一种自动光刻机
技术领域
本发明涉及光刻领域，具体涉及一种自动光刻机。
背景技术
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机，光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。
目前，光刻过程是人工将硅片固定在工装上，然后将此工装和硅片放入光刻机中曝光，随着一步步改进，目前已经形成了自动输送装置，工人只需将硅片在工装上放置或者是从工装上拆装下来便可，然而上述装置在实际生产过程中，等待曝光以及工装转移过程是比较浪费时间，大约占据了整个生产节拍一半的时间；所以现在缺少一种设备组成简单，自动化，不需要工作人员等待，并且能有效提高生产效率的光刻装置。
现有技术中也出现了一些自动光刻机，如申请号为CN201820863252.0的一项中国专利公开了一种自动光刻机，它包括包括台架，所述台架上设有可步进转动的转盘，所述转盘四周均布有若干工装台，所述工装台上固定有若干工装，所述台架后方设有曝光机，所述曝光机设置在所述转盘旋转停止的工装上方。
该技术方案能够降低硅片在工装上放置或者是从工装上拆装下来的时间，同时降低转移以及曝光等待时间，大大提高生产效率，但是该技术方案工作人员若进行不同规格大小的硅片工作，需要停止光刻机运转来进行拆卸，且拆卸螺栓费事费力，影响工作效率。
鉴于此，为了克服上述技术问题，本公司设计研发了一种自动光刻机，采用了特殊的曝光装置，解决了上述技术问题。
发明内容
为了弥补现有技术的不足，本发明提出的一种自动光刻机，通过工装台连接在四周的橡胶球与凸台内部的锥形孔和真空发生装置相配合来固定工装台，使得工作人员可以快速进行工装台拆取，并且可以适应不同工装台的大小，从而可以放置不同大小的硅片，进而提高了工作效率。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种自动光刻机，包括台架，还包括支架、显微放大镜、曝光机、转盘、电机、真空发生装置和工装台；所述台架上方设有滑杆,所述滑杆的上端滑动连接着支架，滑动连接可用于调节支架到台架的距离；所述支架的另一端设置有曝光机；所述曝光机两侧对称设有显微放大镜，通过设置在此处显微放大镜的位置，便于显微放大镜在曝光期间观察；所述曝光机和显微放大镜的正下方设有工装台；所述工装台包括大O型圈、小O型圈、基座、弹力绳和橡胶球；所述基座上端为凹坑，所述凹坑侧边缘设有台阶，所述台阶上设有小O型圈，当硅片安装在台阶上时不与基座直接接触，从而通过小O型圈实现硅片的软连接，降低了硅片的磨损，通过小O型圈可实现硅片与基座的静态密封；所述凹坑的底面设有通气孔；所述基座下端为凸缘，所述凸缘上设有大O型圈；所述基座侧面均匀连接有四个弹力绳，所述弹力绳的另一端连接有橡胶球；所述台架的正上方设有转盘；所述台架与转盘之间设有电机，所述电机用于驱动转盘转动；所述转盘为圆形，且转盘的上端设有四个凸台，四个所述凸台截面为圆形且均匀分布在转盘四周，所述凸台的中心位于曝光机的正下方；所述转盘的中心处设有真空发生装置，所述真空发生装置用于抽取空气；所述凸台的侧面设有四个均匀分布的L型孔；所述L型孔进口处上端均设有滑轮，所述L型孔能够使橡胶球顺利通过，L型孔的下端设有锥形孔，所述锥形孔能将橡胶球截止在其中径处，进而使橡胶球紧密贴合在锥形孔的内壁上；所述凸台的上端设有凹缘，所述凹缘的中心处设有通气孔，所述通气孔贯穿至锥形孔的下端；所述基座设置在凸台的正上方，所述凸缘位于凹缘内部，此时通过大O型圈可将凸缘的下端面与凹缘的上端面进行密封；工作时，工作人员若进行不同规格大小的硅片工作，需要停止光刻机运转来进行拆卸，且拆卸螺栓费事费力，影响工作效率；因此本发明的工作人员将硅片放置在基座的凹坑处，凹坑内的台阶上的小O型圈使硅片底端进行密封，并且实现软连接，再将基座放置在凸台的上方，且凸缘位于凹缘的内部，这时工作人员迅速将工装台上四个橡胶球分别放入对应的L型孔内，启动真空发生装置，此时橡胶球受气压影响被带到锥形孔处，进而使橡胶球紧密贴合在锥形孔的内壁上，硅片受气压的吸附力的影响也固定在工装台上端凹坑的台阶上，此时电机带动转盘进行旋转，当工装台旋转到曝光机正下方时，显微放大镜和曝光机对硅片进行曝光，若工作人员需要进行更换不同规格大小的工装台时，无需让光刻机停止工作，可直接让真空发生装置使曝光后的硅片下的气体进行泄压，此时工作人员可将橡胶球迅速拔下，将工装台取下，再按照上述步骤进行工装台安装，进而可以快速完成更换工装台；本发明通过工装台连接在四周的橡胶球与凸台内部的锥形孔和真空发生装置相配合来固定工装台，使得工作人员可以快速进行工装台拆取，并且可以适应不同工装台的大小，从而可以放置不同大小的硅片，进而提高了工作效率。
优选的，所述L型孔的进口处的上端和下端各设置有一个凹槽，所述凹槽内均安装有弹簧和钢球，所述钢球位于凹槽的槽口内部，所述弹簧位于凹槽的内部，所述弹簧将钢球的一部分顶在L型孔的进口处；工作时，当真空发生装置的管道的气体发生漏泄，橡胶球不受吸附力的影响，橡胶球受弹力绳影响会直接拉出L型孔外，此时工装台发生晃动，工装台晃动带动硅片发生偏移，造成曝光偏移，进而使硅片报废；因此本发明工作人员将工装台上四个橡胶球分别放入对应的L型孔，经过橡胶球挤压钢球使L型孔的进口打开，此时钢球受弹簧弹力影响进行复位堵住进口处，这时启动真空发生装置，此时橡胶球受气压影响被带到锥形孔处，进而使橡胶球紧密贴合在锥形孔的内壁上，硅片受气压的吸附力的影响也固定在工装台上端凹坑的台阶上，若这时真空发生装置的管道突然漏气，橡胶球不受气压影响，其位置发生了偏移，经过弹力绳的伸缩，使得橡胶球卡在两个钢球之间，不会造成工装台发生位置偏移的现象；本发明通过在L型孔的进口处设置一对钢球来实现橡胶球锁定，进而使得工装台不受气体泄漏的影响，保证了工装台的稳定，降低了不良率，使得光刻机可以安全保障的进行工作。
优选的，位于下端的所述钢球的下方设有锁止板，所述锁止板的一端位于L型孔的拐角处，锁止板的中心处设有一个定位销，所述定位销上套有扭簧，锁止板在扭簧的作用下处于受力状态，所述锁止板的另一端位于钢球的下端；工作时，L型孔进口处下端的钢球下方的弹簧失效时，会造成弹簧沉在凹槽内，造成L型的进口处不能及时封死，当出现真空发生装置失效时，橡胶球受弹力绳影响会直接拉出L型孔外，从而影响工装台的稳定性，进而影响硅片晃动，造成硅片报废；因此本发明工作人员将工装台上四个橡胶球分别放入对应的L型孔，经过橡胶球挤压钢球使L型孔的进口打开，此时锁止板受扭簧扭力影响产生推力顶住钢球，这时钢球受锁止板推力和弹簧弹力影响进行复位堵住进口处，这时启动真空发生装置，此时橡胶球受气压影响被带到锥形孔处，进而使橡胶球紧密贴合在锥形孔的内壁上，这时弹力绳处于拉紧状态，锁止板受弹力绳的拉力影响产生向下的作用力，经锁止板中部的定位销传递，使L型孔进口处下端的钢球顶在凹槽槽口，进而实现L型孔的进口处封死，此时真空发生装置和下端凹槽的弹簧同时失效，因下端凹槽槽口的钢球受锁止板的作用，仍然可以将L型孔的进口处封死，弹力绳受拉力影响带动橡胶球发生位置偏移，橡胶球经过锁止板碰撞发生能量损耗后，卡在了进口处的两个钢球之间，不会造成工装台发生位置偏移的现象；本发明通过锁止板受到的扭力和弹力绳的拉力作用下，使得下端凹槽的钢球的一部分顶在L型孔的进口处，从而封死了L型孔的进口，进而实现了互锁结构，保证了工装台的稳定，使得光刻机可以稳定的进行工作。
优选的，所述锁止板的摆动角度为15度；工作时，工作人员将工装台上四个橡胶球分别放入对应的L型孔，经过橡胶球挤压钢球下方锁止板，使得锁止板通过定位销进行转动，使得定位销卡在了L型孔的进口处，从而使橡胶球无法进入L型孔内，造成工装台无法固定的现象，因此本发明工作人员将工装台上四个橡胶球分别放入对应的L型孔，经过橡胶球挤压钢球下方锁止板，使得锁止板通过定位销进行转动，因锁止板的摆动角度为15度，故橡胶球能够顺利通过，此时锁止板受扭簧扭力影响产生推力顶住钢球，这时钢球受锁止板推力和弹簧弹力影响进行复位堵住进口处，锁止板回到了初始状态，这时启动真空发生装置，此时橡胶球受气压影响被带到锥形孔处，工装台受弹力绳拉力影响从而得到固定；本发明通过控制锁止板的摆动角度与扭簧相配合，实现了橡胶球顺利通过L型孔，从而使得工装台得到固定，进而保证了自动光刻机的正常运行；
所述台架与转盘之间设有平面轴承；工作时，电机带动转盘进行转动，转盘与台架接触形成摩擦力，转盘受摩擦力影响，使电机负荷增大，增大了电力损耗；因此本发明电机带动转盘转动时，从而带动转盘与台架之间的平面轴承进行转动；本发明通过电机与平面轴承的配合，实现了转盘与台架之间由滑动摩擦改为滚动摩擦，降低了电机的负荷，进而减少了电能的损耗，实现了一种自动光刻机的可持续性。
优选的，所述曝光机上设有两个气管头，所述气管头的出气口对准工装台的中心，所述两个气管头的尾部均连有通气管，两个所述通气管共连有一个空压机；工作时，光刻机在进行曝光时，硅片上若存在尘埃，会影响曝光的准确，从而影响硅片的质量；因此本发明光刻机在工作时，电机会带动平面轴承使转盘进行转动，当凸台中心转动到曝光机正下方时，显微放大镜对其进行观察，此时空压机工作，使气管头出气对凸台上的工装台的硅片进行清理，使得硅片上的尘埃受冲击力的作用下离开了硅片表面，再使用显微放大镜确认吹净后，进而用曝光机对其曝光；本发明通过气管头吹气产生的冲击力与显微放大镜的配合下，使得曝光前的硅片得到有效的清理，从而提高了硅片的质量。
优选的，两个所述通气管按螺旋状缠绕在曝光机的侧面，螺旋状缠绕使得通气管与曝光机的接触更大，所述通气管的材料为铜合金，该材料具有导热性良好和耐化学性良好等优点，铜合金的性能满足通气管在本发明性能中的要求，该材料可保证本发明长期使用；工作时，曝光机在进行曝光工作时，会产生大量热量，降低了曝光机的使用寿命；因此本发明在进行曝光机进行曝光时，用铜合金材料的通气管按螺旋状缠绕在曝光机的侧面，增大了接触面积，当气管头出气在进行硅片表面的清理时，通气管的气流进行流动会带走热量，因此曝光机的热量会被通气管所吸收，从而使曝光机曝光时产生的热量能够有效的散去；本发明通过通气管的气体流动使得曝光机能够进行有效的散热，提高了曝光机的使用寿命，从而降低了光刻机的使用成本。
本发明的有益效果如下：
1.本发明通过工装台连接在四周的橡胶球与凸台内部的锥形孔和真空发生装置相配合来固定工装台，使得工作人员可以快速进行工装台拆取，并且可以适应不同工装台的大小，从而可以放置不同大小的硅片，进而提高了工作效率。
2.本发明通过在L型孔的进口处设置一对钢球来实现橡胶球锁定，通过锁止板受到的扭力和弹力绳的拉力作用下，使得下端凹槽的钢球的一部分顶在L型孔的进口处，从而封死了L型孔的进口，进而实现了互锁结构，使得工装台不受气体泄漏的影响，保证了工装台的稳定，降低了不良率，使得光刻机可以安全保障的进行工作。
3.本发明通过控制锁止板的摆动角度与扭簧相配合，实现了橡胶球顺利通过L型孔，从而使得工装台得到固定，进而保证了自动光刻机的正常运行；通过电机与平面轴承的配合，实现了转盘与台架之间由滑动摩擦改为滚动摩擦，降低了电机的负荷，进而减少了电能的损耗，实现了一种自动光刻机的可持续性。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的正三轴测图；
图2是本发明的俯视图；
图3是图2中A-A的剖视图；
图4是图3中B处放大图；
图5是本发明的工装台的结构剖视图；
图中：台架1、滑杆11、支架2、显微放大镜3、曝光机4、转盘5、凸台51、L型孔511、锥形孔512、凹缘513、凹槽514、弹簧5141、钢球5142、电机6、真空发生装置7、工装台8、大O型圈81、小O型圈82、基座83、凹坑831、凸缘832、弹力绳84、橡胶球85、锁止板9、扭簧12、平面轴承13、气管头14、通气管15。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1至图5所示，本发明所述的一种自动光刻机，包括台架1，还包括支架2、显微放大镜3、曝光机4、转盘5、电机6、真空发生装置7和工装台8；所述台架1上方设有滑杆11,所述滑杆11的上端滑动连接着支架2，滑动连接可用于调节支架2到台架1的距离；所述支架2另一端设置有曝光机4；所述曝光机4两侧对称设有显微放大镜3，通过设置在此处显微放大镜3的位置，便于显微放大镜3在曝光期间观察；所述曝光机4和显微放大镜3的正下方设有工装台8；所述工装台8包括大O型圈81、小O型圈82、基座83、弹力绳84和橡胶球85；所述基座83上端为凹坑831，所述凹坑831侧边缘设有台阶，所述台阶上设有小O型圈82，当硅片安装在台阶上时不与基座83直接接触，从而通过小O型圈82实现硅片的软连接，降低了硅片的磨损，通过小O型圈82可实现硅片与基座83的静态密封；所述凹坑831的底面设有通气孔；所述基座83下端为凸缘832，所述凸缘832上设有大O型圈81；所述基座83侧面均匀连接有四个弹力绳84，所述弹力绳84的另一端连接有橡胶球85；所述台架1的正上方设有转盘5；所述台架1与转盘5之间设有电机6，所述电机6用于驱动转盘5转动；所述转盘5为圆形，且转盘5的上端设有四个凸台51，四个所述凸台51截面为圆形且均匀分布在转盘5四周，所述凸台51的中心位于曝光机4的正下方；所述转盘5的中心处设有真空发生装置7，所述真空发生装置7用于抽取空气；所述凸台51的侧面设有四个均匀分布的L型孔511；所述L型孔511进口处上端均设有滑轮，所述L型孔511能够使橡胶球85顺利通过，L型孔511的下端设有锥形孔512，所述锥形孔512能将橡胶球85截止在其中径处，进而使橡胶球85紧密贴合在锥形孔512的内壁上；所述凸台51的上端设有凹缘513，所述凹缘513的中心处设有通气孔，所述通气孔贯穿至锥形孔512的下端；所述基座83设置在凸台51的正上方，所述凸缘832位于凹缘513内部，此时通过大O型圈81可将凸缘832的下端面与凹缘513的上端面进行密封；工作时，工作人员若进行不同规格大小的硅片工作，需要停止光刻机运转来进行拆卸，且拆卸螺栓费事费力，影响工作效率；因此本发明的工作人员将硅片放置在基座83的凹坑831处，凹坑831内的台阶上的小O型圈82使硅片底端进行密封，并且实现软连接，再将基座83放置在凸台51的上方，且凸缘832位于凹缘513的内部，这时工作人员迅速将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511内，启动真空发生装置7，此时橡胶球85受气压影响被带到锥形孔512处，进而使橡胶球85紧密贴合在锥形孔512的内壁上，硅片受气压的吸附力的影响也固定在工装台8上端凹坑831的台阶上，此时电机6带动转盘5进行旋转，当工装台8旋转到曝光机4正下方时，显微放大镜3和曝光机4对硅片进行曝光，若工作人员需要进行更换不同规格大小的工装台8时，无需让光刻机停止工作，可直接让真空发生装置7使曝光后的硅片下的气体进行泄压，此时工作人员可将橡胶球85迅速拔下，同时将工装台8取下，再按照上述步骤进行工装台8安装，进而可以快速完成更换工装台8；本发明通过工装台8连接在四周的橡胶球85与凸台51内部的锥形孔512和真空发生装置7相配合来固定工装台8，使得工作人员可以快速进行工装台8拆取，并且可以适应不同工装台8的大小，从而可以放置不同大小的硅片，进而提高了工作效率。
作为本发明的一种实施方式，所述L型孔511的进口处的上端和下端各设置有一个凹槽514，所述凹槽514内均安装有弹簧5141和钢球5142，所述钢球5142位于凹槽514的槽口内部，所述弹簧5141位于凹槽514的内部，所述弹簧5141将钢球5142的一部分顶在L型孔511的进口处；工作时，当真空发生装置7的管道的气体发生漏泄，橡胶球85不受吸附力的影响，橡胶球85受弹力绳84影响会直接拉出L型孔511外，此时工装台8发生晃动，工装台8晃动带动硅片发生偏移，造成曝光偏移，进而使硅片报废；因此本发明工作人员将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511，经过橡胶球85挤压钢球5142使L型孔511的进口打开，此时钢球5142受弹簧5141弹力影响进行复位堵住进口处，这时启动真空发生装置7，此时橡胶球85受气压影响被带到锥形孔512处，进而使橡胶球85紧密贴合在锥形孔512的内壁上，硅片受气压的吸附力的影响也固定在工装台8上端凹坑831的台阶上，若这时真空发生装置7的管道突然漏气，橡胶球85不受气压影响，其位置发生了偏移，经过弹力绳84的伸缩，使得橡胶球85卡在两个钢球5142之间，不会造成工装台8发生位置偏移的现象；本发明通过在L型孔511的进口处设置一对钢球5142来实现橡胶球85锁定，进而使得工装台8不受气体泄漏的影响，保证了工装台8的稳定，降低了不良率，使得光刻机可以安全保障的进行工作。
作为本发明的一种实施方式，位于下端的所述钢球5142的下方设有锁止板9，所述锁止板9的一端位于L型孔511的拐角处，锁止板9的中心处设有一个定位销，所述定位销上套有扭簧12，锁止板9在扭簧12的作用下处于受力状态，所述锁止板9的另一端位于钢球5142的下端；工作时，L型孔511进口处下端的钢球5142下方的弹簧5141失效时，会造成弹簧5141沉在凹槽514内，造成L型的进口处不能及时封死，当出现真空发生装置7失效时，橡胶球85受弹力绳84影响会直接拉出L型孔511外，从而影响工装台8的稳定性，进而影响硅片晃动，造成硅片报废；因此本发明工作人员将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511，经过橡胶球85挤压钢球5142使L型孔511的进口打开，此时锁止板9受扭簧12扭力影响产生推力顶住钢球5142，这时钢球5142受锁止板9推力和弹簧5141弹力影响进行复位堵住进口处，这时启动真空发生装置7，此时橡胶球85受气压影响被带到锥形孔512处，进而使橡胶球85紧密贴合在锥形孔512的内壁上，这时弹力绳84处于拉紧状态，锁止板9受弹力绳84的拉力影响产生向下的作用力，经锁止板9中部的定位销传递，使L型孔511进口处下端的钢球5142顶在凹槽514槽口，进而实现L型孔511的进口处封死，此时真空发生装置7和下端凹槽514的弹簧5141同时失效，因下端凹槽514槽口的钢球5142受锁止板9的作用，仍然可以将L型孔511的进口处封死，弹力绳84受拉力影响带动橡胶球85发生位置偏移，橡胶球85经过锁止板碰撞发生能量损耗后，卡在了进口处的两个钢球5142之间，不会造成工装台8发生位置偏移的现象；本发明通过锁止板9受到的扭力和弹力绳84的拉力作用下，使得下端凹槽514的钢球5142的一部分顶在L型孔511的进口处，从而封死了L型孔511的进口，进而实现了互锁结构，保证了工装台8的稳定，使得光刻机可以稳定的进行工作。
作为本发明的一种实施方式，所述锁止板9的摆动角度为15度；工作时，工作人员将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511，经过橡胶球85挤压钢球5142下方锁止板9，使得锁止板9通过定位销进行转动，使得定位销卡在了L型孔511的进口处，从而使橡胶球85无法进入L型孔511内，造成工装台8无法固定的现象，因此本发明工作人员将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511，经过橡胶球85挤压钢球5142下方锁止板9，使得锁止板9通过定位销进行转动，因锁止板9的摆动角度为15度，故橡胶球85能够顺利通过，此时锁止板9受扭簧12扭力影响产生推力顶住钢球5142，这时钢球5142受锁止板9推力和弹簧5141弹力影响进行复位堵住进口处，锁止板9回到了初始状态，这时启动真空发生装置7，此时橡胶球85受气压影响被带到锥形孔512处，工装台8受弹力绳84拉力影响从而得到固定；本发明通过控制锁止板9的摆动角度与扭簧12相配合，实现了橡胶球85顺利通过L型孔511，从而使得工装台8得到固定，进而保证了自动光刻机的正常运行；
所述台架1与转盘5之间设有平面轴承13；工作时，电机6带动转盘5进行转动，转盘5与台架1接触形成摩擦力，转盘5受摩擦力影响，使电机6负荷增大，增大了电力损耗；因此本发明电机6带动转盘5转动时，从而带动转盘5与台架1之间的平面轴承13进行转动；本发明通过电机6与平面轴承13的配合，实现了转盘5与台架1之间由滑动摩擦改为滚动摩擦，降低了电机6的负荷，进而减少了电能的损耗，实现了一种自动光刻机的可持续性。
作为本发明的一种实施方式，所述曝光机4上设有两个气管头14，所述气管头14的出气口对准工装台8的中心，两个所述气管头14的尾部均连有通气管15，两个所述通气管15共连有一个空压机；工作时，光刻机在进行曝光时，硅片上若存在尘埃，会影响曝光的准确，从而影响硅片的质量；因此本发明光刻机在工作时，电机6会带动平面轴承13使转盘5进行转动，当凸台51中心转动到曝光机4正下方时，显微放大镜3对其进行观察，此时空压机工作，使气管头14出气对凸台51上的工装台8的硅片进行清理，使得硅片上的尘埃受冲击力的作用下离开了硅片表面，再使用显微放大镜3确认吹净后，进而用曝光机4对其曝光；本发明通过气管头14吹气产生的冲击力与显微放大镜3的配合下，使得曝光前的硅片得到有效的清理，从而提高了硅片的质量。
作为本发明的一种实施方式，两个所述通气管15按螺旋状缠绕在曝光机4的侧面，螺旋状缠绕使得通气管15与曝光机4的接触更大，所述通气管15的材料为铜合金，该材料具有导热性良好和耐化学性良好等优点，铜合金的性能满足通气管15在本发明性能中的要求，该材料可保证本发明长期使用；工作时，曝光机4在进行曝光工作时，会产生大量热量，降低了曝光机4的使用寿命；因此本发明在进行曝光机4进行曝光时，用铜合金材料的通气管15按螺旋状缠绕在曝光机4的侧面，增大了接触面积，当气管头14出气在进行硅片表面的清理时，通气管15的气流进行流动会带走热量，因此曝光机4的热量会被通气管15所吸收，从而使曝光机4曝光时产生的热量能够有效的散去；本发明通过通气管15的气体流动使得曝光机4能够进行有效的散热，提高了曝光机4的使用寿命，从而降低了光刻机的使用成本。
工作时，工作人员将硅片放置在基座83的凹坑831处，凹坑831内的台阶上的小O型圈82使硅片底端进行密封，并且实现软连接，再将基座83放置在凸台51的上方，且凸缘832位于凹缘513的内部，通过大O型圈81可将凸缘832的下端面与凹缘513的上端面进行密封；这时工作人员迅速将工装台8上四个橡胶球85分别放入对应的L型孔511内，经过橡胶球85挤压钢球5142使L型孔511的进口打开，此时锁止板9受扭簧12扭力影响产生推力顶住钢球5142，这时钢球5142受锁止板9推力和弹簧5141弹力影响进行复位堵住进口处，这时启动真空发生装置7，此时橡胶球85受气压影响被带到锥形孔512处，进而使橡胶球85紧密贴合在锥形孔512的内壁上，这时弹力绳84处于拉紧状态，锁止板9受弹力绳84的拉力影响产生向下的作用力，经锁止板9中部的定位销传递，使L型孔511进口处下端的钢球5142顶在凹槽514槽口，进而实现L型孔511的进口处封死，这时硅片受气压的吸附力的影响也固定在工装台8上端凹坑831的台阶上，随后电机6带动转盘5转动，从而带动转盘5与台架1之间的平面轴承13进行转动，当凸台51中心转动到曝光机4正下方时，显微放大镜3对其进行观察，此时空压机工作，使气管头14出气对凸台51上的工装台8的硅片进行清理，使得硅片上的尘埃受冲击力的作用下离开了硅片表面，再使用显微放大镜3确认是否吹净，进而用曝光机4对其曝光，在进行曝光机4进行曝光时，用铜合金材料的通气管15按螺旋状缠绕在曝光机4的侧面，增大了接触面积，当气管头14出气在进行硅片表面的清理时，通气管15的气流进行流动会带走热量，因此曝光机4的热量会被通气管15所吸收，从而使曝光机4曝光时产生的热量能够有效的散去，若工作人员需要进行更换不同规格大小的工装台8时，无需让光刻机停止工作，可直接让真空发生装置7使曝光后的硅片下的气体进行泄压，此时工作人员可将橡胶球85迅速拔下，进而可以快速完成更换工装台8。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
