷基改性三(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述脂肪族三(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的内酯改性三(甲基)丙烯酸酯化合物；季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二(三羟甲基丙烷)四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等4官能以上的脂肪族聚(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述脂肪族聚(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)氧亚乙基链、(聚)氧亚丙基链、(聚)氧四亚甲基链等(聚)氧亚烷基链的4官能以上的(聚)氧亚烷基改性聚(甲基)丙烯酸酯化合物；在前述脂肪族聚(甲基)丙烯酸酯化合物的分子结构中导入有(聚)内酯结构的4官能以上的内酯改性聚(甲基)丙烯酸酯化合物等。前述各种(甲基)丙烯酸酯单体可以单独使用，也可组合使用两种以上。
实施方式的图案形成材料还可以含有改性剂。作为改性剂，可举出偶联剂、硅烷化合物、酸酐等。图案形成材料含有这些改性剂时，锂部分固定型蒙皂石的润湿性提高，该蒙皂石在图案形成材料中的分散性提高。改性剂可以单独使用一种，也可组合使用多种。
作为偶联剂，可举出例如硅烷偶联剂、钛偶联剂、锆偶联剂、铝偶联剂等。
作为硅烷偶联剂，可举出例如含环氧基硅烷偶联剂、含氨基硅烷偶联剂、含(甲基)丙烯酰基硅烷偶联剂、含异氰酸酯基硅烷偶联剂等。作为含环氧基硅烷偶联剂，可举出例如3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷等。作为含氨基硅烷偶联剂，可举出例如3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基亚丁基)丙基胺、N-苯基-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷等。作为含(甲基)丙烯酰基硅烷偶联剂，可举出例如3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷等。作为含异氰酸酯基硅烷偶联剂，可举出例如3-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷等。
作为钛偶联剂，可举出例如异丙基三异硬脂酰基钛酸酯、异丙基三辛酰基钛酸酯、异丙基二甲基丙烯酰基异硬脂酰基钛酸酯、异丙基异硬脂酰基二丙烯酰基钛酸酯、异丙基三(二辛基焦磷酸酰氧基)钛酸酯、四辛基双(双十三烷基亚磷酸酰氧基)钛酸酯、四(2,2-二烯丙氧基甲基-1-丁基)双(双十三烷基)亚磷酸酰氧基钛酸酯、氧乙酸双(二辛基焦磷酸酰氧基)钛酸酯、双(二辛基焦磷酸酰氧基)乙撑钛酸酯等。
作为锆偶联剂，可举出例如乙酸锆、碳酸锆铵、氟化锆等。
作为铝偶联剂，可举出乙酰烷氧基二异丙醇铝、二异丙氧基单乙基乙酰乙酸铝、三乙基乙酰乙酸铝、三乙酰丙酮铝等。
作为硅烷化合物，可举出烷氧基硅烷、硅氮烷、硅氧烷等。作为烷氧基硅烷，可举出甲基三甲氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、己基三甲氧基硅烷、己基三乙氧基硅烷、辛基三乙氧基硅烷、癸基三甲氧基硅烷、1,6-双(三甲氧基甲硅烷基)己烷、三氟丙基三甲氧基硅烷等。作为硅氮烷，可举出六甲基二硅氮烷等。作为硅氧烷，可举出含水解基团硅氧烷等。
作为酸酐，可举出琥珀酸酐、马来酸酐、苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、四氢苯二甲酸酐、甲基四氢苯二甲酸酐、甲基纳迪克酸酐、六氢苯二甲酸酐、甲基六氢苯二甲酸酐烯基琥珀酸酐等。
作为改性剂的配混量(含量)，相对于锂部分固定型蒙皂石总量，优选为0.1～50质量％。若改性剂的配混量为0.1质量％以上，则锂部分固定型蒙皂石在图案形成材料中的分散性更加良好。另外，若改性剂的配混量为50质量％以下，则可以进一步抑制改性剂对图案形成材料的机械物性的影响。改性剂的配混量优选0.3～30质量％、更优选0.5～15质量％。
出于涂布粘度调节等目的，实施方式的图案形成材料也可含有有机溶剂。有机溶剂的种类及添加量(含量)可以根据期望的性能来适当选择及调节。
作为有机溶剂，可举出甲乙酮、丙酮、二甲基甲酰胺、甲基异丁基酮等酮溶剂；四氢呋喃、二氧戊环等环状醚溶剂；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯溶剂；甲苯、二甲苯、溶剂石脑油等芳香族溶剂；环己烷、甲基环己烷等脂环族溶剂；卡必醇、溶纤剂、甲醇、异丙醇、丁醇、丙二醇单甲基醚等醇溶剂；亚烷基二醇单烷基醚、二亚烷基二醇单烷基醚、二亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯等二醇醚溶剂；甲氧基丙醇、环己酮、甲基溶纤剂、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等。这些有机溶剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。
实施方式的图案形成材料中，根据需要也可含有固化剂、固化促进剂、锂部分固定型蒙皂石以外的无机微粒、聚合物微粒、颜料、消泡剂、粘度调节剂、流平剂、阻燃剂、保存稳定化剂等各种添加剂。
作为前述固化剂，只要具有可以与前述含酸基(甲基)丙烯酸酯树脂中的酸基(例如羧基)反应的官能团，就没有特别限制，可举出例如环氧树脂。作为前述环氧树脂，可举出例如双酚型环氧树脂、亚苯基醚型环氧树脂、亚萘基醚型环氧树脂、联苯型环氧树脂、三苯基甲烷型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、双酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-苯酚共缩酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-甲酚共缩酚醛清漆型环氧树脂、苯酚芳烷基型环氧树脂、萘酚芳烷基型环氧树脂、二环戊二烯-苯酚加成反应型环氧树脂、联苯芳烷基型环氧树脂、芴型环氧树脂、呫吨型环氧树脂、二羟基苯型环氧树脂、三羟基苯型环氧树脂等。这些环氧树脂可以单独使用，也可组合使用两种以上。另外，这些之中，从可以得到能够形成感光度、碱显影性及密合性优异、具有低线膨胀率、低透氧率及低水蒸气透过率的固化物的固化性树脂组合物(图案形成材料)的方面来看，优选苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、双酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-苯酚共缩酚醛清漆型环氧树脂、萘酚-甲酚共缩酚醛清漆型环氧树脂等酚醛清漆型环氧树脂，特别优选软化点为20～120℃的范围的环氧树脂。
作为前述固化促进剂，其促进前述固化剂的固化反应，将环氧树脂用作前述固化剂时，可举出磷系化合物、胺系化合物、咪唑、有机酸金属盐、路易斯酸、胺配盐等。这些固化促进剂可以单独使用，也可组合使用两种以上。另外，对于前述固化促进剂的添加量而言，例如优选以相对于前述固化剂100质量份为1～10质量份的范围使用。
<固化膜及固化图案>
通过使由上述实施方式的图案形成材料形成的膜固化，可以得到固化膜(包含图案形成材料的固化物的固化膜)。另外，通过使由实施方式的图案形成材料形成的膜的一部分固化后，将膜的未固化部分(例如图案形成材料的干燥物)去除，可以得到固化图案。
固化图案的制造方法例如具备使由图案形成材料形成的膜的一部分固化的工序(固化工序)、和在固化工序后将膜的未固化部分去除而得到固化图案的工序。固化图案的制造方法还可以具备在固化工序之前将图案形成材料涂布在基材上而得到膜(由图案形成材料形成的膜)的工序(涂布工序)。即，由图案形成材料形成的膜也可以在基材上形成。
涂布工序中在基材上涂布图案形成材料的方法并无特别限定。另外，图案形成材料含有有机溶剂时，涂布工序也可包括在涂布图案形成材料而得到涂膜后使得到的涂膜干燥而将有机溶剂去除的工序。即，由图案形成材料形成的膜也可以是包含图案形成材料的干燥物的膜。
固化工序中，使膜的未固化部分(例如，由图案形成材料的干燥物形成的部分)和固化部分(由图案形成材料的固化物形成的部分)选择性地生成，由此可以得到固化图案。
固化工序中的固化方法可根据使用的聚合引发剂进行适当变更。例如，使用光聚合引发剂时，固化工序可包括对膜照射活性能量射线的工序，使用热聚合引发剂时，固化工序可包括对膜施加热的工序。固化工序优选包括用活性能量射线使之固化的工序。
用活性能量射线使之固化的工序可以是对膜以图案状照射活性能量射线的工序。具体而言，例如，可以是隔着光掩模对膜照射活性能量射线的工序，也可包括在不使用光掩模的状态下对膜选择性地照射活性能量射线的工序(例如，使用激光光源等点光源对膜以图案状照射活性能量射线的工序)。
作为活性能量射线，可举出例如紫外线、电子束、α射线、β射线、γ射线等电离辐射线。另外，将紫外线用作活性能量射线时，为了更高效地进行基于紫外线的固化反应，可以在氮气等非活性气体气氛下进行照射，也可在空气气氛下进行照射。
作为紫外线产生源，从实用性及经济性的观点来看，可以使用紫外线灯。作为紫外线灯，具体而言可举出低压汞灯、高压汞灯、超高压汞灯、氙气灯、镓灯、金属卤化物灯、太阳光、LED等。
前述活性能量射线的累积光量并无特别限制，优选为10～5000mJ/cm2，更优选为50～1000mJ/cm2。累积光量为上述范围时，可以防止或抑制未固化部分的产生，因此优选。
也可将激光用作活性能量射线。作为其曝光光源，可举出碳弧灯、汞灯、氙气灯、金属卤化物灯、荧光灯、钨丝灯、卤素灯；HeNe激光、氩离子激光、YAG激光、HeCd激光、半导体激光、红宝石激光等激光光源等。这些之中，优选产生波长范围350～430nm的蓝紫色区域的激光的光源，进一步优选产生其中心波长为约405nm的激光的光源。具体而言，可举出振荡波长405nm的氮化铟镓半导体激光等。另外，基于激光光源的扫描曝光方法并无特别限定，可举出例如平面扫描曝光方式、外表面滚筒扫描曝光方式、内表面滚筒扫描曝光方式等，作为扫描曝光条件，优选将激光的输出光强度设为1～100mW，进一步优选设为3～70mW，优选将振荡波长设为390～430nm，进一步优选设为400～420nm，优选将束斑直径设为2～30μm，进一步优选设为4～20μm，优选将扫描速度设为50～500m/秒，进一步优选设为100～400m/秒，优选将扫描密度设为2000dpi以上，进一步优选设为4000dpi以上，进行扫描曝光。通过激光，可以在不使用光掩模的状态下在固化膜上形成图案。
隔着光掩模照射活性能量射线的工序中，优选使用紫外线，在选择性地照射活性能量射线的工序中，优选使用激光。从生产率的观点来看，固化工序优选包括隔着光掩模照射活性能量射线的工序。
对于将膜的未固化部分去除而得到固化图案的工序而言，可举出例如使用碱水溶液、有机溶剂等将未固化部分显影去除的工序。
作为碱水溶液，可以使用碳酸钠、碳酸钾等的水溶液。作为这些碱水溶液，通常使用0.5～3质量％的碳酸钠水溶液。
作为有机溶剂，可举出用于图案形成材料的粘度调节的前述有机溶剂。
实施方式的固化图案由于感光度及碱显影性优异而可以公开用作抗蚀膜。作为抗蚀膜，可举出阻焊层等。
将实施方式的图案形成材料制成抗蚀膜时，例如作为具体的方法之一，可举出下述方法：将图案形成材料涂布在基材上，在60～100℃左右的温度范围下使有机溶剂挥发干燥后，通过形成有期望图案的光掩模，利用活性能量射线使其曝光，用碱水溶液将未曝光部显影，进一步以140～180℃左右的温度范围使其加热固化的方法等，抗蚀膜的形成方法并不限定于上述方法。
另外，实施方式的固化图案也可以适宜地用作层间绝缘材料、封装材料、底部填充材料、电路元件等的封装粘接层、集成电路元件与电路基板的粘接层等。另外，在以LCD及OELD为代表的薄型显示器用途中，可适宜地用于薄膜晶体管保护膜、液晶滤色器保护膜、滤色器用颜料抗蚀剂、黑色矩阵用抗蚀剂、间隔物等。
实施例
接着，利用实施例及比较例对本发明进行具体说明，但本发明并不限定于此。
(锂部分固定型蒙皂石的准备)
作为树脂组合物(图案形成材料)中包含的填料，使用锂部分固定型蒙皂石。对于锂部分固定型蒙皂石，使用KUNIMINE INDUSTRIES CO.,LTD.制的蒙脱石分散浆料(商品名：RCEC-W、阳离子交换容量39.0meq/100g)。该分散浆料中的锂部分固定型蒙皂石的含量(w/w％)为20w/w％。
(改性剂液的准备)
对于改性剂而言，使用作为硅烷偶联剂的3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名：KBM503、信越化学工业株式会社制)。相对于异丙醇12.0质量份，添加3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名：KBM503、信越化学工业株式会社制)0.24质量份、离子交换水0.06质量份、0.1％盐酸0.012质量份，在25℃下搅拌4小时，得到改性剂液。
(合成例1)
在具备温度计、搅拌器、及回流冷凝器的烧瓶中，加入丙二醇单甲基醚乙酸酯143质量份，使邻甲酚酚醛清漆型环氧化合物EPICLON N-680(DIC株式会社制、环氧当量：214、“EPICLON”为注册商标)428质量份溶解，添加作为抗氧化剂的二丁基羟基甲苯4质量份、作为热阻聚剂的对羟基苯甲醚0.4质量份后，添加丙烯酸144质量份、三苯基膦1.7质量份，边吹入空气，边在120℃下进行10小时酯化反应。之后，添加丙二醇单甲基醚乙酸酯201质量份、四氢苯二甲酸酐160质量份，在110℃下反应3小时，以固体成分量68质量％的树脂溶液的形式得到作为目标含酸基丙烯酸酯树脂(酸侧基型环氧丙烯酸酯)。此时的体系的酸值为56.4KOH-mg/g(固体成分计算83KOH-mg/g)，含酸基丙烯酸酯树脂的重均分子量为2900。
<树脂的重均分子量的测定方法>
用过滤器(材质：聚四氟乙烯、孔径：0.2μm)，对利用四氢呋喃(THF)将含酸基丙烯酸酯树脂稀释50倍而得到的稀释液进行过滤，由此制备测定样品。接着，将该测定样品供给于凝胶渗透色谱(GPC东曹株式会社制商品名“HLC-8220GPC”)，以样品流量1毫升/分钟、柱温度40℃的条件进行测定。将测定含酸基丙烯酸酯树脂的聚苯乙烯换算分子量而得到的值作为含酸基丙烯酸酯树脂的重均分子量。需要说明的是，上述GPC测定中，作为柱，使用HXL-X、G5000HXL、G3000HXL、G2000HXL、G2000HXL(均为东曹株式会社制)，将差示折光计用作检测器。
(实施例1)
对合成例1中得到的含酸基丙烯酸酯树脂100质量份(固体成分量：68质量份)，添加锂部分固定型蒙皂石分散浆料68质量份(固体成分量：13.6质量份)、乙腈433质量份、及上述改性剂液52质量份，搅拌保持8小时。使用PRIMIX Corporation制行星搅拌机，边将得到的分散液在50℃下加热边进行减压脱溶剂，得到固体成分量68质量％的填料树脂分散液。在其中配混作为固化剂的邻甲酚酚醛清漆型环氧化合物(DIC株式会社制“EPICLON N-680”)25.8质量份、作为光聚合引发剂的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮(IGM公司制“Omnirad-907”)3.4质量份、作为固化促进剂的2-乙基-4-甲基咪唑0.52质量份、作为有机溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯13.9质量份、及作为颜料的酞菁绿0.65质量份，利用辊磨机进行混炼，得到实施例1的图案形成材料。图案形成材料中，锂部分固定型蒙皂石的含量(填料量)相对于不挥发成分总量为12质量％。
(比较例1)
对合成例1中得到的含酸基丙烯酸酯树脂100质量份(固体成分量：68质量份)，添加熔融二氧化硅(电化株式会社制“Denka熔融二氧化硅(DF)FB-5604”)13.6质量份，在其中配混作为固化剂的邻甲酚酚醛清漆型环氧化合物(DIC株式会社制“EPICLON N-680”)25.8质量份、作为光聚合引发剂的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮(IGM公司制“Omnirad-907”)3.4质量份、作为固化促进剂的2-乙基-4-甲基咪唑0.52质量份、作为有机溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯13.9质量份、及作为颜料的酞菁绿0.65质量份，利用辊磨机进行混炼而得到比较例1的图案形成材料。图案形成材料中，熔融二氧化硅的含量(填料量)相对于不挥发成分总量为12质量％。
[感光度的评价方法]
在玻璃基材上以膜厚成为50μm的方式，使用涂抹器涂布实施例1及比较例1中得到的图案形成材料，在80℃下干燥30分钟。然后，在干燥的涂膜上放置柯达公司制“Steptablet No.2”，使用金属卤化物灯，照射500mJ/cm2的紫外线。用1％的碳酸钠水溶液将其在30℃下显影180秒，基于Step tablet法，通过Step tablet的残留阶数来评价图案形成材料的感光度。需要说明的是，残留阶数越多表示感光度越高。结果示于表1。
[碱显影性的评价方法]
在玻璃基材上以膜厚成为50μm的方式，使用涂抹器涂布实施例1及比较例1中得到的图案形成材料后，在80℃下分别干燥30分钟、40分钟、50分钟、60分钟、70分钟、80分钟、90分钟及100分钟，制作干燥时间不同的样品。用1％碳酸钠水溶液将这些在30℃下显影180秒，将基板上未残留残渣的样品在80℃下的干燥时间作为干燥管理幅度进行评价。需要说明的是，干燥管理幅度越长则表示碱显影性越优异。结果示于表1。
[表1]
(实施例2)
对合成例1中得到的含酸基丙烯酸酯树脂100质量份(固体成分量：68质量份)，添加锂部分固定型蒙皂石分散浆料68质量份(固体成分量：13.6质量份)、乙腈433质量份、及上述改性剂液52质量份，保持搅拌8小时。使用PRIMIX Corporation制行星搅拌机，边将得到的分散液在50℃下加热边进行减压脱溶剂，得到固体成分量68质量％的填料树脂分散液。在其中配混作为固化剂的邻甲酚酚醛清漆型环氧化合物(DIC株式会社制“EPICLON N-680”)25.8质量份、作为光聚合引发剂的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮(IGM公司制“Omnirad-907”)3.4质量份、及作为有机溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯13.9质量份，利用辊磨机进行混炼而得到实施例2的图案形成材料。图案形成材料中，锂部分固定型蒙皂石的含量(填料量)相对于不挥发成分总量为12质量％。
(比较例2)
对合成例1中得到的含酸基丙烯酸酯树脂100质量份(固体成分量：68质量份)，添加熔融二氧化硅(电化株式会社制“Denka熔融二氧化硅(DF)FB-5604”)13.6质量份，在其中配混作为固化剂的邻甲酚酚醛清漆型环氧化合物(DIC株式会社制“EPICLON N-680”)25.8质量份、作为光聚合引发剂的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮(IGM公司制“Omnirad-907”)3.4质量份、及作为有机溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯13.9质量份，利用辊磨机进行混炼而得到比较例2的图案形成材料。图案形成材料中，熔融二氧化硅的含量(填料量)相对于不挥发成分总量为12质量％。
[平均线膨胀率的评价方法]
使用涂抹器，以膜厚成为50μm的方式，将实施例2及比较例2中得到的图案形成材料涂布在古河产业株式会社制的电解铜箔“F2-WS”上，使其在80℃下干燥30分钟。然后，使用金属卤化物灯对干燥的涂膜照射1000mJ/cm2的紫外线后，在160度下进行1小时固化而使涂膜固化。将得到的层叠体切割为20mm×5mm的尺寸，将其作为试验片。使用热机械分析装置(TMA：株式会社岛津制作所制“TMA-60”)，用拉伸模式在氮气气氛下，在以下的测定条件下进行试验片的热机械分析。
测定条件
测定架重：6mN
升温速度：10℃/分钟2次
测定温度范围：第1次：0℃～220℃、第2次：-60℃～240℃
对同一样品实施2次上述条件下的测定，将第2次的测定中的在40℃～60℃的温度范围下的平均线膨胀率作为线膨胀系数进行评价。结果示于表2。
[剥离强度的评价方法]
使用涂抹器，以膜厚成为50μm的方式，将实施例2及比较例2中得到的图案形成材料涂布在古河产业株式会社制的电解铜箔“F2-WS”上，在80℃下干燥30分钟。然后，使用金属卤化物灯对干燥的涂膜照射1000mJ/cm2的紫外线后，在160度下进行1小时固化而使涂膜固化。将得到的层叠体切割成1cm×12cm，将其作为试验片。使用株式会社岛津制作所制“AG-IS-1kN”，以试验速度50mm/分钟、湿度50％、温度23度的条件，测定试验片的固化后的涂膜的90°剥离强度。结果示于表2。
[表2]
(实施例3)
对合成例1中得到的含酸基丙烯酸酯树脂146质量份(固体成分量：100质量份)，添加UV自由基引发剂2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦(商品名：Omnirad(注册商标)-TPO、IGM公司制)5质量份、上述锂部分固定型蒙皂石分散浆料86质量份(固体成分量：17.2质量份)、乙腈636质量份、及上述改性剂液66质量份，搅拌保持8小时。由此，得到实施例3的图案形成材料。图案形成材料中，锂部分固定型蒙皂石的含量(填料量)相对于不挥发成分总量为14质量％。
使用棒涂机，以干燥后涂布厚度成为2μm的方式，将得到的实施例3的图案形成材料涂布在12μm的PET薄膜(商品名：E-5100、东洋纺株式会社制)的电晕处理面上。涂布后立刻将涂布后的PET薄膜在150℃的干燥机中加热5分钟而进行溶剂干固。室温冷却后，用金属卤化物灯照射2000mJ/cm2而使其UV固化，由此在PET薄膜上形成固化膜。
(比较例3)
添加熔融二氧化硅(电化株式会社制“Denka熔融二氧化硅(DF)FB-5604”)17.2质量份来代替锂部分固定型蒙皂石分散浆料86质量份(固体成分量：17.2质量份)，及不使用改性剂液，除此以外，与实施例3相同地制作固化膜。
[透氧率的评价方法]
对于透氧率的测定，依据JIS-K7126(等压法)，使用Mocon Inc.制透氧率测定装置OX-TRAN1/50，在温度23℃、湿度0％RH的气氛下及温度23℃、湿度90％RH的气氛下，对上述固化膜实施。需要说明的是，RH表示相对湿度。结果示于表3。
[水蒸气透过率的评价方法]
对于水蒸气透过率的测定，依据JIS-K7129，使用Illinois公司制水蒸气透过率测定装置7001，在温度40℃、湿度90％RH的气氛下，对上述固化膜进行测定。结果示于表3。
[表3]
