一种掩膜板清洗机药液检测装置
技术领域
本实用新型涉及清洗机药液检测领域，尤其涉及一种掩膜板清洗机药液检测装置。
背景技术
在当前OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机电致发光二极管)制程技术中，用于真空蒸镀的掩模板非常重要和关键，该部件的精度与质量将直接决定OLED产品的显示效果与品质。掩模板(Mask)，特别是高精细金属掩模板(FinemetalMask)，随着使用次数增加残留在上面的有机材料逐渐增多，会造成蒸镀区域精准度欠佳。在制程中，掩模板在循环使用前必须清除这些有机材料等杂质。目前的掩膜板清洗机一般使用溶解能力较强的如N-甲基吡咯烷酮等药液去除掩模板上的有机材料，但随着掩膜板清洗数量增多药液中的有机物颗粒增加致使药液浓度降低，导致其清洗能力下降，掩膜板的清洗效果不佳，因此需要更换药液以继续清洗，但目前操作人员并没有可参考的指标了解药液内杂质含量继而做出适合更换时间的判断，往往是根据药液的浑浊程度做出经验性判断，或者依据掩膜板清洗数量是否达到某一设定值，以上方式带来的问题是如果过早更换药液会浪费资源，制程中使用的药液价格非常昂贵，导致掩模板的清洗成本大大增加，如果过晚更换，则可能由于溶液内有机物浓度过大导致掩模板清洗效果差，影响OLED显示屏的显示效果与品质。
实用新型内容
为此，需要提供一种掩膜板清洗机药液检测装置，解决清洗机药液无法检测的问题。
为实现上述目的，发明人提供了一种掩膜板清洗机药液检测装置，包括清洗槽、第一电磁阀、透光容器、发光单元、光接收单元、处理单元和显示单元，清洗槽通过管路与第一电磁阀连通，第一电磁阀通过管路与透光容器连通，发光单元和光接收单元分别设置在透光容器的两侧，发光单元发出的光线经过透光容器后到达光接收单元，所述处理单元与第一电磁阀、光接收单元、显示单元连接。
进一步地，还包括储液槽和第二电磁阀，储液槽通过管路与第二电磁阀连通，第二电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第二电磁阀连接。
进一步地，还包括第一液位传感器和第二液位传感器，第一液位传感器和第二液位传感器分别设置在透光容器不同高度位置，第一液位传感器和第二液位传感器与所述处理单元连接。
进一步地，还包括第三电磁阀，透光容器通过管路与第三电磁阀连通，第三电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第三电磁阀连接。
进一步地，还包括报警单元，所述报警单元与所述处理单元连接。
进一步地，所述显示单元为数字显示单元或机械指针显示单元。
区别于现有技术，上述技术方案通过光接收单元检测穿过透光容器内药液的光强度，可以准确地判断出药液有机物颗粒浓度，实现了药液有机物颗粒浓度的精确测量，利于准确判断药液更换时机，避免了目前经验性判断方法更换溶液的弊端。
附图说明
图1具体实施方式所述的装置结构示意图。
附图标记说明：
1、清洗槽；
2、第一电磁阀；
3、透光容器；
4、发光单元；
5、光接收单元；
6、处理单元；
7、显示单元；
8、储液槽；
9、第二电磁阀；
10、第一液位传感器；
11、第二液位传感器；
12、第三电磁阀；
13、报警单元。
具体实施方式
为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
请参阅图1，本实施例提供一种掩膜板清洗机药液检测装置，包括清洗槽1、第一电磁阀2、透光容器3、发光单元4、光接收单元5、处理单元6和显示单元7，清洗槽通过管路与第一电磁阀连通，第一电磁阀通过管路与透光容器连通，发光单元和光接收单元分别设置在透光容器的两侧，发光单元发出的光线经过透光容器后到达光接收单元，所述处理单元与第一电磁阀、光接收单元、显示单元连接。
其中，清洗槽内盛放掩模板清洗机使用药液，通过管路将药液引入到透光容器，管路中设置第一电磁阀2，处理单元与第一电磁阀2连接以控制管路开闭。当然，如果清洗槽的液位比较低，可以将电磁阀替换成液压泵，本实用新型的电磁阀或者液压泵都可以实现药液流通控制。透光容器壁允许检测光通过，并且对光损耗程度已知。发光单元位于透光容器一侧发出检测光，检测光可以是垂直穿过透光容器壁进入稀释后的待测药液形成透射光，接收单元位于容器另一侧，可以相对透光容器等距布置，光接收单元接收到透射光后进行光电转化将光强信号转化为电信号，接收单元与处理单元连接，处理单元根据接收到的电信号值计算出有机物含量。在具体应用中，为了避免外界光的影响，透光容器3、发光单元4、光接收单元5可以设置在一个不透光的容器内或者放置在黑暗处。光接收单元用于根据光线强度转换为对应的电压值，光强度越大，电压值越大。处理单元可以是单片机或者数字电路，单片机可以控制第一电磁阀打开时间，来控制药液的流入，同时可以将光接收单元的电压值转换为数字大小并在显示单元显示。数字电路可以将光接收单元的电压值转换为数字信号大小并在显示单元显示。显示单元可以是数字显示单元或机械指针显示单元。本实用新型在使用时，首先打开第一电磁阀让待检测药液流进透光容器，而后通过光接收单元检测穿过透光容器内药液的光强度，通过显示的光强度可以准确地判断出药液有机物颗粒浓度，实现了药液有机物颗粒浓度的精确测量，利于准确判断药液更换时机，避免了目前经验性判断方法更换溶液的弊端。对于具体更换的时机，可以将处于临界状态的药液导入到透光容器中，检测当前的光强度。而后如果光强度大于该值，则说明药液可以继续使用，如果低于该值，则药液不能使用，可以通过清洗槽的排液口更换药液。
在实际使用中，光在穿过溶液时射出的光有透射光及散射光，散射光是由于溶液内部的颗粒对光的散射作用形成，并且颗粒浓度越高散射作用越强，散射光强度就会越大，目前技术是依靠检测透光强度来测量溶液内部颗粒浓度，精确度可能会相对偏低。为避免药液中有机物颗粒过浓造成散射作用的影响，本实用新型还包括储液槽8和第二电磁阀9，通过储液槽，往透光容器内添加入设定体积的洁净药液实现待测药液的稀释，从而减弱光的散射效果，提高检测准确性。在使用时，储液槽存储足量洁净的药液(还未使用的药液)，储液槽通过管路与第二电磁阀连通，第二电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第二电磁阀连接。在检测之前，控制第二电磁阀打开，通过储液槽将洁净药液流入透光容器进行混合，而后再进行检测，可以降低光的散射对检测的影响，提高准确性。
上述的混合要进行定量比例的混合才能保证每次结果的准确，可以通过控制电磁阀打开的时间来进行定量，或者在某些实施例中，可以通过液位传感器进行定量检测来确定。如图1所示，本实用新型还包括第一液位传感器10和第二液位传感器11，第一液位传感器和第二液位传感器分别设置在透光容器不同高度位置，第一液位传感器和第二液位传感器与所述处理单元连接。第一液位传感器和第二液位传感器可以设置在低液位和高液位两个检测位置且位置高低可调，其中，低液位部分可以为从清洗槽内流入的待测药液，高液位与低液位间的容积为洁净药液的容量。如果当前的液位高度混合后的检测效果不理想，可以设置不同的高低液位可实现待测药液的不同比例的稀释，检测效果理想后就可以固定该液位高度。在进行药液稀释时，首先第一电磁阀打开，待测药液沿管路进入透光容器，当低液位传感器(第一液位传感器10)感知液位到达低液位时输出信号并传递给处理单元，处理单元控制第一电磁阀闭合，待测药液停止流入容器。然后，处理单元控制第二电磁阀打开，洁净药液从储液槽流入透光容器，同样地，当透光容器内液位到达高液位时触发高液位传感器，传感器输出信号给处理单元控制第二电磁阀闭合，从而实现了待测药液的固定比例稀释。
进一步地，透光容器底部设置排液口和第三电磁阀12，透光容器通过管路与第三电磁阀连通，第三电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第三电磁阀连接。排液口管路与清洗槽接通，测量后排出的药液可回流至清洗槽再利用以避免浪费。当检测结束或需要重复检测时，先由处理单元打开第三电磁阀12排出药液，然后关闭第三电磁阀12打开电磁阀2通入洁净药液到达高液位，随后关闭电磁阀2再打开第三电磁阀12，药液排出并带走透光容器内残留的有机物颗粒，实现了透光容器的自动清洗。
可选地，处理单元中内置存储器，可记录检测时间及浓度等数据。另外，显示单元可以包含有触摸屏，可以供操作人员选择和设定相关操作方式，例如多次检测及翻看数据记录等。可选地，处理单元中设置浓度上限，当检测到药液有机物浓度达到设定值会通过显示或者报警单元13发出报警信号，提示操作人员更换药液。
需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。
