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一种光刻胶喷头清洗装置

2021-02-01 09:02:21

一种光刻胶喷头清洗装置

  技术领域

  本实用新型属于相关光刻胶技术领域,具体涉及一种光刻胶喷头清洗装置。

  背景技术

  光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶,反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。在对光刻胶喷头进行清理的时候,从而就需要用到光刻胶喷头清洗装置。

  现有的光刻胶喷头清洗装置技术存在以下问题:现有的光刻胶喷头清洗装置在使用的时候,没有很好的拐角防护装置,使得在使用的时候,容易造成人员碰撞损伤的问题。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种光刻胶喷头清洗装置,以解决上述背景技术中提出的现有的光刻胶喷头清洗装置在使用的时候,没有很好的拐角防护装置,使得在使用的时候,容易造成人员碰撞损伤的问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括金属顶盖和清洗机体,所述金属顶盖安装固定在清洗机体的上端位置上,所述金属顶盖的上端中间设置有顶盖提手,所述清洗机体的下端设置有底部支脚,所述清洗机体的外侧拐角处设置有直角防护条,所述直角防护条包括三角凸块、橡胶外壳和直角内壳,所述橡胶外壳的内侧设置有直角内壳,所述直角内壳的内侧设置有三角凸块,所述直角内壳通过三角凸块连接在清洗机体上,所述清洗机体的前端中间设置有状态提示灯,所述状态提示灯的左侧位于清洗机体上设置有温度旋钮,所述状态提示灯的右侧位于清洗机体上设置有时间旋钮,所述清洗机体的两端设置有侧边提手,所述侧边提手的下端位于清洗机体上设置有侧边散热孔。

  优选的,所述顶盖提手包括金属外环、固定螺钉、固定凹块和提拉长块,所述金属外环的内部中间设置有提拉长块,所述金属外环的下端设置有固定凹块,所述固定凹块的外侧位于金属外环上设置有固定螺钉,所述金属外环通过固定螺钉连接在金属顶盖上。

  优选的,所述侧边提手包括回型挡块、固定凸块、凹型金属块和内部凹槽,所述回型挡块的下端设置有凹型金属块,所述凹型金属块的两端外侧设置有固定凸块,所述凹型金属块的内部设置有内部凹槽,所述凹型金属块和固定凸块连接在清洗机体上。

  优选的,所述底部支脚共设置有四个,且所述底部支脚均平行固定在清洗机体的下端四个拐角处上。

  优选的,所述清洗机体为长方形,且所述清洗机体的内部成中空状态。

  优选的,所述直角防护条和清洗机体通过插接固定连接,且所述直角防护条和清洗机体的连接处外侧处于同一直线上。

  优选的,所述侧边提手共设置有两个,且所述侧边提手对称固定在清洗机体的两端外侧上。

  与现有技术相比,本实用新型提供了一种光刻胶喷头清洗装置,具备以下有益效果:

  本实用新型光刻胶喷头清洗装置通过三角凸块、橡胶外壳和直角内壳所组成的直角防护条起到很好的保护作用,直角防护条和清洗机体的连接处外侧处于同一直线上,使得在使用的时候不会发生阻碍,从而便于进行使用,而直角防护条和清洗机体通过插接固定连接,这样在安装的时候更加便利,安装时,直角防护条的直角内壳通过三角凸块连接在清洗机体上,这样安装固定较为牢固,使得不易发生脱落,而使用时,通过直角内壳外侧的橡胶外壳,使得具有很好的弹性作用力,从而有效避免碰撞损伤,在使用的时候更加的安全。

  附图说明

  附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制,在附图中:

  图1为本实用新型提出的一种光刻胶喷头清洗装置结构示意图;

  图2为本实用新型提出的顶盖提手结构示意图;

  图3为本实用新型提出的侧边提手结构示意图;

  图4为本实用新型提出的直角防护条结构示意图;

  图中:1、金属顶盖;2、直角防护条;21、三角凸块;22、橡胶外壳;23、直角内壳;3、温度旋钮;4、底部支脚;5、顶盖提手;51、金属外环;52、固定螺钉;53、固定凹块;54、提拉长块;6、侧边提手;61、回型挡块;62、固定凸块;63、凹型金属块;64、内部凹槽;7、侧边散热孔;8、状态提示灯;9、时间旋钮;10、清洗机体。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括金属顶盖1和清洗机体10,金属顶盖1安装固定在清洗机体10的上端位置上,清洗机体10为长方形,且清洗机体10的内部成中空状态。在使用的时候,人员通过金属顶盖1进行密封,从而有效避免液体的飞溅,而清洗机体10为长方形,这样便于放置使用,而且清洗机体10的内部成中空状态,使得可以很好的放置光刻胶喷头进行清理。

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括金属顶盖1的上端中间设置有顶盖提手5,顶盖提手5包括金属外环51、固定螺钉52、固定凹块53和提拉长块54,金属外环51的内部中间设置有提拉长块54,金属外环51的下端设置有固定凹块53,固定凹块53的外侧位于金属外环51上设置有固定螺钉52,金属外环51通过固定螺钉52连接在金属顶盖1上。在开合金属顶盖1的时候,通过金属顶盖1上端中间的顶盖提手5,使得在开合使用的时候更加的便利,而顶盖提手5的金属外环51通过固定螺钉52连接在金属顶盖1上,并且固定凹块53套接在金属顶盖1上,这样便于固定安装,并且通过固定螺钉52进行固定,使得在使用的时候不易脱落,而开合的时候,通过提拉长块54可以很好的拿动,这样在开合的时候更加的便利。

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括清洗机体10的下端设置有底部支脚4,底部支脚4共设置有四个,且底部支脚4均平行固定在清洗机体10的下端四个拐角处上。在放置的时候,通过清洗机体10下端的底部支脚4,使得在放置的时候更加的便利,而四个底部支脚4均平行固定在清洗机体10的下端四个拐角处上,这样在放置的时候更加的稳定。

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括清洗机体10的外侧拐角处设置有直角防护条2,直角防护条2和清洗机体10通过插接固定连接,且直角防护条2和清洗机体10的连接处外侧处于同一直线上,直角防护条2包括三角凸块21、橡胶外壳22和直角内壳23,橡胶外壳22的内侧设置有直角内壳23,直角内壳23的内侧设置有三角凸块21,直角内壳23通过三角凸块21连接在清洗机体10上。在使用的时候,通过清洗机体10外侧拐角处的直角防护条2,从而起到很好的保护作用,而且直角防护条2和清洗机体10的连接处外侧处于同一直线上,使得在使用的时候不会发生阻碍,从而便于进行使用,而直角防护条2和清洗机体10通过插接固定连接,这样在安装的时候更加便利,安装时,直角防护条2的直角内壳23通过三角凸块21连接在清洗机体10上,这样安装固定较为牢固,使得不易发生脱落,而使用时,通过直角内壳23外侧的橡胶外壳22,使得具有很好的弹性作用力,从而有效避免碰撞损伤,在使用的时候更加的安全。

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括清洗机体10的前端中间设置有状态提示灯8,状态提示灯8的左侧位于清洗机体10上设置有温度旋钮3,状态提示灯8的右侧位于清洗机体10上设置有时间旋钮9。在使用的时候,人员通过温度旋钮3和时间旋钮9,使得可以很好的控制清洗温度和清洗时间,这样可以很好的根据光刻胶喷头状态进行调节清洗,使得清洗更加的高效,而调节时,通过状态提示灯8可以很好的反应清洗调节状态,这样在使用的时候更加的便利。

  一种光刻胶喷头清洗装置,包括清洗机体10的两端设置有侧边提手6,侧边提手6共设置有两个,且侧边提手6对称固定在清洗机体10的两端外侧上,侧边提手6的下端位于清洗机体10上设置有侧边散热孔7,侧边提手6包括回型挡块61、固定凸块62、凹型金属块63和内部凹槽64,回型挡块61的下端设置有凹型金属块63,凹型金属块63的两端外侧设置有固定凸块62,凹型金属块63的内部设置有内部凹槽64,凹型金属块63和固定凸块62连接在清洗机体10上。在移动的时候,人员通过对称的两个侧边提手6,使得在移动的时候更加的便利,而侧边提手6的凹型金属块63和固定凸块62连接在清洗机体10上,从而便于固定安装,使得安装较为高效,而且使用的时候不易脱落,而移动时,通过凹型金属块63内侧的内部凹槽64,使得可以很好的存放手指,这样在移动的时候更加方便。

  本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型安装好过后,就可以将新型光刻胶喷头清洗装置拿到指定位置上进行使用了。而在放置新型光刻胶喷头清洗装置的时候,新型光刻胶喷头清洗装置通过JS-20型号清洗机体10下端的底部支脚4,使得在放置的时候更加的稳定。这样放置好后,连接好清洗机体10与外部电源的连接,使得通过时间旋钮9和温度旋钮3可以很好的控制使用。在放置使用的时候,清洗机体10通过拐角处的直角防护条2,使得起到很好的保护作用,直角防护条2是通过三角凸块21、橡胶外壳22和直角内壳23所组成,直角防护条2的直角内壳23通过三角凸块21连接在清洗机体10上,这样安装固定较为牢固,使得不易发生脱落,而使用时,通过直角内壳23外侧的橡胶外壳22,使得具有很好的弹性作用力,从而有效避免碰撞损伤。

  在清洗时,人员将光刻胶喷头放置在清洗机体10内部凹槽中,之后添加清洗液体,添加完成之后,人员通过金属顶盖5,从而闭合金属顶盖1。这样放置好后,人员通过温度旋钮3和时间旋钮9,使得可以很好的控制清洗温度和清洗时间,这样可以很好的根据光刻胶喷头状态进行调节清洗,使得清洗更加的高效,而调节时,通过状态提示灯8可以很好的反应清洗调节状态,这样在使用的时候更加的便利。调节完成之后,清洗机体10内部超声装置工作,从而使得内部液体震颤碰撞,这样就可以很好的去除光刻胶喷头表面污渍了。

  尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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