光波导微流体芯片
技术领域
本发明涉及一种光波导微流体芯片，尤其涉及一种光波导微流体生物检测芯片。
背景技术
在现代生化分析流程中，高通量检测设备已经被广泛使用。这些设备大多采用基于微流体技术或者微孔阵列的生物芯片，装载在高性能的光学系统中，实现对诸如核酸、蛋白、病毒、细菌、细胞等等不同尺寸的生物样品的分析。这些光学系统的设计通常都基于复杂的几何光学，其体积大、成本高、需要光学准直、维护成本较高。
在精准医疗时代，小型化、高性能、低成本和可移动的集成化分析系统受到很大关注。尤其是lab on chip的概念，经过几十年的发展，基于微流体技术对生物样品的操控方面取得了长足的进步，但真正的lab on chip系统仍然缺少一种微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测和分析集成系统。
发明内容
为解决目前现代生化分析仪器体积庞大、成本高和满足精准医疗时代所需求的仪器小型化、可移动和集成化等一系列新的需求。本发明通过集成电路量产工艺来生产这种芯片级光学检测和分析系统，将传统光学系统的功能通过集成光学或片上光学器件来实现，不仅可以把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
同时我们可以通过多微流体通道和生物传感阵列大规模矩阵化来实现比传统光学系统更高通量的分析性能。这种高通量微尺度多色荧光标记生物样品分析集成芯片将会极大的推动生物样品检测设备的芯片化，在生命科学和医疗领域产生巨大的社会和经济效益。
本发明提供一种光波导微流体芯片，包括：光波导和微流道，其特征在于，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内：
还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层和上包层，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；
所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；
所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm 的高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，所述微流道宽度为 10-100μm。
优选地，若干个所述光波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光波导的宽度为300-600nm。
优选地，整层或大部分所述波导层形成一个片状的所述光波导。
优选地，所述波导层厚度为150-1000nm。
优选地，还包括氮化硅材料的入射光栅，以与所述光波导结合形成光栅耦合光波导，将所述上包层上方的光导入所述光波导直至导入所述微流道；所述入射光栅凸出于所述波导层向上延伸进所述上包层。
优选地，包括若干个相互平行的所述耦合光波导。
优选地，所述波导层厚度为150-1000nm，所述耦合光波导的宽度为 300-600nm。
优选地，还包括光纤，所述光纤与所述光波导光耦合。
优选地，所述衬底是硅衬底。
优选地，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。
本发明提供一种光波导微流体芯片，通过集成电路量产工艺来生产这种芯片级光学检测和分析系统，将传统光学系统的功能通过集成光学或片上光学器件来实现，不仅可以把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
附图说明
附图1a～d是本发明光波导微流体芯片的制造流程；
附图2a～e是本发明耦合光波导微流体芯片的制造流程；
附图3是图1的俯视图；
附图4是图1片状光波导的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细说明。
在附图中，为了描述方便，层和区域的尺寸比例并非实际比例。当层(或膜)被称为在另一层或衬底“上”时，它可以直接在另一层或衬底上，或者也可以存在中间层。此外，当一层被称为在另一层“下”时，它可以直接在下面，并且也可以存在一个或多个中间层。另外，当层被称为在两个层之间时，它可以是两个层之间的唯一层，或者也可以存在一个或多个中间层。相同的附图标记始终表示相同的元件。另外，当两个部件之间称为“连接”时，包括物理连接，除非说明书明确限定，此种物理连接包括但不限于电连接、接触连接、无线信号连接。
本发明专利提出水平光波导与微流体通道一体化模块方案，快速构建微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测芯片。其中，水平光波导是指将光沿水平方向导入微流道的光波导。
本发明提供一种光波导微流体芯片，如图1～4所示，包括：光波导1311 和微流道2，所述光波导1311用以将光沿水平方向导入所述微流道2内，其特征在于：
还包括：依次由下而上设置的衬底11、下包层12、波导层13和上包层14，所述波导层13是氮化硅材料，所述波导层13用以形成所述光波导1311；
所述微流道2由上而下贯穿所述上包层14、所述波导层13和所述下包层 12延伸进所述衬底11；
所述下包层12是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层14是厚度为 15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道2延伸进所述衬底10～15μm，所述微流道2宽度为10-100μm；将传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品检测的高通量芯片，大幅度降低系统成本。
其中根据引进光波导组131的光源方向不同，如：图1d是从光波导组131 左端的光纤(未示出)引入光源、而图2e是从光波导组131上方引入光源，做分别介绍。
下面介绍图1d，即从光波导组131左端的光纤(未示出)引入光源的本光波导微流体芯片：
如图1d和图2所示，光波导微流体芯片中的光波导可只包括一个光波导。
如图1d和图3所示，一个微流体上的光波导组131包括若干个，如n个，相互平行的光波导1311、1312…131n，以将光沿水平方向导入所述微流道2，在实际检测中，针对微流道2中含不同标记的生物分子，光波导1311、 1312…131n可将分别将波长为λ1、λ2…λn的光沿水平方向导入微流道2中，利用不同波长的光激发不同标记的标记生物分子21可以同时识别这些生物分子，而不在光波导1311、1312…131n导入的激发光场中的非激生物分子20将不被识别，非激生物分子20是未经标记的正常生物分子或者经标记但位于光场之外而未被激发的生物分子；其中，如图3所示，所述光波导1311、 1312…131n的宽度为300-600nm。
如图4所示，整层或大部分所述波导层13形成一个片状的所述光波导1311，片状光波导1311导入的激发光场可减少检测标记生物分子中的背景光信号，大大提高小生物分子的检出率。
如图3～4所示，所述波导层13厚度为150-1000nm，亦即图1d、图3～4 中的所述光波导1311、1312…131n的厚度为150-1000nm。
其中，所述光纤与光波导组131光连接，进而与光波导组131中的光波导 1311、1312…131n光连接。
下面介绍图2e，即从光波导组131上方引入光源的本光波导微流体芯片：
如图2e所示，还包括氮化硅材料的入射光栅(未示出)，以与所述光波导 1311、1312…131n形成耦合光波导，将所述上包层14上方的光导入所述光波导直至导入所述微流道2，其中所述上包层14是透光性层；所述入射光栅凸出于所述波导层13向上延伸进所述上包层14。
如图2e和图3所示，一个微流体上的光波导组131包括若干个，如n个，相互平行的耦合光波导1311、1312…131n，以将光沿水平方向导入所述微流道2，在实际检测中，针对微流道2中含不同标记的生物分子，耦合光波导1311、 1312…131n可将分别将波长为λ1、λ2…λn的光沿水平方向导入微流道2中，利用不同波长的光激发不同标记的标记生物分子21可以同时识别这些生物分子，而不在耦合光波导1311、1312…131n导入的激发光场中的非激生物分子 20将不被识别，非激生物分子20是未经标记的正常生物分子或者经标记但位于光场之外而未被激发的生物分子；其中，如图3所示，所述耦合光波导1311、 1312…131n的宽度为300-600nm，其中，如图2e所示，所述波导层13厚度为 300-600nm。
在本发明中，所述衬底11是硅衬底；较佳地，所述衬底11是4、8、12 英寸的硅片。
在本发明中，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。
在本发明中，氮化硅波导层13是在沉积温度为25-150℃的低温下形成的厚度为150nm-500nm的氮化硅薄膜层；所述氮化硅薄膜的折射率为1.75-2.2。需要说明的是，氮化硅薄膜可以是折射率均匀的薄膜，也可以是折射率不均匀的薄膜，如折射率分层结构的氮化硅薄膜。
本发明提供的光波导微流体芯片，具有有益效果：将传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品检测的高通量芯片，大幅度降低系统成本。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
