快速排液气缸
技术领域
本实用新型涉及气缸技术领域，特别是指快速排液气缸。
背景技术
在半导体湿法工艺制程中，会浸泡槽内承装的化学品。半导体制造业是与化学密切相关的工艺过程，其中使用了多种超高纯度的工艺用化学品。化学品在半导体制造业中的主要用途有：
1.用湿法化学溶液和超纯净的水清洗或准备硅片表面；
2.用高能离子对硅片进行掺杂得到p型和n型硅材料；
3.淀积不同的金属导体层以及导体层之间必要的介质层；
4.生长薄的二氧化硅层作为MOS器件主要的栅极介质材料；
5.用等离子体增强刻蚀或湿法试剂有选择地去除材料并在薄膜上形成所需要的图形。
在化学品的纯度达不到使用要求时需及时更换浸泡槽内的化学品，为实现化学品的快速排出，会在浸泡槽的底部会开设较大的排液孔，并用气缸控制排液孔的打开和关闭。化学品具有一定的腐蚀性，且排液孔打开后会有部分化学品流到气缸上，现有的气缸的抗酸碱性能和密封性能都不能满足需求，气缸内外容易被化学品腐蚀，气缸的使用寿命低，还影响浸泡槽在排液孔关闭状态下的密封性能。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：如何提高快速排液气缸的抗酸碱性能和密封性能。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：
快速排液气缸，包括由聚丙烯材质制成的缸体、气体活塞杆和托盘，所述缸体为一体式无缝焊接结构，所述托盘焊接于所述气体活塞杆位于缸体外部的一端，所述托盘的盘面上设置有氟橡胶材质的密封圈。
在一个实施例中，所述密封圈与所述托盘的盘面之间采用凹凸结构连接。其中，所述密封圈的底部具有凸起，所述托盘的盘面设置有与所述凸起配合使用的凹槽。
在一个实施例中，所述气体活塞杆位于缸体外部的一端设置有一圈向外凸出的环形凸台。由此，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，环形凸台压在缸体上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。
在一个实施例中，所述缸体的外部设置有一圈导向管，所述气体活塞杆从所述导向管中穿过。由此，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，导向管的管口压在托盘底部上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。
在一个实施例中，所述缸体的外部设置有与缸体中心轴平行的装配平面，缸体的进气孔和出气孔设置于该装配平面上。由此，压缩气管与缸体连接后，可采用一块封板将压缩气管固定在缸体上，即可防止压缩气管脱离，又可对缸体进行密封。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型中的缸体、活塞杆和托盘均采用具有优异耐酸碱性能的聚丙烯材料制成，气缸能够承受化学品的腐蚀，使用寿命长；
2.本实用新型中的缸体为一体式无缝焊接结构，密封性能极佳；
3.本实用新型安装在浸泡槽底部，用于控制排液孔的启闭，向缸体内部注入2～3KG的压缩气体即可实现排液孔的封闭，缸体采用聚丙烯材料不仅可以耐腐蚀，还使得气缸变得轻量化，降低了设备的整体制造成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例一中公开的快速排液气缸的剖视图；
图2是实施例二中公开的快速排液气缸的剖视图；
图3是实施例三中公开的快速排液气缸的立体图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例一
图1中所示的快速排液气缸，包括由聚丙烯材质制成的缸体10、气体活塞杆20和托盘30，缸体为一体式无缝焊接结构，托盘焊接于气体活塞杆位于缸体外部的一端，托盘的盘面上设置有氟橡胶材质的密封圈40。向缸体内部注入2～3KG的压缩气体使得活塞杆向缸体外部伸出，托盘上的密封圈紧压在浸泡槽的槽底将排液孔封闭。将压缩气体泄除，活塞杆向缸体内部收缩，托盘与浸泡槽分离，排液孔被打开，浸泡槽内的化学品从排液孔中快速排出，部分化学品会直接冲击气缸的托盘，由于托盘的尺寸大于缸体的尺寸，托盘保护缸体防止化学品与缸体接触。
密封圈的底部具有凸起，托盘的盘面设置有与凸起配合使用的凹槽，密封圈与托盘的盘面之间采用此种凹凸结构连接，可增加密封圈在托盘上的安装贴合度。
参见图1，气体活塞杆位于缸体外部的一端设置有一圈向外凸出的环形凸台50，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，环形凸台压在缸体上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。
在缸体的底部设置有四个螺纹盲孔60，通过此螺纹盲孔可以将气缸的位置固定，以保证排液孔启闭的稳定性。
实施例二
本实施例与实施例一不同之处在于托盘与缸体之间的密封结构，本实施例为(参见图2)：
缸体的外部设置有一圈导向管70，气体活塞杆20从导向管中穿过。由此，在气体活塞杆缩回、排液孔打开后，导向管的管口压在托盘底部上形成端面密封，可防止化学品从活塞杆与缸体之间的间隙进入缸体内部。
实施例三
本实施例基于实施例一或实施例二。
参见图3，缸体10的外部设置有与缸体中心轴平行的装配平面11，缸体的进气孔12和出气孔13设置于该装配平面上。压缩气管80与缸体连接后，可采用一块封板90将压缩气管固定在缸体上，即可防止压缩气管脱离，又可对缸体进行密封。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
