一种用于EUV平版印刷的投影系统
技术领域
本实用新型涉及显微光刻物镜技术领域，具体而言，涉及一种用于EUV平版印刷的投影系统。
背景技术
目前深紫外线投影光刻系统中的一个步骤和扫描模式将能够用于两三个设备节点的半导体产业的需求，这已被广泛接受。新一代光刻印刷系统将使用曝光波长在约11纳米到15纳米的极端紫外线或软 X射线，也在步骤以及扫描印刷结构中。现在六镜投影系统已经开始慢慢普及，但是不能很好地适合在极端紫外线波长的光刻。首先，系统会受到机械稳定性问题。其次，实施方案的调节定位不方便。最后，是数值孔径相当小，而使系统无法处理30纳米设计规则。
实用新型内容
为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种用于EUV平版印刷的投影系统，本实用新型是这样实现的：一种用于EUV平版印刷的投影系统，包括透镜，所述透镜包括第一镜、第二镜、第三镜、第四镜、第五镜、第六镜以及孔径光阑，所述第一镜到第六镜均通过固定装置连接有镜面固定架，所述镜面固定架固定连接有一伸缩杆，所述伸缩杆上标有刻度线，所述刻度线用于高度定位，所述伸缩杆固定套接有一支撑杆，所述支撑杆上固定设有加紧旋钮，所述支撑杆固定连接有固定板，所述固定板滑动设置在一平台上。
所述固定装置包括柔性固定块、固定螺钉、固定螺母以及套环，所述套环通过可调螺母连接，所述可调螺母可以调节套环的开合度，所述套环固定在所述镜面固定架上，所述套环内壁设有柔性面，所述柔性面防止透镜放置时对其造成损坏，所述套环上固定设有所述柔性固定块，所述柔性固定块用于加紧所述透镜，所述柔性固定块开设有螺纹孔，所述固定螺母套接在所述固定螺钉中，所述固定螺钉与所述螺纹孔螺旋连接。
所述平台上固定设有滑轨，所述滑轨上设有可拆卸卡头，所述固定板下固定设有滑块，所述滑块与所述滑轨相互配合，所述滑轨侧边设有标尺，所述标尺用于确定各个透镜在水平面上的位置，定位完成过后，将所述卡头卡接在滑轨上，固定板通过螺母固定在所述平台上。
进一步地，所述第六镜位于从物平面到像平面的光路中，沿光路方向上述各部件之间的位置关系依次为：第一镜、孔径光阑、第二镜、第三镜、第四镜、第五镜以及第六镜，所述第一镜、孔径光阑、第二镜、第三镜和第四镜设为第一镜组，所述第一镜、第三镜、第四镜、第五镜以及第六镜设为第二镜组，所述第六镜被构造成用于将物平面的物体成像到像平面。
进一步地，该系统沿光程形成中间图像，所述中间图像在第二镜和第三镜之间形成。
进一步地，所述第一镜为凹面镜，所述第二镜为凹面镜，所述第三镜为凸面镜，所述第四镜为凹面镜，所述第五镜为凸面镜，所述第六镜为凹面镜。
进一步地，所述孔径光阑于介于第一镜和第二镜的光路之间。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种用于EUV平版印刷的投影系统，使用时，第一镜组用于将物面成中间像于第五镜和第六镜之间；第二镜组用于将所述中间像成像于像面上，该系统能很好地适合在极端紫外线波长的光刻。透镜的高度可以通过伸缩杆进行调节，伸缩杆上还设有刻度线，方便高度定位，透镜通过固定装置固定，机械稳定性较高，同时透镜能在水平方向上滑动，防止水平定位时拆卸造成的损坏。本装置还可以很好的适用于现代半导体光刻印刷系统所需的图像的远心成像，数值孔径相比较传统投影系统较大，使系统可以处理30纳米设计规则，在扫描方向存在较大领域，可以扩大生产量，该进程在经济上可行。
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
附图说明
图1是本实用新型实施方式的结构示意图；
图2是本实用新型实施方式原理图；
图3是本实用新型实施方式固定装置结构示意图；
图4表示环领域物平面目标图。
图中：M1-第一镜；M2-第二镜；M3-第三镜；M4-第四镜；M5- 第五镜；M6-第六镜；G1-第一镜组；G2-第二镜组；1-物体；2-硅片；3-镜面固定架；4-伸缩杆；5-刻度线；6-支撑杆；7-加紧旋钮；8-柔性固定块；9-固定螺钉；10-固定螺母；11-套环；12-滑轨；13-滑块； 14-固定板。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
实施例
请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于 EUV平版印刷的投影系统，包括透镜，所述透镜包括第一镜M1、第二镜M2、第三镜M3、第四镜M4、第五镜M5、第六镜M6以及孔径光阑，所述第一镜M1到第六镜M6均通过固定装置连接有透镜固定架，所述透镜固定架固定连接有一伸缩杆4，所述伸缩杆4上标有刻度线5，所述刻度线5用于高度定位，所述伸缩杆4固定套接有一支撑杆6，所述支撑杆6上固定设有加紧旋钮7，所述支撑杆6固定连接有固定板14，所述固定板14滑动设置在一平台上。具体地，根据物体1的高度，可以通过调节伸缩杆4的高度，使透镜与物体1 的中心点在同一水平面上，伸缩杆4上标有刻度线5方便快速定位，并通过加紧旋钮7进行固定。
所述固定装置包括柔性固定块8、固定螺钉9、固定螺母10以及套环11，所述套环11通过可调螺母连接，所述可调螺母可以调节套环11的开合度，所述套环11固定在所述镜面固定架3上，所述套环 11内壁设有柔性面，所述柔性面防止透镜放置时对其造成损坏，所述套环11上固定设有所述柔性固定块8，所述柔性固定块8用于加紧所述透镜，所述柔性固定块8开设有螺纹孔，所述固定螺母10套接在所述固定螺钉9中，所述固定螺钉9与所述螺纹孔螺旋连接。具体地，将透镜放置在所述套环11上，通过调节可调螺母夹紧透镜，旋转固定螺母10，使柔性固定块8夹紧透镜，双重固定，使透镜更加稳定。
所述平台上固定设有滑轨12，所述滑轨12上设有可拆卸卡头，所述固定板14下固定设有滑块，所述滑块与所述滑轨12相互配合，所述滑轨12侧边设有标尺，所述标尺用于确定各个透镜在水平面上的位置，定位完成过后，将所述卡头卡接在滑轨12上，固定板14 通过螺母固定在所述平台上。
所述第六镜M6位于从物平面到像平面的光路中，沿光路方向上述各部件之间的位置关系依次为：第一镜M1、孔径光阑、第二镜 M2、第三镜M3、第四镜M4、第五镜M5以及第六镜M6，所述第一镜M1、孔径光阑、第二镜M2、第三镜M3和第四镜M4设为第一镜组G1，所述第一镜M1、第三镜M3、第四镜M4、第五镜M5以及第六镜M6设为第二镜组G2，所述第六镜M6被构造成用于将物平面的物体1成像到像平面。
进一步地，所述孔径光阑于介于第一镜M1和第二镜M2的光路，且孔径光阑不位于所述第一镜M1和所述第二镜M2上，所述第一镜 M1为凹面镜，所述第二镜M2为凹面镜，所述第三镜M3为凸面镜，所述第四镜M4为凹面镜，所述第五镜M5为凸面镜，所述第六镜 M6为凹面镜。
进一步地，请参阅图4，所述物体1平面具有宽度W以及正割长度SL，所述的宽度W是2mm或3mm。
在一些具体的实施方案中，该系统在物体1图片上的数值孔径大于0.18。
在一些具体的实施方案中，该系统沿光程形成中间图像，所述中间图像在第二镜M2和第三镜M3之间形成，可以最大程度上避免光路反射区域和通光区域发生重叠，产生光路遮拦。
具体地，该系统工作原理为：在使用时，第一镜组G1用于将物面成中间像于第五镜M5和第六镜M6之间，第二镜组G2用于将所述中间像成像于像面上，照明机构发出的光线入射到第一镜M1上，经过第一镜M1反射后的光线分别充满孔径光阑，再经过第二镜M2、第三镜M3和第四镜M4成中间像于第六镜M6下边缘附近，中间像经过第二镜组G2后各视场主光线垂直于像面出射，最终成像于像面即硅片2面上。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
