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一种单晶炉炉体

2021-03-30 11:20:16

一种单晶炉炉体

  技术领域

  本实用新型涉及单晶炉领域,具体涉及一种单晶炉炉体。

  背景技术

  单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。由于单晶炉炉体非常重要,在使用中需要避免发生损伤,并且在炉内温度很高的情况下,是禁止从加料头加料的,而目前的进料头大多为开放式结构,存在着误操作的风险。

  实用新型内容

  鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种单晶炉炉体,不仅对单晶炉炉体起到了保护和冷却的作用,还进一步降低了误操作的风险。

  根据本实用新型实施例提供的技术方案,一种单晶炉炉体,包括加料头,所述加料头设置在炉体的上方中部,所述炉体的底部设有开口,所述加料头的顶部焊接有法兰盘a,所述加料头的上方通过螺杆和螺母固定有安全加料器,所述安全加料器的上方为大口加料部,所述大口加料部的直径大于所述加料头的直径,且所述大口加料部的下方侧面呈倾斜结构,所述安全加料器的下方为通料管,所述通料管的前侧安装有附加阀门,所述炉体的侧面为炉壁,所述炉壁的上下方均设有固定块,所述固定块的外侧通过螺栓安装有外防护套,所述外防护套的上下方设有与所述固定块相匹配的安装块,所述安装块的直径大于所述固定块的直径,所述外防护套的中部为护套,所述护套的内表面与所述炉壁的外表面相接触,所述护套的内侧设有冷却液储存室,所述护套的侧面为防护壁,所述护套的左上方设有注液头,所述护套的右下侧设有出液头,所述出液头的右侧和所述注液头的上方均螺接有密封盖,所述密封盖的外侧表面设有若干防滑凸起,所述密封盖的内侧设有卡槽,所述卡槽的内侧卡装有密封圈,所述护套的上方中部螺接有温度计,所述温度计的上方为标度盘。

  本实用新型中,所述加料头、所述固定块和所述炉体之间为一体成型式结构,所述炉体的直径大于所述加料头的直径。

  本实用新型中,所述安全加料器位于所述温度计的上方,所述通料管的底部焊接有与所述法兰盘a相对应的法兰盘b。

  本实用新型中,所述附加阀门的前侧为手轮,所述附加阀门位于所述加料头的上方,所述固定块的表面设有与所述螺栓相契合的螺纹槽。

  本实用新型中,所述外防护套的直径大于所述炉体的直径,所述安装块、所述注液头、所述出液头和所述外防护套之间为一体成型式结构。

  本实用新型中,所述安装块的直径小于所述护套的直径,左上方所述密封盖位于上方所述安装块的上方。

  本实用新型中,所述密封圈为金属材质,所述温度计的下方为套管,所述套管的外侧焊接有固定螺帽。

  综上所述,本实用新型的有益效果:通过外防护套的设置,不仅对单晶炉炉体起到了保护作用,还能够对炉体进行冷却,同时通过安全加料器和附加阀门的配合设置,进一步降低了误操作的风险。

  附图说明

  通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

  图1为本实用新型的结构示意图;

  图2为本实用新型外防护套和温度计连接处的俯视结构示意图;

  图3为本实用新型炉体的结构示意图;

  图4为本实用新型密封盖和密封圈连接处的结构示意图。

  图中标号:1、加料头;2、炉体;3、安全加料器;4、附加阀门;5、固定块;6、外防护套;7、安装块;8、注液头;9、出液头;10、密封圈;11、温度计。

  具体实施方式

  下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。

  需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

  请参考图1、图2、图3和图4,一种单晶炉炉体,包括加料头1,所述加料头1设置在炉体2的上方中部,所述炉体2的底部设有开口,所述加料头1的顶部焊接有法兰盘a,所述加料头1的上方通过螺杆和螺母固定有安全加料器3,所述安全加料器3的上方为大口加料部,所述大口加料部的直径大于所述加料头1的直径,且所述大口加料部的下方侧面呈倾斜结构,所述安全加料器3的下方为通料管,所述通料管的前侧安装有附加阀门4,所述炉体2的侧面为炉壁,所述炉壁的上下方均设有固定块5,所述固定块5的外侧通过螺栓安装有外防护套6,所述外防护套6的上下方设有与所述固定块5相匹配的安装块7,所述安装块7的直径大于所述固定块5的直径,所述外防护套6的中部为护套,所述护套的内表面与所述炉壁的外表面相接触,所述护套的内侧设有冷却液储存室,所述护套的侧面为防护壁,所述护套的左上方设有注液头8,所述护套的右下侧设有出液头9,所述出液头9的右侧和所述注液头8的上方均螺接有密封盖,所述密封盖的外侧表面设有若干防滑凸起,所述密封盖的内侧设有卡槽,所述卡槽的内侧卡装有密封圈10,所述护套的上方中部螺接有温度计11,所述温度计11的上方为标度盘。

  如图1、图2和图3所示,所述加料头1、所述固定块5和所述炉体2之间为一体成型式结构,所述炉体2的直径大于所述加料头1的直径。所述安全加料器3位于所述温度计11的上方,所述通料管的底部焊接有与所述法兰盘a相对应的法兰盘b。

  如图1图2和图3所示,所述附加阀门4的前侧为手轮,所述附加阀门4位于所述加料头1的上方,所述固定块5的表面设有与所述螺栓相契合的螺纹槽。所述外防护套6的直径大于所述炉体2的直径,所述安装块7、所述注液头8、所述出液头9和所述外防护套6之间为一体成型式结构,外防护套6可对炉体2起保护和冷却的作用。

  如图1、图2和图4所示,所述安装块7的直径小于所述护套的直径,左上方所述密封盖位于上方所述安装块7的上方。所述密封圈10为金属材质,所述温度计11的下方为套管,所述套管的外侧焊接有固定螺帽,温度计11可以实时测量冷却液的温度。

  实施例1:加料头1设置在炉体2的上方中部,且之间为一体成型式结构,安全加料器3通过螺杆和螺母固定在加料头1的上方,附加阀门4安装在通料管的前侧,固定块5设置在炉壁的上下方,且之间为一体成型式结构,外防护套6通过螺栓安装在固定块5的外侧,安装块7设置在外防护套6的上下方,且之间为一体成型式结构,注液头8设置在护套的左上方,出液头9设置在护套的右下侧,且之间为一体成型式结构,密封圈10卡装在卡槽的内侧,温度计11螺接在护套的上方中部。

  实施例2:首先打开左上方的密封盖,通过注液头8往冷却液储存室内注入冷却液,打开附加阀门4,通过安全加料器3对炉体2进行加料,由于安全加料器3的上方为大口加料部,方便了加料工作,然后关闭附加阀门4,当炉体2工作时,外防护套6可对炉体2起到保护作用,可有效阻挡其它物体从外侧对炉体2造成损伤,同时当炉体2的温度较高时,由于附加阀门4处于关闭状态,与传统的开放式结构相比,会进一步阻挡物料的加入,降低了误操作的风险,同时冷却液储存室内储存的冷却液会对炉体2进行冷却,由于温度计11的安装,可以实时的观察冷却液的温度,从而方便了冷却液的及时更换。

  以上描述仅为本实用新型的较佳实施例以及对所运用技术原理等方案的说明。同时,本实用新型中所涉及的发明范围,并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案,同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下,由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本实用新型中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

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