一种基板交接装置及基板交接方法
技术领域
本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种基板交接装置及基板交接方法。
背景技术
OLED显示屏是利用有机电自发光二极管制成的显示屏。由于同时具备自发光有机电激发光二极管，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。
在OLED器件的制备工艺中，存在真空蒸镀环节。由于目前真空蒸镀机尺寸的限制，蒸镀的基板尺寸不能过大，因此需要将基板由整板改进为半板。半板(half-plate)是指在原来整板的长边尺寸方向将整板一分为二。
现有技术中公开了一种基板交接装置，其工作台结构如图1所示，包括气浮导轨1’、吊框2’、吊框支架3’、承板台4’，该装置中采用升降气浮台，从承板台的扫描方向上板(即沿图1中的Y向)，该方案只适用于整板的交接。如采用该方案运送两块半板，则会造成吸附组件的运动行程过长，交接过程不稳定且要求对吊框2’进行改造，提高了成本，而运送一块半板则会造成产率的成倍下降。
因此，为了在保障交接稳定性与产率的情况下实现半板的交接，亟需提供一种新的基板交接装置及基板交接方法。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一种基板交接装置，该基板交接装置能够在保障交接稳定性与产率的情况下实现半板的交接。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种基板交接装置，包括：
运送台，用于在水平面内运送基板；
工作台，设置在所述运送台的下游，用于接收由所述运送台运送来的所述基板，所述基板的运送方向垂直于所述工作台上气浮导轨的延伸方向；
移动气浮台，所述移动气浮台具有工作位置和非工作位置，所述工作位置位于所述运送台与所述工作台之间，所述非工作位置位于所述运送台与所述工作台的上方或侧方，所述移动气浮台被配置为在所述工作位置和所述非工作位置之间移动，且在所述工作位置时能够支撑所述运送台与所述工作台之间的所述基板。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述运送台包括：
第一底座；
水平向传送组件，可水平移动地设置于所述第一底座上；
若干吸附组件，所述吸附组件设置于所述水平向传送组件上，用于吸附所述基板；
支撑气浮台，固设于所述第一底座上，用于悬浮支撑所述基板。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述工作台包括：
第二底座；
若干所述气浮导轨，固设于所述第二底座上；
支撑移动组件，可移动地设置在所述气浮导轨上；
若干承板台，设于所述支撑移动组件上。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，若干所述气浮导轨间隔铺设在所述第二底座上，两侧的所述气浮导轨上分别滑动设置有y向滑块，所述支撑移动组件固设于所述y向滑块上。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述移动气浮台包括移动底座和固定于所述移动底座上的气浮块。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述支撑气浮台、气浮块、承板台和支撑移动组件上均设置有若干条平行于所述基板传送方向的凹槽，以容纳所述吸附组件。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，每个所述吸附组件均包括两个吸盘组，每个所述吸盘组均包括若干吸盘，所述吸盘用于吸附所述基板。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述工作台上设置有位置调整组件，用于对所述基板进行位置调整。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述调整组件包括：
旋转电机，所述旋转电机设置在所述承板台的边角处，能够带动所述基板顺时针或逆时针旋转；
直线电机，所述直线电机设置在每两个相邻的所述承板台之间，并位于远离设置有所述旋转电机的一端，所述直线电机能够驱动所述基板逆时针或顺时针旋转。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述调整组件包括旋转电机，所述旋转电机设置在所述承板台的中心处，能够带动所述基板顺时针和逆时针旋转。
作为上述基板交接装置的优选技术方案，所述移动气浮台水平或垂直移动到所述工作位置。
本发明的另一个目的在于提供一种基板交接方法，能够实现半板的交接。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种使用如上所述的基板交接装置的基板交接方法，包括如下步骤：
S1：移动气浮台处于非工作位置，工作台运动至基板交接位置等待交接；
S2：将基板放置于运送台上；
S3：支撑气浮台将所述基板悬浮于所述运送台上；吸附组件吸附所述基板；
S4：所述移动气浮台移动到工作位置并开通气浮；
S5：所述吸附组件带动所述基板向所述工作台方向运动，直至所述基板完全运送至所述工作台上；
S6：所述移动气浮台退回至所述非工作位置；
S7：对置于所述工作台上的所述基板进行位置调整。
作为上述基板交接方法的优选技术方案，步骤S7中对所述基板进行位置调整包括：旋转电机和直线电机交替出力以将所述基板调整到位和/或所述旋转电机单独对所述基板进行位置调整。
与现有技术相比，本发明的优点及有益效果在于：
本发明提供的基板交接装置，包括运送台、工作台及移动气浮台，运送台用于在水平面内运送基板；工作台设置在运送台的下游，用于接收由运送台运送来的基板，基板的运送方向垂直于工作台上气浮导轨的延伸方向；移动气浮台具有工作位置和非工作位置，工作位置位于运送台与工作台之间，非工作位置位于运送台与工作台的上方或侧方，移动气浮台被配置为在工作位置和非工作位置之间移动，且在工作位置时能够支撑运送台与工作台之间的基板。该基板交接装置能够实现在垂直于气浮导轨的延伸方向上进行基板的传送和交接，而不受该方向上吊框等组件的阻挡约束，提高了该交接装置的通用性和兼容性；且该基板交接装置能够在保障交接稳定性与产率的情况下实现多块半板的同时交接，节约交接时间，提高兼容性和基板交接效率，实现了基板交接前后移动气浮台的避让，保障生产安全性。
本发明提供的基板交接方法，应用于上述的基板交接装置中，能够实现多块半板的同时交接，节约交接时间，提高兼容性和基板交接效率。
附图说明
图1是现有技术提供的基板交接装置的工作台的结构示意图；
图2是本发明实施例一提供的基板交接装置的结构示意图；
图3是本发明实施例一提供的基板交接装置的工作位置和非工作位置的布局示意图；
图4是本发明实施例一提供的基板交接装置的工作位置和非工作位置的另一种布局示意图；
图5是本发明实施例一提供的基板交接装置的俯视图；
图6是本发明实施例一提供的气浮块的侧视图；
图7是本发明实施例一提供的调整组件的布局示意图；
图8是本发明实施例一提供的调整组件的另一种布局示意图；
图9是本发明实施例二提供的基板交接方法的流程图。
图中：
1’-气浮导轨；2’-吊框；3’-吊框支架；4’-承板台；
1-运送台；11-第一底座；12-水平向传送组件；13-吸附组件；14-支撑气浮台；
2-工作台；21-第二底座；22-气浮导轨；23-支撑移动组件；24-承板台；241-第一承板台；242-第二承板台；25-y向滑块；
3-移动气浮台；31-移动底座；32-气浮块；
4-工作位置；5-非工作位置；6-旋转电机；7-直线电机。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施方式仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
实施方式一
本实施方式提供了一种基板交接装置，用于实现在垂直于气浮导轨的延伸方向上进行基板的传送和交接，而不受该方向上吊框等组件的阻挡约束，提高了该交接装置的通用性和兼容性；且能在保障交接稳定性与产率的情况下实现多块半板的同时交接，节约交接时间，提高兼容性和基板交接效率。在本实施方式中，以两块半板交接为例进行说明。
如图2和图3所示，本实施方式提供的基板交接装置，包括运送台1、工作台2和移动气浮台3。其中运送台1可以吸附支撑基板，并在水平面内运送基板，以向工作台2交接该基板。工作台2设置在运送台1的下游，用于接收由运送台运送来的基板，基板的运送方向垂直于工作台2上气浮导轨22的延伸方向。工作台2上设置有若干承板台24，承板台24的数量与基板的数量一致，用于支撑固定若干块基板。移动气浮台3设置在运送台1与工作台2之间，用于在交接过程中辅助支撑基板。移动气浮台3具有工作位置4和非工作位置5，工作位置4位于运送台1与工作台2之间，非工作位置5位于运送台1与工作台2的上方或侧方，移动气浮台3被配置为在工作位置4和非工作位置5之间移动，且在工作位置4时能够支撑运送台1与工作台2之间的基板。
具体而言，运送台1包括第一底座11、水平向传送组件12、若干吸附组件13和支撑气浮台14。其中，水平向传送组件12可水平移动地设置于第一底座11上，吸附组件13设置于水平向传送组件12上，用于吸附基板。支撑气浮台14固设于第一底座11上，用于悬浮支撑基板。在进行基板交接时，将基板放置于运送台1上，吸附组件13吸附基板，支撑气浮台14中通入压缩空气形成气膜，实现对基板的悬浮支撑。
工作台2包括第二底座21、若干气浮导轨22、支撑移动组件23和上述若干承板台24。其中，气浮导轨22固设于第二底座21上，支撑移动组件23可移动地设置在气浮导轨22上，若干承板台24沿曝光扫描方向并排布设于支撑移动组件23上。当基板交接完成后，基板位于承板台24上进行后续曝光工艺。
上述若干气浮导轨22间隔铺设在第二底座21上，两侧的气浮导轨22上分别滑动设置有一个y向滑块25，支撑移动组件23固设于y向滑块25上，能沿气浮导轨22滑动。当需要进行基板交接时，支撑移动组件23带动承板台24来到交接位置就位。
在本实施方式中，移动气浮台3包括移动底座31和固定于移动底座31上的气浮块32，移动底座31带动气浮块32水平可移动地进入或退出工作位置4。基板交接时，移动气浮台3先处于非工作位置5，以防止工作台2在缓冲失控时碰撞到移动气浮台3；待工作台2到达交接位置后，移动气浮台3水平运动到工作位置4，之后再进行基板的交接。实现了基板交接前后移动气浮台3的避让，保障生产安全性。当进行基板交接时，气浮块32中通入压缩空气形成气膜，实现对基板的悬浮支撑。
本实施方式中的移动气浮台3水平或垂直移动到工作位置4。具体而言，如图3所示，工作位置4和非工作位置5可以均设置于同一水平面内，且前后相邻设置，此时，移动气浮台3采用前后移动的方式水平进入或退出工作位置4。如图4所示，工作位置4与非工作位置5还可以设置于同一竖直平面内，此时，采用吊装的方式使得移动气浮台3在竖直面内以上下升降的方式进入或退出工作位置4。可以理解的是，工作位置4可以设置在第二底座21上。
如图5所示，支撑气浮台14、气浮块32、承板台24和支撑移动组件23上均设置有若干条平行于基板传送方向的凹槽，凹槽用于容纳吸附组件13。作为优选，相邻的凹槽之间的槽间距相同，能够稳定吸附传送基板。图6示出了气浮块32的侧视图。
在本实施方式中，支撑移动组件23上并排设置有第一承板台241和第二承板台242。相应的，运送台1上设置有两个吸附组件13，每个吸附组件13对应吸附一块基板，并将该基板运送至相应的承板台24上，实现两块半板的同时交接。更进一步地，每个吸附组件13均包括两个吸盘组，每个吸盘组均包括若干吸盘，吸盘用于吸附基板。如此，运送台1的水平向传送组件12上便设置有四个吸盘组，相应的，支撑气浮台14、气浮块32、承板台24和支撑移动组件23上均设置有四条上述凹槽，吸盘可吸附基板并带动基板沿凹槽做直线运动。
本实施方式提供的基板交接装置还可以包括调整组件和检测组件(图中未示出)，二者均设置在工作台2上，用于对基板的Rz偏转角进行调整及检测。
如图7所示，调整组件可以包括若干个旋转电机6和直线电机7，直线电机7的数量比旋转电机6的数量少一个。具体地，旋转电机6与承板台24一一对应设置，且设置在承板台24的边角处，在本实施方式中，两个旋转电机6分别设置在第一承板台241和第二承板台242的边角处。旋转电机6上设置有吸盘，能够吸附基板并带动基板顺时针或逆时针做单向旋转。直线电机7设置在每两个相邻的承板台24之间，并位于远离设置有旋转电机6的一端，在本实施方式中，其设置在第一承板台241和第二承板台242之间，并远离设置有旋转电机6的一侧，直线电机7能够驱动基板逆时针或顺时针旋转。当对基板进行调整时，先通过检测组件对置于工作台2上的基板的位置和姿态进行检测，若与预设位置存在偏差，则通过直线电机7和旋转电机6交替出力以将基板调整到位。示例性的，以图7中左边的基板为例，在调整时，旋转电机6先出力，带动基板逆时针方向旋转，若检测组件检测到基板已调整到位，则退出调整，若检测组件检测到基板调整过量(即逆时间旋转角度过大)，则直线电机7向左出力，使基板顺时针旋转，以上过程可反复交替直到检测组件检测到基板调整到位。
为验证上述调整方案在某一旋转电机6工作时是否会导致基板出现损坏，进行了仿真验证，仿真结果(某特定工况下)显示，基板在最大受力条件下的应力最大值为22.25Mpa，满足玻璃基板应力要求(玻璃基板许用应力约为70Mpa)。
在其他实施方式中，如图8所示，调整组件可以包括若干旋转电机6，旋转电机6设置在承板台的中心处，在本实施例中，两个旋转电机6分别设置在第一承板台241和第二承板台242的中心处，旋转电机6能够带动基板顺时针和逆时针做双向旋转。在进行基板的位置调整时，只需每个旋转电机6对基板进行旋转即可。
本实施方式中，通过设置第一承板台241和第二承板台242，不仅能够实现两块半板的同时交接，还能实现在第一块基板曝光的同时，对第二块基板进行位置调整，从而节约了调整时间，提高了产率。
实施方式二
本实施方式提供了一种使用上述实施方式中基板交接装置的基板交接方法，如图9所示，包括如下步骤：
S1：移动气浮台3处于非工作位置5，工作台2运动至基板交接位置等待交接；
S2：将基板放置于运送台1上；
S3：支撑气浮台14将基板悬浮于运送台1上；吸附组件13吸附基板；
S4：移动气浮台3移动到工作位置4并开通气浮；
S5：吸附组件13带动基板向工作台2方向运动，直至基板完全运送至工作台2上；
S6：移动气浮台3退回至非工作位置5；
S7：对置于工作台2上的基板进行位置调整。
步骤S3还包括支撑气浮台14开通气浮。支撑气浮台14开通气浮和步骤S4中的移动气浮台3开通气浮均可以通过通入压缩空气实现，通入压缩空气后产生气膜，气膜能将基板悬浮支撑。
在步骤S5与步骤S6之间还包括：吸附组件13释放基板并退回至运送台1。
步骤S7中对基板进行位置调整包括：先通过检测组件对置于工作台2上的基板的位置和姿态进行检测，若与预设位置存在偏差，这里的偏差主要指基板的Rz偏转角，旋转电机6和直线电机7交替出力以将基板调整到位。具体地，旋转电机6先出力，带动基板逆时针方向旋转，若检测组件检测到基板已调整到位，则退出调整，若检测组件检测到基板调整过量(即逆时间旋转角度过大)，则直线电机7向左出力，使基板顺时针旋转，以上过程可反复交替直到检测组件检测到基板调整到位。
本实施方式还提供另一种调整方法，即，每块基板对应设置有一个旋转电机6，旋转电机6能够单独对基板进行位置调整。具体地，旋转电机6能够带动基板顺时针和逆时针做双向旋转，在进行基板的位置调整时，每个旋转电机6对基板进行旋转，配合以检测组件直至检测到基板调整到位即可。
以上两种基板的调整方法可单独使用，也可同时使用，本实施例不做具体限制。
显然，本发明的上述实施方式仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
