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一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置

2021-03-03 16:40:39

一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置

  技术领域

  本实用新型涉及单晶硅技术领域,具体为一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置。

  背景技术

  硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

  目前热能回收利用装置在进行热量回收的时候,部分高温热量还是发散到设备外部,致使外部温度升高,如果工作人员长时间在这种环境内工作,会引发身体不良反应,为了解决上述问题我们提出了一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置。

  实用新型内容

  (一)解决的技术问题

  针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,具备减少生产热量对外部环境的影响等优点,解决了目前热能回收利用装置在进行热量回收的时候,部分高温热量还是发散到设备外部,致使外部温度升高,如果工作人员长时间在这种环境内工作,会引发身体不良反应的问题。

  (二)技术方案

  为实现上述减少生产热量对外部环境的影响目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,包括圆筒,所述圆筒的顶部固定安装有支撑架,所述支撑架的内部固定安装有圆台体,所述圆台体的顶部固定安装有散热板,所述散热板的顶部固定安装有散热装置,所述支撑架的内部固定安装有导轨,所述导轨的内部固定安装有滑轮,所述导轨的内部活动安装有与滑轮铰接的侧板,所述侧板远离圆台体的一端固定安装有水箱,所述水箱的顶部固定安装有单向阀,所述支撑架的顶部固定安装有与水箱连通的出气管,所述出气管与单向阀之间固定连接有回流管,所述水箱与圆台体相背的一侧固定安装有进水管,所述散热装置的外侧壁活动安装有散热架。

  优选的,所述支撑架为四脚支架,所述圆台体位于支撑架中心线上。

  优选的,所述圆台体包括圆台、加热板和温差发电片,所述圆台的内部开设有通孔,所述圆台的顶部固定安装有位于通孔上方的加热板,所述加热板的顶部固定安装有温差发电片。

  优选的,所述散热装置包括套筒、电机和散热风扇,所述散热板的顶部固定安装有套筒,所述套筒的内部固定安装有电机,所述电机输出轴的外侧壁套接有散热风扇。

  优选的,所述导轨有八个,且导轨均匀分布在支撑架外侧壁,所述侧板有四个,且侧板位于相对两个导轨之间。

  优选的,所述散热架包括套环、支杆、安装环和扇叶,所述电机输出轴的外侧壁固定安装有套环,所述套环的外侧壁固定安装有数量为四个的支杆,所述支杆远离套环的一端固定安装有与套筒滑动连接的安装环,所述安装环的外侧壁固定安装有数量为四个的扇叶。

  (三)有益效果

  与现有技术相比,本实用新型提供了一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,具备以下有益效果:

  该单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,通过设置支撑架,在进行热量回收的时候,工作人员先将侧板绕着滑轮转动至与导轨平行的位置,再缓慢的放下侧板,直至滑轮抵住导轨,然后由进水管向水箱内注入一定量的水,由于高温空气与侧板接触,内部的热量由侧板传递到水箱水内,水被蒸发成蒸汽通过出气管传输出水箱内,在装置吸收热量的同时,散热架随着散热装置一起转动,对流动到支撑架上出气管的蒸汽进行冷却呈水珠,并沿着回流管流入到水箱内,通过这样的方式,将从支撑架内溢出的部分高温热量进行吸收,避免直接流出造成外部温度升高,达到了减少生产热量对外部环境的影响。

  附图说明

  图1为本实用新型结构主视图;

  图2为本实用新型A处结构放大图。

  图中:1圆筒、2支撑架、3圆台体、4散热板、5散热装置、6导轨、7滑轮、8侧板、9水箱、10单向阀、11出气管、12回流管、13进水管、14散热架、141套环、142支杆、143安装环、144扇叶。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  请参阅图1-2,一种单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,包括圆筒1,圆筒1的顶部固定安装有支撑架2,支撑架2为四脚支架,圆台体3位于支撑架2中心线上,支撑架2的内部固定安装有圆台体3,圆台体3包括圆台、加热板和温差发电片,圆台的内部开设有通孔,圆台的顶部固定安装有位于通孔上方的加热板,加热板的顶部固定安装有温差发电片,圆台体3的顶部固定安装有散热板4,散热板4的顶部固定安装有散热装置5,散热装置5包括套筒、电机和散热风扇,散热板4的顶部固定安装有套筒,套筒的内部固定安装有电机,电机输出轴的外侧壁套接有散热风扇,支撑架2的内部固定安装有导轨6,导轨6有八个,且导轨6均匀分布在支撑架2外侧壁,侧板8有四个,且侧板8位于相对两个导轨6之间,导轨6的内部固定安装有滑轮7,导轨6的内部活动安装有与滑轮7铰接的侧板8,侧板8远离圆台体3的一端固定安装有水箱9,水箱9的顶部固定安装有单向阀10,支撑架2的顶部固定安装有与水箱9连通的出气管11,出气管11与单向阀10之间固定连接有回流管12,水箱9与圆台体3相背的一侧固定安装有进水管13,散热装置5的外侧壁活动安装有散热架14,散热架14包括套环141、支杆142、安装环143和扇叶144,电机输出轴的外侧壁固定安装有套环141,套环141的外侧壁固定安装有数量为四个的支杆142,支杆142远离套环141的一端固定安装有与套筒滑动连接的安装环143,安装环143的外侧壁固定安装有数量为四个的扇叶144,通过设置支撑架2,在进行热量回收的时候,工作人员先将侧板8绕着滑轮7转动至与导轨6平行的位置,再缓慢的放下侧板8,直至滑轮7抵住导轨6,然后由进水管13向水箱9内注入一定量的水,由于高温空气与侧板8接触,内部的热量由侧板8传递到水箱9水内,水被蒸发成蒸汽通过出气管11传输出水箱9内,在装置吸收热量的同时,散热架14随着散热装置5一起转动,对流动到支撑架2上出气管11的蒸汽进行冷却呈水珠,并沿着回流管12流入到水箱9内,通过这样的方式,将从支撑架2内溢出的部分高温热量进行吸收,避免直接流出造成外部温度升高,达到了减少生产热量对外部环境的影响。

  综上所述,该单晶硅生长炉热场阶段的热能回收利用装置,通过设置支撑架2,在进行热量回收的时候,工作人员先将侧板8绕着滑轮7转动至与导轨6平行的位置,再缓慢的放下侧板8,直至滑轮7抵住导轨6,然后由进水管13向水箱9内注入一定量的水,由于高温空气与侧板8接触,内部的热量由侧板8传递到水箱9水内,水被蒸发成蒸汽通过出气管11传输出水箱9内,在装置吸收热量的同时,散热架14随着散热装置5一起转动,对流动到支撑架2上出气管11的蒸汽进行冷却呈水珠,并沿着回流管12流入到水箱9内,通过这样的方式,将从支撑架2内溢出的部分高温热量进行吸收,避免直接流出造成外部温度升高,达到了减少生产热量对外部环境的影响,解决了目前热能回收利用装置在进行热量回收的时候,部分高温热量还是发散到设备外部,致使外部温度升高,如果工作人员长时间在这种环境内工作,会引发身体不良反应的问题。

  需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

  尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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