用于沉积设备腔体的保养装置
技术领域
本实用新型涉及晶体生产制造加工设备领域，具体涉及一种用于沉积设备腔体的保养装置。
背景技术
沉积设备在使用的过程中，需要按时程或按Wafer数量对机台相应的部位进行保养，以保持机台性能的稳定，防止制程良率下降，延长机台的寿命。
对沉积设备的腔体的保养操作包括擦拭处理、喷淋处理和打磨处理，然而在现有技术中对沉积设备的腔体进行保养时，通常需要借用人工，费时费力。
现在需要提供一种简单方便、功能全面、能节省时间成本和人力成本的用于沉积设备腔体的保养装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于沉积设备腔体的保养装置，简单方便、功能全面、能节省时间成本和人力成本。
为解决上述技术问题，以下提供了一种用于沉积设备腔体的保养装置，包括轨道以及腔体保养部；所述轨道用于固定连接至需保养的腔体的开口处，且所述轨道的形状与开口处的形状相适应；并且所述腔体保养部设置在所述轨道上，可沿所述轨道运动，且所述腔体保养部包括一个或多个保养单元，所述保养单元用于伸入所述腔体的内部，对所述腔体的内部进行保养。
可选的，所述腔体保养部还包括承载器，设置到所述轨道上，所述承载器中包括运动模块和控制模块，且所述运动模块和控制模块互相连接，其中所述运动模块设置于所述承载器底部，用于驱动所述承载器沿所述轨道运动；所述控制模块设置于所述承载器内部，用于控制所述运动模块；所述保养单元安装至所述承载器，并与所述控制模块相连接，由所述控制模块控制所述保养单元对所述腔体的内部的保养。
可选的，所述承载器还包括控制按钮、记步模块和显示模块，均连接至所述控制模块，所述承载器底部还设置有承载器固定块，所述运动模块设置到承载器固定块上，且所述控制按钮用于供用户设定所述承载器沿所述轨道运动的运动量；所述记步模块设置在所述承载器底部，用于获取所述承载器沿所述轨道已完成的运动量；所述显示模块用于显示所述承载器沿所述轨道已完成的运动量，以及显示所述承载器在所述轨道上被设定的运动量。
可选的，所述腔体保养部还包括装置块，通过旋转轴连接到所述承载器，且所述装置块可绕所述旋转轴在垂直所述轨道的平面内进行旋转；所述保养单元安装于所述装置块上。
可选的，所述保养单元包括擦拭单元、喷淋单元和打磨单元中的一种或多种。
可选的，所述擦拭单元包括无尘布承载块，通过支撑杆连接到所述装置块，用于安装无尘布。
可选的，所述喷淋单元包括喷淋头、喷淋泵和喷淋液存储器，三者通过喷淋管依次连接，且所述喷淋头安装至所述装置块上，可跟随所述装置块相对于所述承载器发生旋转，用于向所述腔体的内部喷淋液体；所述喷淋泵安装至所述承载器，与所述控制模块相连接，用于在所述控制模块的控制下抽取所述喷淋液存储器中存储的喷淋液，供所述喷淋头喷淋；所述喷淋液存储器安装至所述承载器，用于存储待喷淋的喷淋液。
可选的，所述打磨单元包括打磨头和打磨动力马达，其中所述打磨头设置在所述装置块上，用于对所述腔体的内部进行打磨；所述打磨动力马达也设置在装置块上，且所述打磨动力马达的输入端连接至所述控制模块，输出端连接至所述打磨头，用于驱动所述打磨头对腔体内部进行打磨。
可选的，所述保养装置还包括腔体制具，所述轨道突出设置在所述腔体制具的表面，且所述腔体制具包括至少两个腔体制具固定装置，分别设置于所述腔体制具边缘，用于将所述腔体制具固定锁紧到所述腔体的开口处。
可选的，所述腔体制具固定装置包括腔体制具固定块以及腔体制具固定锁，其中所述腔体制具固定块设置于所述腔体制具边缘，用于夹持所述腔体的开口处；所述腔体制具固定锁安装到所述腔体制具固定块，用于将所述腔体制具锁紧到所述腔体的开口处。
上述用于沉积设备腔体的保养装置由于具有形状与需保养的腔体的开口处相适应的轨道以及设置于轨道上的、可沿轨道运动的腔体保养部，通过控制所述腔体保养部在轨道上运动即可实现对腔体的保养，保养过程简单方便。进一步的，由于腔体保养部的保养单元包括擦拭单元、打磨单元和喷淋单元中的一种或多种，能实现擦拭处理、打磨处理和喷淋处理，因此所述保养装置功能齐全。且当所述保养单元同时包括所述擦拭单元、打磨单元和喷淋单元时，三者同时工作时能同时实现对腔体的擦拭处理、打磨处理和喷淋处理，因此所述保养装置还大大节省了人力成本和时间成本。
附图说明
图1为本实用新型一具体实施方式中的用于沉积设备腔体的保养装置的内侧视图。
图2为本实用新型一具体实施方式中的用于沉积设备腔体的保养装置的外侧视图。
图3为本实用新型一具体实施方式中的用于沉积设备腔体的保养装置的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种用于沉积设备腔体的保养装置进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。
请参阅图1为本具体实施方式所述的用于沉积设备腔体的保养装置的内侧视图，所述保养装置包括轨道100，以及设置于所述轨道100上的腔体保养部123。所述轨道100用于固定连接到需保养的腔体119，且所述轨道100的形状与腔体119相适应，使所述腔体保养部123在所述轨道100上运动时能够对所述腔体119进行保养。所述腔体保养部123包括保养单元114，所述保养单元114用于伸入所述腔体119的内部，对所述腔体119的内部进行保养。
在图1所示的具体实施方式中，所述保养单元114包括擦拭单元120、喷淋单元121和打磨单元122，分别用于实现对腔体119的擦拭处理、喷淋处理和打磨处理。在其他的具体实施方式中，所述保养单元114也可只包括擦拭单元120、喷淋单元121和打磨单元122中的一种或几种，用户可以根据需要自行设置。在图1中，喷淋单元121包括121-1、121-2两个部分。
所述腔体保养部123还包括承载器113，所述承载器113设置在轨道100上，可沿轨道100运动，且所述承载器113包括控制模块和运动模块，两者互相连接，所述运动模块设置于所述承载器113底部，用于驱动所述承载器113沿所述轨道100上运动，所述控制模块设置于所述承载器113内部，用于控制所述运动模块。所述保养单元114也安装到所述承载器113，由所述承载器113驱动，沿所述轨道100运动。
由于所述保养单元114在所述轨道100上运动时能够对所述腔体119内部进行保养，因此，可通过设置所述承载器113在所述轨道100上的运动量，控制所述保养单元114对腔体119内部的保养程度。
所述运动模块包括动力马达104和旋转轴承105，其中所述动力马达104连接到所述控制模块，所述旋转轴承105安装到所述动力马达104的输出端，由动力马达104驱动旋转，从而带动所述承载器113在所述轨道100上运动。所述控制模块控制所述动力马达104的输出参数，包括转速、转矩等。
所述承载器113通过设置于所述承载器113底部的承载器固定块110安装到所述轨道100，所述运动模块和记步模块107均安装在所述承载器113底部。其中，所述运动模块设置在所述承载器固定块110底部。在其他的具体实施方式中，所述运动模块也可所述承载器113底部的其他位置。
继续参阅图1，所述承载器113还包括记步模块107，所述记步模块107也连接至所述控制模块，受所述控制模块控制。所述记步模块107用于获取所述承载器113沿所述轨道100已完成的运动量，且所述记步模块107包括记步感应器。
同时参阅图1和图2，其中图2为本具体实施方式所述保养装置的外侧视图，所述腔体保养部123还包括装置块117，用于安装所述保养单元114。所述装置块117通过一旋转轴201安装到所述承载器113，且所述装置块117可绕所述旋转轴201在垂直所述轨道100的平面内进行旋转。通过旋转所述装置块117，可以将保养单元114转入所述腔体119内部或转出所述腔体119内部，从而实现对保养单元114的作用部位的调整。通过所述装置块117的旋转，还可以在需要对保养单元114进行更换维修时将保养单元114转出腔体119内部，便于对保养单元114进行更换维修。
在其他的具体实施方式中，所述装置块117也可通过旋转马达或可旋转机构安装到所述承载器113，用户可根据需要自行设置。
继续参阅图1，所述擦拭单元120包括无尘布承载块106，且所述无尘布承载块106通过支撑杆112安装到所述装置块117。在一种具体实施方式中，所述支撑杆112为弹簧支撑杆，具有弹力，可发生弹性形变。所述装置块117发生转动时，所无尘布承载块106跟随转动。在一种具体实施方式中，所述无尘布承载块106的无尘布安装区域与所述腔体119的待保养区域相适应，使所述擦拭单元120通过无尘布进行擦拭处理时，一直作用在腔体119的待保养区域。
所述喷淋单元121包括喷淋头109、喷淋泵103和所述喷淋液存储器102，三者依次相连。在图1所示的具体实施方式中，两个喷淋头109设置在装置块117上，可跟随装置块117进行旋转。所述喷淋泵103设置在所述承载器113上，并连接至所述控制模块，由所述控制模块控制抽取所述喷淋液存储器102中存储的喷淋液，供所述喷淋头109喷淋，所述喷淋液存储器102安装至所述承载器113，用于存储待喷淋的喷淋液。
在其他的具体实施方式中，喷淋头109的数目可大于两个，但以不超过五个为宜，用户可根据需要以自行设置。在一种具体实施方式中，所述喷淋头109中设置有加压装置，喷淋液经由所述加压装置加压后从喷淋头109喷射出来。
在一种具体实施方式中，所述喷淋头109、喷淋泵103和喷淋液存储器102均通过喷淋管101相连接。在一种具体实施方式中，所述喷淋管101为柔性管，且所述喷淋管101的内壁不会与所述喷淋液发生反应。
所述喷淋液存储器102为化学品瓶，用于存放喷淋用的喷淋液。所述化学品瓶设置于承载器113上。在其他的具体实施方式中，所述喷淋液存储器102还包括烧杯、烧瓶等。在一种具体实施方式中，所述承载器113的上表面设置有适配于喷淋液存储器102的固定装置，所述喷淋液存储器102安装到所述固定装置，并由所述喷淋液存储器102固定，使所述喷淋液存储器102在跟随承载器113在轨道100上运动时不会脱离所述承载器113的上表面。在一种具体实施方式中，所述固定装置包括尼龙带扣，将所述化学品瓶绑束在所述承载器113上。
所述打磨单元121包括打磨头111和打磨头动力马达，两者相互连接，所述打磨头动力马达连接到控制模块，并在所述控制模块的控制下驱动所述打磨头111对腔体119的内部进行打磨处理。在图1所示的具体实施方式中，所述打磨头111的数目为两个，且所述两个打磨头111并排设置在所述装置块117上，通过调整装置块117的位置来调整所述打磨头111的位置。所述打磨头111面向腔体119设置，对所述腔体119进行打磨处理。在另一种具体实施方式中，所述打磨头111的数目不超过四个，用户可根据需要以及装置块117的尺寸自行设置。
继续参阅图2，每一打磨头都对应连接有一打磨动力马达203。所述打磨动力马达203和打磨头分别设置于所述装置块202两侧，所述装置块202通过旋转马达201安装到所述承载器204，使所述装置块204相对于承载器可旋转204。
继续参阅图1，所述保养装置还包括腔体制具116，且所述轨道100突出设置在腔体制具116的上表面，所述腔体制具116包括至少两个腔体制具固定装置，设置于所述腔体制具116的边缘，用于将所述腔体制具116固定安装到需保养的腔体119的开口处。
所述腔体制具固定装置包括腔体制具固定块115和腔体制具固定锁108。其中所述腔体制具固定块115设置于所述腔体制具116的边缘，用于夹持需进行保养的腔体119的开口处。所述腔体制具固定锁108安装到所述腔体制具固定块115，用于将所述腔体制具锁紧到所述腔体119的开口处，使两者之间无相对移动。
所述腔体制具固定装置还包括腔体制具固定垫片118，设置于腔体制具固定块115面向腔体119开口的一侧，用于防止所述腔体制具固定块115锁紧到腔体119时对腔体119造成损伤。
在一种具体实施方式中，所述腔体制具固定锁108为锁紧螺母，所述腔体制具固定块115上设置有贯穿所述腔体制具固定块115的螺孔，螺孔内壁设置有螺纹，与所述锁紧螺母上设置的螺纹相匹配。在将所述腔体制具固定锁108安装到所述腔体制具固定块115中时，所述锁紧螺母被安装到所述螺孔中，通过控制锁紧螺母的旋进量，实现对所述腔体制具固定块115的锁紧。
在其他的具体实施方式中，所述腔体制具固定锁108也可以是其他锁紧装置，用户可以根据实际需要自行设置。
在其他的具体实施方式中，所述腔体制具固定装置的数目可根据需要自行设置，以不超过六个为宜，且多个腔体制具固定装置的排布方式由用户根据需要确定。
在其他的具体实施方式中，通过轨道100将整个保养装置安装到所述腔体119上时，可以通过在所述轨道100的侧面设置安装单元将所述轨道100安装到所述需保养的腔体119的开口处。
请参阅图3为本具体实施方式所述保养装置的俯视图，所述腔体制具301上设置有轨道302、腔体制具固定块303、腔体制具固定锁304以及喷淋液承载槽308。所述喷淋承载槽308中存放有待喷淋的喷淋液。所述轨道302的形状与腔体相适应，使得设置在所述轨道302上的承载器305所安装的腔体保养部在跟随所述承载器305运动、工作的过程中，总是作用于所述腔体119内部的待保养区域。
所述承载器305设置在所述轨道302中，且所述承载器305还包括设置在所述承载器305上表面的显示模块306和三个控制按钮307。所述显示模块306和控制按钮307均与所述控制模块相连接。在一种具体实施方式中，所述显示模块306用于显示所述承载器305沿所述轨道302已完成的运动量，以及显示所述承载器305在所述轨道302上被设定的运动量。在一种具体实施方式中，所述显示模块306显示的是经所述控制模块转化成圈数的运动量。所述的显示模块306为LCD屏幕或LED屏幕，用户可根据需要自行选择配置。
在一种具体实施方式中，所述的控制按钮307用于供用户设定所述承载器305沿所述轨道302运动的运动量，并用于控制所述承载器305的运动状态。例如用户通过所述控制按钮307设定所述承载器305在轨道302上运动的圈数为6圈，则所述承载器305会在所述轨道302上运动6圈，且用户通过点按控制按钮307，控制所述承载器305开始运动或停止运动。
在一种具体实施方式中，控制按钮307的功能可通过设置不同的颜色进行区分。如设置三个控制按钮307分别为红色、黑色和绿色，并设定黑色控制按钮用于进行运动量的设置，红色控制按钮用于停止运动，绿色控制按钮用于开始运动。在其他的具体实施方式中，也可以通过在控制按钮307上贴功能标签实现功能的区分，用户可根据实际需要自行设置。
在一种具体实施方式中，在使用所述保养装置时，包括如下使用步骤：
(1)将所述设置有轨道的腔体制具安装到需要进行保养的腔体上，并通过所述腔体制具固定装置将所述腔体制具固定锁紧到腔体，使腔体制具与腔体之间无相对位移。
(2)将喷淋存储装置安装到承载器，在一种具体实施方式中，所述喷淋液存储器设置在所述承载器的上表面，被所述承载器上表面设置的固定装置所固定，使所述喷淋液存储器相对于承载器不发生相对位移。
(3)将连接到喷淋泵的喷淋管的另一端放置到所述喷淋液存储器中，完成喷淋单元的安装。
(4)将装置块安装到所述承载器，并调整所述擦拭单元、打磨单元和喷淋单元与腔体之间的相对位置，并将无尘布安装到所述无尘布承载块。
(5)设定所述承载器在轨道上运行的圈数，进行喷淋、打磨、擦拭处理。
当所述保养单元同时包括喷淋单元、打磨单元和擦拭单元时，由于喷淋头和打磨头均设置于所述装置块上，因此，可通过控制所述装置块的位置，控制所述喷淋单元、打磨单元和擦拭单元全部作用于所述腔体内部的待保养区域。通过所述控制模块对所述喷淋泵、打磨头的工作状态进行控制。
此外，还可通过支撑杆调整所述无尘布承载块上安装的无尘布擦拭的位置。
在其他的具体实施方式中，所述喷淋单元、打磨单元和擦拭单元也可设置为分别单独工作，或任意两两组合工作。
在完成对腔体的保养后，用户通过装置块上的旋转轴将装置块转起，并松开所述腔体制具固定装置，从而移除所述自动腔体擦拭设备。
上述用于沉积设备腔体的保养装置由于具有形状与需保养的腔体的开口处相适应的轨道以及设置于轨道上的、可沿轨道运动的腔体保养部，通过控制所述腔体保养部在轨道上运动即可实现对腔体的保养，保养过程简单方便。进一步的，由于腔体保养部的保养单元包括擦拭单元、打磨单元和喷淋单元中的一种或多种，能实现擦拭处理、打磨处理和喷淋处理，因此所述保养装置功能齐全。且当所述保养单元同时包括所述擦拭单元、打磨单元和喷淋单元时，三者同时工作时能同时实现对腔体的擦拭处理、打磨处理和喷淋处理，因此所述保养装置还大大节省了人力成本和时间成本。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
