欢迎光临小豌豆知识网!
当前位置:首页 > 化学技术 > 晶体生长> 一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构独创技术7814字

一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构

2021-03-18 23:25:01

一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构

  技术领域

  本实用新型涉及一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构,具体涉及一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶用籽晶杆结构。

  背景技术

  蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能及化学稳定性,强度高、硬度大,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛地应用于红外激光器等光学元器件上;其独特的晶格结构、优异的力学性能使蓝宝石在LED衬底材料得到广泛的应用。随着LED产业的发展,对蓝宝石晶体材料的尺寸、质量提出了更高的要求,对蓝宝石晶体材料的需求量也逐渐增大。大尺寸蓝宝石单晶在出材率和控制成本方面有明显优势。因此,开展研发大尺寸、高质量蓝宝石单晶的生长装备与技术成为目前发展的首要任务。

  蓝宝石晶体尺寸越大,材料的利用率越高,但大尺寸单晶在炉内生长过程中,晶体质量逐渐增加,轴向拉力逐渐增大,易出现晶体掉落、籽晶夹变形等问题。出现这些问题的主要原因是:在长晶过程中,籽晶夹与籽晶受较大的轴向拉力,籽晶夹的外轮廓易变形,导致晶体掉落,严重影响成品率。并且籽晶夹变形后,不能继续使用,降低了籽晶夹的寿命。另一方面,传统用于籽晶杆和籽晶夹的连接方式是螺纹连接,晶体的质量转化为轴向工作载荷,螺纹结构承受全部载荷,使其变形且连接稳定性不佳,导致籽晶杆的整体寿命下降。为了提高籽晶杆与籽晶夹的寿命,提高成品率,降低成本,有必要研究一种新型的籽晶杆结构。

  发明内容

  本发明的目的在于提供一种连接稳定性强、寿命较高、利于生长大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构。

  本发明的目的是这样实现的:该结构包括籽晶杆、籽晶夹总成、籽晶杆内螺纹套筒和籽晶夹内螺纹套筒,籽晶夹总成由籽晶连杆和籽晶夹组成,籽晶夹总成的上端设有倒三角型镂空结构,籽晶杆的下端设有倒三角型结构,籽晶杆的下端与籽晶夹总成的上端结构插接,通过籽晶杆内螺纹套筒连接两结构螺纹,籽晶与籽晶夹装配,通过籽晶夹内螺纹套筒固定两结构螺纹。

  本实用新型还有这样一些特征:

  1、所述的籽晶杆整体为圆柱形中空结构,材料为不锈钢,籽晶杆设有内管和外管,内管位于外管正中位置,冷却水从内管注入,到达籽晶杆底端由外管排出;籽晶杆的上端设有与单晶炉顶端伺服电机连接的结构;籽晶杆的下端设有倒三角型结构,其中两个角进行倒圆角处理,并且整体表面焊接1-2mm铜材料。籽晶杆下端的圆柱外表面设有螺纹,螺纹材料为铜;

  2、所述的籽晶杆直径为20-50mm,籽晶杆下端的倒三角型结构的高度为30-70mm,其倒圆角半径为5-15mm;

  3、所述的籽晶夹总成由籽晶连杆和籽晶夹组成,整体材料为钼;籽晶夹总成的上端外圆表面设有螺纹,内部为倒三角型的镂空结构,其中两个角进行倒圆角处理,此结构可与籽晶杆下端进行插接;籽晶连杆为圆台形,将籽晶连杆的圆柱直径缩小,籽晶连杆的下端连接籽晶夹。籽晶夹整体为圆柱形,外表面设有螺纹;其中一侧设有倒梯形凹槽,梯形的两个底角进行倒圆角处理,可与蓝宝石籽晶装配;

  4、所述的籽晶夹上端的倒三角型结构的高度为30-70mm,其倒圆角半径为5-15mm;籽晶夹上端的外圆直径为20-50mm。所述的籽晶连杆的直径为10-40mm;

  5、所述的籽晶杆内螺纹套筒整体材料为铜,外部为六边形,内部设有螺纹,高度为40-60mm。当蓝宝石晶体公斤级增大时,对应的籽晶尺寸增大,籽晶连杆和籽晶夹的直径随之增大。籽晶杆内螺纹套筒可更换成阶梯型内螺纹套筒,保证同直径籽晶杆与大直径籽晶夹总成的稳定连接;

  6、所述的籽晶夹内螺纹套筒整体材料为钼,外部为六边形,内部设有螺纹。高度为籽晶夹高度的1/2。

  本实用新型可以提高籽晶杆与籽晶夹总成的连接强度,保证晶体的稳定生长,同时提高籽晶夹总成的寿命,从而降低综合成本。

  本实用新型有益效果:

  1.籽晶杆下端与籽晶夹总成上端的结构进行插接连接,再使用螺纹套筒将两结构固定,可减少传统连接方式对螺纹的轴向工作载荷,增强螺纹寿命,从而增加整体籽晶杆的寿命。

  2.籽晶杆下端的倒三角型结构,其中两个角进行倒圆角处理,可减小工作时的局部应力,减小形变,提高寿命。

  3.使用籽晶夹内螺纹套筒对籽晶夹和籽晶进行固定,减小了籽晶夹纵向的形变,增强了籽晶夹的强度,保证了籽晶夹与籽晶连接的稳定性。

  传统的籽晶杆与籽晶夹总成的尺寸,随单晶尺寸的增大而成套增大,对生长其它尺寸晶体适应性不强。本发明中籽晶杆内螺纹套筒可设计为直筒型或阶梯型。阶梯型内螺纹套筒可应变多种籽晶尺寸、晶体重量的变化,同一型号的籽晶杆可连接多种尺寸的籽晶夹总成,可减少籽晶杆设计和制造的费用,从而降低生产成本。

  附图说明

  图1为籽晶杆结构示意图;

  图2为籽晶杆内冷却水流动示意图;

  图3为本实用新型结构示意图;

  图4为籽晶杆内螺纹套筒结构示意图;

  图5为籽晶夹内螺纹套筒结构示意图;

  图6为籽晶杆装配示意图;

  图7为籽晶杆与套筒装配示意图;

  图8为籽晶杆连接大尺寸籽晶夹总成装配示意图;

  图9为阶梯内螺纹套筒结构示意图。

  具体实施方式

  下面结合附图对本实用新型进行详细说明:

  结合图1-9,本实施例

  图1为籽晶杆结构示意图,该籽晶杆1的上端设有与单晶炉顶端伺服电机连接的结构2。籽晶杆的下端设有倒三角型结构3,此结构焊接一层铜材料,且外圆表面焊接铜材料制成的螺纹结构4。图2为籽晶杆内冷却水流动示意图,籽晶杆为圆管结构,内部设有外管5和内管6结构,冷却水由内管流入,从外管流出。图3为籽晶夹总成结构示意图,该籽晶夹总成7由籽晶连杆8和籽晶夹9组成,其中籽晶连总成上端设有倒三角型镂空结构10,且外圆表面焊接铜材料制成的螺纹结构11。籽晶夹的外圆表面设有螺纹结构12。图4为籽晶杆内螺纹套筒结构示意图,籽晶杆内螺纹套筒13的内径设有螺纹结构。图5为籽晶夹内螺纹套筒结构示意图,籽晶夹内螺纹套筒14的内径设有螺纹结构。图6为籽晶杆装配示意图,安装时,将籽晶杆的下端与籽晶夹总成的上端结构进行插接,图7为籽晶杆与套筒装配示意图,使用籽晶杆内螺纹套筒将两结构螺纹连接。安装籽晶时,籽晶与籽晶夹进行装配,使用籽晶夹内螺纹套筒将两结构螺纹固定,保证籽晶与籽晶夹连接的稳定性。图8为籽晶杆连接大尺寸籽晶夹总成装配示意图。当增大单晶尺寸时,籽晶夹总成的直径增大。此时,更换为阶梯内螺纹套筒连接紫荆港与籽晶夹总成结构,保证了不同尺寸籽晶杆与籽晶夹总成的稳定连接。图9为阶梯内螺纹套筒结构示意图,阶梯内螺纹套筒15的内径均设有螺纹结构。

《一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构.doc》
将本文的Word文档下载到电脑,方便收藏和打印
推荐度:
点击下载文档

文档为doc格式(或pdf格式)