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晶舟开锁工具

2021-03-16 11:29:19

晶舟开锁工具

  技术领域

  本发明涉及一种开锁工具,尤其涉及一种晶舟开锁工具。

  背景技术

  在半导体行业中,车间生产工艺的后段制程,需要将晶圆放置在晶舟内进行运输或储存。晶舟是一个密封的容器,特别是12英寸的晶舟,需要同时用两个开盖器分别塞入密封盖内部对应钥匙孔,并旋转开锁。然后开盖器保留在开盖状态的密封盖上,所有密封盖的移动作业,都是操作人员手持开盖器的方式。目前的开盖器主要是单片式结构,操作时需要同时占用两只手握住开盖器,而不能进行其他操作,费时费力,影响工作效率。

  发明内容

  本发明目的在于提供一种方便同时转动两个钥匙后又兼顾其他操作从而提高工作效率的晶舟开锁工具。

  为实现上述发明的目的,本发明提供的技术方案如下:

  一种晶舟开锁工具,其中包括固定机构、间隔设置于固定机构一侧的两个钥匙、设置于固定机构另一侧的把手,至少一所述钥匙和把手相连接设置,并通过把手旋转驱动;所述固定机构内还设置有连接两个钥匙的连动机构。

  进一步地,所述固定机构具有基座、与基座配合设置的盖板,所述基座朝向所述盖板的一侧具有容纳所述连动机构并为连动机构提供活动空间的容纳槽,所述钥匙连接有突伸入所述容纳槽内的旋转轴,所述连动机构与旋转轴相连接。

  进一步地,所述连动机构包括连杆、分别与连杆两端枢转连接的副杆,所述副杆具有与旋转轴固定连接的旋转部、连接在旋转部和连杆的连接臂。

  进一步地,设定两个钥匙的排布方向为横向,所述连杆沿横向延伸设置,所述容纳槽具有沿横向延伸以收容所述连杆的横向槽、与横向槽相连通并收容所述副杆的限位槽,所述限位槽在副杆的两侧分别设置有第一限位面和第二限位面,在钥匙处于锁定和开锁状态时,所述第一限位面和第二限位面分别与副杆两侧相抵接。

  进一步地,所述旋转部呈圆形,所述第一限位面和第二限位面设置在连接臂的两侧,并与连接臂的两侧相配合限位。

  进一步地,连接臂远离旋转部的一端呈圆弧状设置,限位槽相邻连接臂远离旋转部的端部的内壁面呈弧状延伸。

  进一步地,所述横向槽具有相对设置用以限制所述连杆纵向移动位置的第三限位面、第四限位面,在钥匙处于锁定和开锁状态时,所述第三限位面与所述连杆相抵接限位;所述第四限位面用以在钥匙朝向开锁或者锁定状态移动过程中限制连杆的纵向移动位置。

  进一步地,连接所述钥匙和把手的旋转轴为第一旋转轴,所述固定机构具有配合第一旋转轴穿过的通孔,所述第一旋转轴穿过通孔将把手、固定机构、连动机构、钥匙依次连接。

  进一步地,所述把手包括固定把手转动位置的固定销,所述把手相邻固定机构的位置具有朝向所述第一旋转轴方向配合固定销插入的固定孔,所述固定销穿过固定孔与所述第一旋转轴抵接。

  进一步地,所述把手远离固定机构的后部向下弯折,弯折处具有凹槽。

  本发明的有益效果是:本发明晶舟开锁工具,包括固定机构、分别设置在固定机构两侧的两个钥匙和把手,其中至少一个钥匙和把手相连接设置,通过在固定机构内部设置连动机构,可实现旋转把手带动一个钥匙转动的同时,通过连动机构带动另一个钥匙转动,达成两个钥匙同步开锁的目的。本发明的晶舟开锁工具可以方便快捷地开启晶舟的密封盖,手握开锁工具同时可以进行其他操作,提高工作效率,此装置操作方便、结构简洁、易于推广。

  附图说明

  图1为本发明晶舟开锁工具一个实施例中开锁工具立体结构示意图。

  图2为本发明晶舟开锁工具各零部件结构分解示意图。

  图3为晶舟开锁工具内部结构示意图。

  图4为连动机构结构示意图。

  图5为连动机构中连杆和副杆连接结构示意图。

  图6为开锁工具容纳槽的结构示意图。

  图7为图3沿A-A方向剖视图。

  图8为固定销和第一旋转轴连接结构示意图。

  其中,1-钥匙,11-旋转轴,111-第一旋转轴,1111-卡位槽,112-第二旋转轴,2-固定机构,21-基座,211-容纳槽,2111-横槽,21111-第三限位面,21112-第四限位面,2112-限位槽,21121-第一限位面,21122-第二限位面,22-盖板,23-通孔,3-把手,31-固定销,32-凹槽,30-固定把手,4-连动机构,41-连杆,42-副杆,421-旋转部,422-连接臂,422a-第一臂,422b-第二臂,422c-空腔,423-枢转轴。

  具体实施方式

  以下将结合附图所示的具体实施方式对本发明进行详细描述。但这些实施方式并不限制本发明,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。

  在本发明的各个图示中,为了便于图示,结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大,因此,仅用于图示本发明的主题的基本结构。

  如图1至图5所示,本发明提供一种晶舟开锁工具,其包括固定机构2、间隔设置于固定机构2一侧的两个钥匙1、设置于固定机构2另一侧的把手3,至少一所述钥匙1和把手3相连接设置,并通过把手3旋转驱动;所述固定机构2内还设置有连接两个钥匙1的连动机构4。本发明通过连动机构4实现转动一个把手3可以带动两个钥匙1同时转动开锁,手握开锁工具同时可以进行其他操作,进而提高工作效率。

  本实施例中,所述晶舟开锁工具包括两把钥匙1,具体地,设定两个钥匙1的排布方向为横向,以匹配晶舟两个锁孔位置的要求。可以理解的是,所述晶舟开锁工具也可以根据需要包括多把钥匙1,实现多把钥匙同时转动达成开锁的目的。

  进一步地,所述钥匙1连接有旋转轴11,所述连动机构4通过与旋转轴11与两个钥匙1相连接,以实现两个钥匙1同时转动的目的。具体地,与钥匙1和把手3同时相连接的旋转轴11为第一旋转轴111,另一个钥匙相连接的旋转轴11为第二旋转轴112,本实施例中所述第二旋转轴112所述连动机构4相连接。

  本实施例中,如图4所示,所述连动机构4包括连杆41、分别与连杆41两端枢转连接的副杆42。所述副杆42具有与所述旋转轴11固定连接的旋转部421、连接旋转部421和连杆41的连接臂422。所述连杆41配合两个钥匙1的位置沿横向延伸设置,所述连杆41的两端通过所述副杆42分别与两个旋转轴11固定连接。当转动第一旋转轴111开锁时,所述第一旋转轴111带动相连接的副杆42转动,继而副杆42通过所述连杆41带动另一副杆42转动,使得与另一副杆42连接的第二旋转轴112转动,从而带动另一个钥匙1同时同方向转动,实现通过转动一个钥匙1带动另一个钥匙1同时开锁的目的。

  在本实施例中,所述旋转部421和连接臂422通过螺栓固定连接,所述旋转部421和连接臂422在连接的位置设置旋转孔,所述旋转轴穿过旋转孔与所述旋转部421固定连接,方便旋转轴11和旋转部421同时转动。当然,所述旋转部421和连接臂422也可以一体成型设置,能实现旋转部421与旋转轴11的固定连接的目的即可。

  进一步地,所述连接臂422远离所述旋转部421的一端和所述连杆41的两端设置相匹配的枢转孔,利用一枢转轴423穿过枢转孔连接所述连接臂421和所述连杆41,从而实现所述副杆42和连杆41的枢转连接。本实施例中,如图5所示,所述连接臂422具有两个相对设置的第一臂422a、第二臂422b,第一臂422a和第二臂422b之间形成有空腔422c,所述连杆41末端伸入空腔422c内,并且通过枢转轴423与第一臂422a和第二臂422b相连接,使得所述连接臂422和所述连杆41在枢转连接处受力更均衡。

  作为本发明一个较佳实施例,所述固定机构2具有基座21、与基座21配合设置的盖板22,所述盖板22设置在朝向所述钥匙1的一侧。具体地,所述基座21朝向所述盖板22的一侧具有容纳所述连动机构41并为连动机构41提供活动空间的容纳槽211,所述旋转轴11突伸入容纳槽211中与所述连动机构41相连接。所述连动机构41设置在所述固定机构2的容纳槽211内,一方面,为所述旋转轴11和连动机构4活动提供固定基点,使开锁过程更流畅;另一方面,所述固定机构2可以保护所述连动机构4零部件的同时使外观更整洁。

  具体地,如图6所示,所述容纳槽211具有沿横向延伸以收容所述连杆的横向槽2111、与横向槽2111相连通并收容所述副杆42的限位槽2112。所述限位槽2112匹配副杆42的设计,利于引导所述副杆42移动的方向,同时限制所述副杆42的移动距离,使所述副杆42在转动过程中更平稳。

  进一步地,所述限位槽2112在副杆42的两侧分别设置有第一限位面21121和第二限位面21122,在钥匙1处于锁定和开锁状态时,所述第一限位面21121和第二限位面21122分别与副杆42两侧相抵接,使得所述副杆42在旋转的过程中,被限制在所述限位槽2112中,增加所述副杆42运动的稳固性。

  具体地,所述旋转部呈圆形,所述第一限位面21121和第二限位面21122设置在连接臂422的两侧,并与连接臂422的两侧相配合限位,以限制所述连接臂422转动的方向和幅度。

  所述连接臂422远离旋转部421的一端呈圆弧状设置,限位槽2112相邻连接臂422远离旋转部421端部的内壁面呈弧状延伸,所述连接臂422圆弧状的端部在弧状的内壁面的导引下进行旋转,使得所述连接臂422的旋转更流畅。

  所述横向槽2111具有相对设置用以限制所述连杆41纵向移动位置的第三限位面21111、第四限位面21112,在钥匙1处于锁定和开锁状态时,所述第三限位面21111与所述连杆41相抵接限位;所述第四限位面21112用以在钥匙1朝向开锁或者锁定状态移动过程中限制连杆41的纵向移动位置。

  本实施例中,如图7所示,所述固定机构2具有配合第一旋转轴111穿过的通孔(未图示),所述第一旋转轴111穿过通孔将所述把手3、固定机构2、连动机构4、钥匙1依次连接,以实现通过旋转所述把手同时带动钥匙转动的目的。

  所述把手3包括固定把手3转动位置的固定销31,所述把手3相邻固定机构2的位置具有朝向所述第一旋转轴111方向配合固定销31插入的固定孔(未图示),待所述第一旋转轴111旋转到开锁的位置,所述固定销31穿过固定孔与所述第一旋转轴111抵接,利用所述固定销31将所述第一旋转轴111固定住,使得所述钥匙1能稳定地处于开锁状态。

  优选地,如图8所示,所述第一旋转轴111上与所述固定销31相抵接得位置设置卡位槽1111,所述固定销31插入所述卡位槽1111与所述第一旋转轴111卡持抵接,使得所述固定销31与所述第一旋转轴111的连接更稳固,进一步提高所述钥匙1处于开锁状态的稳固性。

  进一步地,所述把手3远离固定机构2的后部向下弯折,方便操作人员进行抓握。优选地,在把手3的弯折处具有凹槽32,在抓握把手时使得操作人员的手正好卡在凹槽32处,增加操作人员抓握把手3的稳固性,避免由于把手3表面光滑而导致滑落的事故。

  本实施例中,所述晶舟开锁工具还包括固定设置在固定机构2上与所述把手3对称间隔设置的固定把手30,所述固定把手30形状设置与把手3一致,在开锁过程中方便抓握,并且使得所述晶舟开锁工具外型更美观。

  综上所述,本发明晶舟开锁工具,包括固定机构2、分别设置在固定机构2两侧的两个钥匙1和把手3,其中至少一个钥匙1和把手3相连接设置,通过在固定机构2内部设置连动机构4,可实现旋转把手3带动一个钥匙1转动的同时,通过连动机构4带动另一个钥匙1转动,达成两个钥匙1同步开锁的目的。本发明的晶舟开锁工具可以方便快捷地开启晶舟的密封盖,而且手握开锁工具同时可以进行其他操作,提高工作效率,此装置操作方便、结构简洁、易于推广。

  应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施方式中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

  上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明,它们并非用以限制本发明的保护范围,凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

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