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洗槽剂及其制备方法与应用

2021-03-31 15:29:22

洗槽剂及其制备方法与应用

  技术领域

  本发明涉及清洗剂技术领域,特别涉及一种洗槽剂及其制备方法与应用。

  背景技术

  传统的触摸屏黄光工艺包含压膜、曝光、显影、蚀刻、剥膜等工序,而在显影工艺流程及剥膜工艺流程中,需使用显影液和剥膜液对触摸屏上的干膜进行溶解,显影液和剥膜液中一般含有大量的碳酸根离子,其与水中钙镁离子结合时易生成沉淀,同时,由于干膜的主要成分包括粘结剂、单体、光引发剂、染料、增塑剂、增粘剂等,而其中大部分的成分都是疏水性质的,在设备的长期使用过程中,溶解于显影液和剥膜液中的大量疏水性物质可能会一定程度的析出,一旦析出,则容易凝结形成干膜团聚物,在此情况下,上述沉淀及干膜团聚物会附着在槽壁、管路及喷嘴等地方,影响设备性能及寿命。

  常规的清洁方式是采用酸性的清洗剂去去除碳酸类沉淀物,但是很难将顽固的干膜团聚物清洁干净,所以经常会出现洗槽后显影不尽,从而出现铜残留及功能不良等问题。

  发明内容

  本发明的目的在于提供一种洗槽剂及其制备方法与应用,不仅可以清除碳酸类沉淀物,还可以使干膜团聚物破团溶解并充分分散,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  本申请所述洗槽剂用于清洗显影槽及剥膜槽,所述洗槽剂包括以下组分:无机酸、表面活性剂、有机溶剂、增溶剂和水。使用本申请所述洗槽剂进行清洗作业时,不仅可以清除所述碳酸类沉淀物,还可以使所述干膜团聚物破团溶解并充分分散,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  一种实施方式中,所述表面活性剂的重量占所述洗槽剂总重量的1%~10%。当所述表面活性剂的重量占比在1%~10%范围内时,既能有效溶解所述干膜团聚物,又能控制药剂用量节省药剂成本。

  一种实施方式中,所述有机溶剂的重量占所述洗槽剂总重量的15%~25%。当所述有机溶剂的重量占比在15%~25%范围内时,所述有机溶剂能够对所述干膜团聚物中的有机成分起到良好的溶解作用。

  一种实施方式中,所述无机酸的重量占所述洗槽剂总重量的15%~25%,所述增溶剂的重量占所述洗槽剂总重量的1%~10%,余量为水。当采用上述药剂占比时,能够有效配制所述洗槽剂,并使所述洗槽剂具有良好的清洗效果。

  一种实施方式中,所述无机酸的重量占所述洗槽剂总重量的22%~25%,所述表面活性剂的重量占所述洗槽剂总重量的8%~10%,所述有机溶剂的重量占所述洗槽剂总重量的22%~25%,所述增溶剂的重量占所述洗槽剂总重量的8%~10%,余量为水。当所述洗槽剂使用上述药剂占比进行配制时,所述洗槽剂具有更好的清洗效果,后续工艺中不会出现显影不尽的问题,使得铜残留的量较少。

  一种实施方式中,所述无机酸为盐酸和硫酸中的至少一种。所述无机酸采用盐酸和硫酸中的至少一种,即能满足相应功能需求,并且盐酸和硫酸的获取途径较为简单且成本较低。

  一种实施方式中,所述表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、烷基苯磺酸钠和四聚丙烯苯磺酸钠中的至少一种。当所述表面活性剂为上述药剂的至少一种时,能够使得所述洗槽剂具有良好的清洗效果。

  一种实施方式中,所述有机溶剂为乙醇,所述增溶剂为乙二酸类化合物。当所述有机溶剂为乙醇时,能够对大部分有机物起到良好的溶解效果,同时,乙醇的获取途径较为简单且成本较低;当所述增溶剂为乙二酸类化合物时,所述洗槽剂对所述干膜团聚物有着更好的增溶效果。

  本申请所述的上述任一洗槽剂的制备方法,包括以下步骤:按照配比称取无机酸、表面活性剂、有机溶剂、增溶剂、和水混合均匀即得。使用本申请所述制备方法制备出的洗槽剂不仅可以清除所述碳酸类沉淀物,还可以使所述干膜团聚物破团溶解并充分分散,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  本申请所述的上述任一项洗槽剂在显影槽及剥膜槽清洗中的应用。将所述洗槽剂应用于所述显影槽及所述剥膜槽的清洗作业中,能够有效清除所述显影槽及所述剥膜槽内附着的所述碳酸类沉淀物及所述干膜团聚物,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  附图说明

  为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

  图1是未经本申请实施例提供的洗槽剂清洗的槽内滚轮示意图。

  图2是经本申请实施例提供的洗槽剂清洗后的槽内滚轮示意图。

  具体实施方式

  下面将结合实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

  在本发明的描述中,需要说明的是,本说明书中用“~”表示的数值范围是指将“~”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中,结构相似或相同的单元用相同的标号表示。

  本申请实施例提供的洗槽剂用于清洗显影槽及剥膜槽,洗槽剂包括以下组分:无机酸、表面活性剂、有机溶剂、增溶剂和水。使用本申请实施例提供的洗槽剂进行清洗作业时,不仅可以清除碳酸类沉淀物,还可以使干膜团聚物破团溶解并充分分散,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  其中,无机酸为盐酸和硫酸中的至少一种,表面活性剂为磺酸根类化合物,表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、烷基苯磺酸钠和四聚丙烯苯磺酸钠中的至少一种,有机溶剂为乙醇,增溶剂为乙二酸类化合物。

  实施例1

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸15%、十二烷基苯磺酸钠1%、乙醇15%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例2

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸18%、十二烷基苯磺酸钠3%、乙醇20%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例3

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸20%、烷基苯磺酸钠5%、乙醇22%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例4

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇22%、乙二酸类化合物类8%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例5

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸25%、四聚丙烯苯磺酸钠10%、乙醇25%、乙二酸类化合物类10%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例6

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸15%、十二烷基苯磺酸钠5%、乙醇15%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例7

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸18%、烷基苯磺酸钠3%、乙醇17%、乙二酸类化合物类3%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例8

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸20%、十二烷基苯磺酸钠7%、乙醇20%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例9

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇20%、乙二酸类化合物类7%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例10

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸25%、四聚丙烯苯磺酸钠9%、乙醇22%、乙二酸类化合物类9%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例11

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸15%、十二烷基苯磺酸钠1%、乙醇16%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例12

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸18%、烷基苯磺酸钠3%、乙醇18%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例13

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸20%、十二烷基苯磺酸钠5%、乙醇21%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例14

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇23%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例15

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸25%、四聚丙烯苯磺酸钠10%、乙醇24%、乙二酸类化合物类10%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例16

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸15%、十二烷基苯磺酸钠5%、乙醇15%、乙二酸类化合物类3%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例17

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸18%、烷基苯磺酸钠3%、乙醇15%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例18

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸20%、四聚丙烯苯磺酸钠7%、乙醇15%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例19

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸22%、四聚丙烯苯磺酸钠8%、乙醇25%、乙二酸类化合物类7%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例20

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸25%、十二烷基苯磺酸钠10%、乙醇22%、乙二酸类化合物类9%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例21

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸15%、烷基苯磺酸钠1%、乙醇16%、乙二酸类化合物类2%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例22

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸18%、十二烷基苯磺酸钠3%、乙醇15%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例23

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸20%、四聚丙烯苯磺酸钠5%、乙醇15%、乙二酸类化合物类6%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例24

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇21%、乙二酸类化合物类8%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例25

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸25%、烷基苯磺酸钠10%、乙醇25%、乙二酸类化合物类8%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例26

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸15%、十二烷基苯磺酸钠5%、乙醇15%、乙二酸类化合物类4%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例27

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸18%、四聚丙烯苯磺酸钠3%、乙醇20%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例28

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸20%、烷基苯磺酸钠7%、乙醇20%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例29

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇20%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例30

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸25%、十二烷基苯磺酸钠10%、乙醇20%、乙二酸类化合物类10%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例31

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸15%、烷基苯磺酸钠1%、乙醇15%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例32

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸18%、十二烷基苯磺酸钠3%、乙醇20%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例33

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸20%、四聚丙烯苯磺酸钠5%、乙醇22%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例34

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸22%、十二烷基苯磺酸钠8%、乙醇20%、乙二酸类化合物类9%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例35

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:盐酸25%、烷基苯磺酸钠10%、乙醇25%、乙二酸类化合物类10%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例36

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸15%、四聚丙烯苯磺酸钠5%、乙醇15%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例37

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸18%、十二烷基苯磺酸钠1%+烷基苯磺酸钠2%、乙醇18%、乙二酸类化合物类1%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例38

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸20%、十二烷基苯磺酸钠2%+四聚丙烯苯磺酸钠5%、乙醇20%、乙二酸类化合物类5%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例39

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸22%、烷基苯磺酸钠7%+四聚丙烯苯磺酸钠1%、乙醇22%、乙二酸类化合物类8%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  实施例40

  本申请实施例提供的洗槽剂的成分及重量占比为:硫酸25%、十二烷基苯磺酸钠3%+四聚丙烯苯磺酸钠2%+烷基苯磺酸钠4%、乙醇25%、乙二酸类化合物类10%和水占余量,按配比称取并均匀混合得到洗槽剂。

  通过上述实施例提供的洗槽剂对显影槽及剥膜槽进行清洗,在清洗后继续进行黄光工艺流程,通过测量待加工产品上铜残留量来判断是否进行了有效清洗,铜残留量越低,说明在工艺流程中沉淀和干膜团聚物的附着量越小,也就表明清洗效果越好。

  通过分析可得,当洗槽剂的成分及重量占比为:无机酸15%~20%、表面活性剂1%~5%、有机溶剂15%~20%、增溶剂1%~5%和水占余量,得到待加工产品上的铜残留量为1.5%。

  当洗槽剂的成分及重量占比为:无机酸20%~22%、表面活性剂5%~8%、有机溶剂20%~22%、增溶剂5%~8%和水占余量,得到待加工产品上的铜残留量为0.7%。

  当洗槽剂的成分及重量占比为:无机酸22%~25%、表面活性剂8%~10%、有机溶剂20%~25%、增溶剂8%~10%和水占余量,得到待加工产品上的铜残留量为0.4%。

  其中,无机酸的存在能够有效调控洗槽剂的pH值,调节在清洗作业中洗槽剂所处环境的酸碱度,使洗槽剂具有良好的清洗效果;表面活性剂的存在能够在一定程度上改变干膜团聚物的表面活性,使其表面亲水,更易溶解;有机溶剂的存在能够对干膜团聚物内的有机物进行溶解,有利于干膜团聚物的分散;增溶剂的存在能够在一定程度上提高干膜团聚物中部分成分的溶解度,使其更易溶解;水能够作为常用溶剂。通过配合使用上述药剂成分,组成洗槽剂,使得洗槽剂对于碳酸类沉淀物及干膜团聚物都有着较好的清洁效果。

  综上所述,将本申请实施例提供的洗槽剂应用于显影槽及剥膜槽的清洗作业中,能够有效清除显影槽及剥膜槽内附着的碳酸类沉淀物及干膜团聚物,从而保证清洁效果,避免加工过程中由于显影不尽而导致铜残留及功能不良的问题。

  以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简介,未对上述实施例中的各个技术特征所以可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,可应当认为是本说明书记载的范围。

  以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

《洗槽剂及其制备方法与应用.doc》
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