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一种单晶炉导流筒防沉积结构

2021-03-02 21:24:34

一种单晶炉导流筒防沉积结构

  技术领域

  本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉导流筒防沉积结构。

  背景技术

  单晶炉是在惰性气体(氩气)环境下,用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化,在特定温度区域内采用软籽晶轴提升旋转机构,对原籽晶进行匀速旋转提升,于此同时坩埚随着单晶的生长匀速旋转提升,实现生长成无位错单晶硅棒。

  单晶炉工作前通过导流筒添加软籽晶轴进入节能坩埚过的过程中,会有软籽晶轴残留在导流筒中,在单晶炉的温度变化时会导致其原料的融化,并最终残留在导流管中。

  针对软籽晶轴在导流筒中的残留的清理,现今的清理方式多人工手动去清理,该种清理方式,不仅效率低下,且在清理过程中面对粘连在导流筒内壁上粘黏稳固的软籽晶轴无法实现较为良好的清洁方式。

  实用新型内容

  本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构,其通过设置转动接口机构实现下部转动管与上部固定管的相对转动的过程,通过设置动力蜗杆机构为下部转动杆提供转动动力,实现下部转动管的固定转速的转动。

  为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

  一种单晶炉导流筒防沉积结构,包括单晶炉,所述单晶炉内侧壁固定连接有加热器,所述加热器上设有节能坩埚,所述单晶炉的上端面固定连接有保温衬套,所述保温衬套的上端面设有保温大盖板,所述保温衬套的上端面卡接有分段式导流筒,所述分段式导流筒包括上部固定管与下部转动管,所述下部转动管与上部固定管之间设有用于实现下部转动管转动的转动接口机构,所述下部转动管上的外侧壁上设有用于为下部转动管旋转提供动力的动力蜗杆机构,所述分段式导流筒中设有用于清理沉积物的自热清理机构。

  优选地,所述转动接口机构包括固定连接在上部固定管下端面上的旋转管,所述下部转动管的上端面上固定连接有运动齿轮,所述运动齿轮与旋转管之间设有旋转轴承。

  优选地,所述动力蜗杆机构包括与运动齿轮啮合连接的传动蜗杆,所述传动蜗杆转动连接在保温衬套的内壁上,所述单晶炉的上端面上固定连接有动力电机,所述动力电机的转动轴末端固定连接在传动蜗杆上。

  优选地,所述自热清理机构包括固定连接在保温大盖板上端面上的固定杆,所述固定杆末端固定连接有楔形清理块,所述楔形清理块中设有通电块,所述楔形清理块上固定连接有加热清理刀头,所述通电块通过导线连接加热清理刀头。

  优选地,所述固定杆为与保温大盖板之间为可拆卸连接。

  优选地,所述加热清理刀头上设有隔热金属层。

  本实用新型与现有技术相比,其有益效果为:

  1、通过设置转动接口机构实现下部转动管与上部固定管的相对转动,实现对与分段式道理管清理过程提供转动动力。

  2、通过设置动力蜗杆机构为下部转动杆提供转动动力,实现下部转动管固定转速的转动。

  3、通过设置自热清理机构实现对导流筒的清理与加热融化固定在导流筒中的投料。

  附图说明

  图1为本实用新型提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构的结构主视示意图;

  图2为本实用新型提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构的俯视示意图;

  图3为本实用新型提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构的楔形清理块示意图;

  图4为本实用新型提出的一种单晶炉导流筒防沉积结构的A处机构放大示意图。

  图中:1单晶炉、2加热器、3坩埚、4保温衬套、5楔形清理块、6固定杆、7旋转管、8传动蜗杆、9动力电机、10通电块、11保温大盖板、12加热清理刀头、13下部转动管、14上部固定管、15运动齿轮。

  具体实施方式

  为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进,因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

  需要说明的是,当元件被称为“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。

  参照图1-4,一种单晶炉导流筒防沉积结构,包括单晶炉1,单晶炉1内侧壁固定连接有加热器2,加热器2上设有节能坩埚3,单晶炉1的上端面固定连接有保温衬套4,保温衬套4的上端面设有保温大盖板11,保温衬套4的上端面卡接有分段式导流筒,分段式导流筒包括上部固定管14与下部转动管13,下部转动管13与上部固定管14之间设有用于实现下部转动管13转动的转动接口机构,下部转动管13上的外侧壁上设有用于为下部转动管13旋转提供动力的动力蜗杆机构,分段式导流筒中设有用于清理沉积物的自热清理机构。

  本实用新型中,转动接口机构包括固定连接在上部固定管14下端面上的旋转管7,下部转动管13的上端面上固定连接有运动齿轮15,运动齿轮15与旋转管7之间设有旋转轴承,通过设置转动接口机构实现下部转动管13与上部固定管14相对转动的过程。

  动力蜗杆机构包括与运动齿轮15啮合连接的传动蜗杆8,传动蜗杆8转动连接在保温衬套4的内壁上,单晶炉1的上端面上固定连接有动力电机9,动力电机9的转动轴末端固定连接在传动蜗杆8上,通过设置动力蜗杆机构为下部转动管13提供转动动力,实现下部转动管13固定转速的转动。

  自热清理机构包括固定连接在保温大盖板11上端面上的固定杆6,固定杆6末端固定连接有楔形清理块5,楔形清理块5中设有通电块10,楔形清理块5上固定连接有加热清理刀头12,通电块10通过导线连接加热清理刀头12,通过设置自热清理机构实现对导流筒的清理与加热融化固定在导流筒中的投料。

  固定杆6为与保温大盖板11之间为可拆卸连接,加热清理刀头12上设有隔热金属层,通过设置隔热金属层实现对导流筒的保护。

  本实用新型使用时,首先如图1所示,通过分段式导流筒将原料倒入单晶炉1上的坩埚3内,通过加热器2实现对原料的加热熔融,当需要清理分段式导流筒上的凝结成块的原料时,首先通过开启动力电机9,动力电机9的传动轴带动末端固定连接的传动蜗杆8转动,传动蜗杆8的末端转动连接在保温衬套4的内侧壁上,传动蜗杆8通过啮合连接运动齿轮15,通过旋转管7上轴承的作用带动下部转动管13的转动,此时在固定在保温大盖板11上的固定杆6的作用下实现楔形清理块5对分段式导流管的上部固定管14与下部转动管13的清理,此时通过通电块10对加热清理刀头12进行供电实现加热清理刀头12的发热,实现凝结成型的原料进行加热融化并清理的过程。

  以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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