一种光刻机光源装置
技术领域
本实用新型涉及曝光机领域，尤其涉及一种光刻机光源装置。
背景技术
光刻是制作半导体的关键制程，决定了线路的精密度。光刻设备是一种投影系统，由紫外光源、光学镜片、对准系统等部件组装而成。在半导体制作过程中，光刻设备会投射光束，穿过印着图案的掩模及光学镜片，将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上；通过蚀刻曝光或未受曝光的部份来形成沟槽，然后再进行沉积、蚀刻、掺杂，架构出不同材质的线路；此制程被一再重复，就能将数以十亿计的MOSFET或其他晶体管，建构在硅晶圆上，形成一般所称的集成电路。
现有的光源装置，使用者无法了解光源装置内部所放出的光强，并且无法控制光强的问题；现有的光源装置发出的光的光斑分散且光斑之间相互覆盖，导致能量分散，影响光刻精度的问题；现有的光源装置散热性能差，由于长时间工作LED灯会产生大量的热，如果不能及时散热会导致光刻机内部着火，存在使用隐患的问题。
因此，有必要提供一种光刻机光源装置解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种光刻机光源装置，解决了现有的光源装置，使用者无法了解光源装置内部所放出的光强，并且无法控制光强的问题；现有的光源装置发出的光的光斑分散且光斑之间相互覆盖，导致能量分散，影响光刻精度的问题；现有的光源装置散热性能差，由于长时间工作LED灯会产生大量的热，如果不能及时散热会导致光刻机内部着火，存在使用隐患的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种光刻机光源装置，包括不锈钢架和控制系统，所述不锈钢架内表面通过螺钉与冷却装置固定连接，所述冷却装置一侧与光源单元板组合架间隙配合，所述不锈钢架一侧通过螺钉与光源单元板组合架固定连接，所述光源单元板组合架一侧与透镜间隙配合，所述透镜一侧通过螺钉与不锈钢架固定连接，所述透镜内表面通过螺钉与光电传感器固定连接，所述透镜外表面通过螺钉与处理器固定连接。
优选的，所述光源单元板组合架还包括光源单元板A、光源单元板B、光源单元板C、光源单元板D和固定块，所述光源单元板A一端设置有固定块，所述光源单元板B一端设置有固定块，所述光源单元板C一端设置有固定块，所述光源单元板D一端设置有固定块，所述固定块通过螺钉与光源单元板组合架固定连接。
优选的，所述光源单元板A还包括固定槽、LED灯和调光器，所述光源单元板A一侧设置有固定槽，所述固定槽内表面与LED灯法兰连接，所述LED 灯一侧通过电线与调光器电性连接。
优选的，所述冷却装置还包括分层内隔板、冷却板一、冷却板二、循环水通道板A和冷却板三，所述冷却板一一端通过螺钉与冷却板二固定连接，所述冷却板一另一端通过螺钉与分层内隔板固定连接，所述冷却板二一端通过螺钉与冷却板三固定连接，所述冷却板一一侧通过螺钉与循环水通道板A固定连接，所述冷却板二一侧通过螺钉与循环水通道板A固定连接。
优选的，所述冷却装置还包括分层内隔板、冷却板三、冷却板四、循环水通道板B、冷却板五、冷却板六、循环水通道板C和出水管，所述冷却板五一端通过螺钉与冷却板四固定连接，所述冷却板五另一端通过螺钉与冷却板六固定连接，所述冷却板六一端通过螺钉与分层内隔板固定连接，所述冷却板四一端通过螺钉与冷却板三固定连接，所述分层内隔板一侧与出水管法兰连接，所述冷却板三一侧通过螺钉与循环水通道板B固定连接，所述冷却板四一侧通过螺钉与循环水通道板B固定连接，所述冷却板五一侧通过螺钉与循环水通道板 C固定连接，所述冷却板六一侧通过螺钉与循环水通道板C固定连接。
优选的，所述冷却装置还包括外壳、空腔、进水口、不锈钢隔离板、限位槽和通孔，所述外壳一侧与进水口法兰连接，所述外壳内部设置有空腔，外壳内表面通过螺钉与不锈钢隔离板固定连接，所述外壳外表面设置有限位槽，所述不锈钢隔离板一端设置有通孔。
优选的，所述控制系统还包括信号发射器、信号接收器、处理器、光电传感器和调光器，所述信号发射器一端通过电线与处理器电性连接，所述信号接收器一端通过电线与处理器电性连接，所述光电传感器一端通过电线与处理器电性连接，所述调光器一端通过电线与处理器电性连接。
与相关技术相比较，本实用新型提供的一种光刻机光源装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过采用控制系统，光电传感器能够通过光电效应来将光转换为电流，用电流大小来表示光强，光电传感器将数据转换为电信号传递到处理器，处理器通过信号发射器将电磁波发射出去，外界控制设备接收电磁波，并且发射电磁波回到信号接收器，信号接收器接收信号传导到处理器，处理器控制调光器来控制LED灯的亮度，解决了现有的光源装置，使用者无法了解光源装置内部所放出的光强，并且无法控制光强的问题。
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过将整个LED灯分别设于光源单元板A、光源单元板B、光源单元板C和光源单元板D上进行安装同时采用多个螺丝调整光源单元板进而对光源单元板上各个透镜的角度进行微调，解决了光束方向难以微调以及光斑分散的问题，进而提高了光刻精度，解决了现有的光源装置发出的光的光斑分散且光斑之间相互覆盖，导致能量分散，影响光刻精度的问题。
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过采用冷却装置，冷却板包括六个冷却板、分层内阁板、进水口和出水口，其中在冷却板里面且进水口贯穿于外壳与空腔的一侧，出水口贯穿于外壳与空腔的另一侧，空腔里有插在外壳上的凹凸形不锈钢隔板，同时将外壳一侧留有的通孔中焊死，每一块不锈钢隔板表面都有限位槽，水可以通过进水口从上到下流到出水口流出，达到冷却的目的，解决了现有的光源装置散热性能差，由于长时间工作LED灯会产生大量的热，如果不能及时散热会导致光刻机内部着火，存在使用隐患的问题。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种光刻机光源装置的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示光源单元板组合架的结构示意图；
图3为图1所示光源单元板A的结构示意图；
图4为图1所示冷却装置的结构示意图；
图5为图1所示冷却装置的剖面图。
图中标号：1、不锈钢架，2、透镜，3、光源单元板组合架，4、光源单元板A，5、光源单元板B，6、光源单元板C，7、光源单元板D，8、固定槽，9、LED灯，10、固定块，11、冷却装置，12、分层内隔板，13、冷却板一，14、冷却板二，15、循环水通道板A，16、冷却板三，17、冷却板四，18、循环水通道板B，19、冷却板五，20、冷却板六，21、循环水通道板C，22、外壳， 23、空腔，24、进水口，25、出水口，26、不锈钢隔板，27、限位槽，28、出水管，29、通孔，30、控制系统，31、信号发射器，32、信号接收器、33处理器、34光电传感器、35调光器。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1、图2、图3、图4和图5，其中，图1为本实用新型提供的一种光刻机光源装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示光源单元板组合架的结构示意图；图3为图1所示光源单元板A的结构示意图；图 4为图1所示冷却装置的结构示意图；图5为图1所示冷却装置的剖面图。一种光刻机光源装置，包括不锈钢架1和控制系统30，不锈钢架1内表面通过螺钉与冷却装置11固定连接，冷却装置11一侧与光源单元板组合架3间隙配合，不锈钢架1一侧通过螺钉与光源单元板组合架3固定连接，光源单元板组合架3一侧与透镜2间隙配合，透镜2一侧通过螺钉与不锈钢架1固定连接，透镜2内表面通过螺钉与光电传感器34固定连接，透镜2外表面通过螺钉与处理器33固定连接。
光源单元板组合架3还包括光源单元板A4、光源单元板B5、光源单元板 C6、光源单元板D7和固定块10，光源单元板A4的型号为P10，光源单元板 A4一端设置有固定块10，光源单元板B5一端设置有固定块10，光源单元板 C6一端设置有固定块10，光源单元板D7一端设置有固定块10，固定块10通过螺钉与光源单元板组合架3固定连接，固定块10能够固定光源单元板A4。
光源单元板A4还包括固定槽8、LED灯9和调光器35，光源单元板A4一侧设置有固定槽8，固定槽8内表面与LED灯9法兰连接，LED灯9一侧通过电线与调光器35电性连接，调光器35能够调整LED灯9的亮度。
冷却装置11还包括分层内隔板12、冷却板一13、冷却板二14、循环水通道板A15和冷却板三16，冷却板一13一端通过螺钉与冷却板二14固定连接，冷却板一13另一端通过螺钉与分层内隔板12固定连接，冷却板二14一端通过螺钉与冷却板三16固定连接，冷却板一13一侧通过螺钉与循环水通道板A15固定连接，冷却板二14一侧通过螺钉与循环水通道板A15固定连接循环水通道板A15能够增加冷却水在冷却板内部流动路径，减缓流到速度。
冷却装置11还包括分层内隔板12、冷却板三16、冷却板四17、循环水通道板B18、冷却板五19、冷却板六20、循环水通道板C21和出水管28，冷却板五19一端通过螺钉与冷却板四17固定连接，冷却板五19另一端通过螺钉与冷却板六20固定连接，冷却板六20一端通过螺钉与分层内隔板12固定连接，冷却板四17一端通过螺钉与冷却板三16固定连接，分层内隔板12一侧与出水管28法兰连接，冷却板三16一侧通过螺钉与循环水通道板B18固定连接，冷却板四17一侧通过螺钉与循环水通道板B18固定连接，冷却板五19 一侧通过螺钉与循环水通道板C21固定连接，冷却板六20一侧通过螺钉与循环水通道板C21固定连接，出水管28能够使得冷却水流出。
冷却装置11还包括外壳22、空腔23、进水口24、不锈钢隔离板26、限位槽27和通孔29，外壳22一侧与进水口24法兰连接，外壳22内部设置有空腔23，外壳22内表面通过螺钉与不锈钢隔离板26固定连接，外壳22外表面设置有限位槽27，不锈钢隔离板26一端设置有通孔29，进水管24能够使得冷却水流入。
控制系统30还包括信号发射器31、信号接收器32、处理器33、光电传感器34和调光器35，信号发射器31的信号为MB58N2-16L，信号接收器32 的型号为CF-WU710N V2，处理器33的型号为I7-8700K，调光器35的型号为 5730，信号发射器31一端通过电线与处理器33电性连接，信号接收器32一端通过电线与处理器33电性连接，光电传感器34一端通过电线与处理器33 电性连接，调光器35一端通过电线与处理器33电性连接，光电传感器34能够测量光强。
本实用新型提供的一种光刻机光源装置的工作原理如下：操作人员先把装置连接电源，LED灯9通电后内部灯丝将部分电能转换为光能，光传到透镜2 时，透镜2内部的光电传感器34能够通过光电效应来将光转换为电流，用电流大小来表示光强，光电传感器34将数据转换为电信号传递到处理器33，处理器33通过信号发射器31将电磁波发射出去，外界控制设备接收电磁波，并且发射电磁波回到信号接收器32，信号接收器32接收信号传导到处理器33，处理器33控制调光器35来控制LED灯9的亮度。
与相关技术相比较，本实用新型提供的一种光刻机光源装置具有如下有益效果：
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过采用控制系统30，光电传感器34能够通过光电效应来将光转换为电流，用电流大小来表示光强，光电传感器34将数据转换为电信号传递到处理器33，处理器33通过信号发射器31 将电磁波发射出去，外界控制设备接收电磁波，并且发射电磁波回到信号接收器32，信号接收器32接收信号传导到处理器33，处理器33控制调光器35 来控制LED灯9的亮度，当LED灯9使用时会产生大量的热量，如果不及时解决，有可能会损坏装置，冷却板包括六个冷却板、分层内阁板12、进水口24 和出水口25，其中在冷却板里面且进水口24贯穿于外壳22与空腔23的一侧，出水口25贯穿于外壳22与空腔23的另一侧，空腔23里有插在外壳22上的凹凸形不锈钢隔板26，同时将外壳22一侧留有的通孔29中焊死，每一块不锈钢隔板26表面都有限位槽27，水可以通过进水口24从上到下流到出水口 25流出，达到冷却的目的。
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过将整个LED灯9分别设于光源单元板A4、光源单元板B5、光源单元板C6和光源单元板D7上进行安装同时采用多个螺丝调整光源单元板进而对光源单元板上各个透镜的角度进行微调，解决了光束方向难以微调以及光斑分散的问题，进而提高了光刻精度，解决了现有的光源装置发出的光的光斑分散且光斑之间相互覆盖，导致能量分散，影响光刻精度的问题。
本实用新型提供一种光刻机光源装置，通过采用冷却装置11，冷却板包括六个冷却板、分层内阁板12、进水口24和出水口25，其中在冷却板里面且进水口24贯穿于外壳22与空腔23的一侧，出水口25贯穿于外壳22与空腔 23的另一侧，空腔23里有插在外壳22上的凹凸形不锈钢隔板26，同时将外壳22一侧留有的通孔29中焊死，每一块不锈钢隔板26表面都有限位槽27，水可以通过进水口24从上到下流到出水口25流出，达到冷却。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
