数字曝光机的扫描Mura检测方法及装置
技术领域
本发明实施例涉及数字曝光技术领域，尤其涉及一种数字曝光机的扫描Mura检测方法及装置。
背景技术
数字曝光机具有高分辨率和无需制作掩膜板(Mask)等优势，是未来曝光技术发展的方向，但由于结构及曝光原理会引起Scan Mura(扫描不均匀)，且扫描Mura在不同的曝光基板(glass)之间没有明显的规律可寻，从而使得扫描Mura难以被监控，直接影响产品质量。
发明内容
本发明实施例提供一种数字曝光机的扫描Mura检测方法及装置，用于解决数字曝光机的扫描Mura难以被监控的问题。
为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的：
第一方面，本发明实施例提供了一种数字曝光机的扫描Mura检测方法，包括：
获取数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的点坐标Hij，将所述点坐标转换为M*N的对焦平面测量数据矩阵，所述对焦平面测量数据矩阵中的每一个数值均为Hij，M为所述曝光设备的数字微镜装置在第一方向上的微镜的数量，N为所述数字微镜装置在第二方向上的微镜的数量；
获取因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α和第二方向上的角度β而造成的各微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值矩阵；
获取第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形的曝光次数；
根据所述对焦平面测量数据矩阵、所述差异值矩阵和所述曝光次数，确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据；
根据所述等价自动对焦测量数据，确定所述数字曝光机的扫描Mura。
可选的，所述差异值矩阵Bij为：
其中，Dα为因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α而造成的相邻两微镜在第一方向上的高度差，Dβ为因所述数字微镜装置在第二方向的角度β而造成的相邻两微镜在第二方向上的高度差，p1为所述数字微镜装置的第一方向上的微镜的使用率，p2为所述数字微镜装置的第二方向上的微镜的使用率，L为所述数字微镜装置在第一方向上的长度，L＝M*d，W为所述数字微镜装置在第二方向上的长度，W＝N*d，每个微镜的尺寸为d*d。
可选的，所述曝光次数f(l)为：
可选的，第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据Cij(k)为：
Bi,j(k,l)＝l*Dα+k*Dβ
其中，Bij(k,l)为第k行第l列的微镜与第1行第1列的微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值。
可选的，所述确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据之后还包括：
绘制以下图表中的至少一项：
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制二维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述二维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域；
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制三维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述三维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域，第三坐标轴为等价自动对焦测量数据；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描和第i+1次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的比对图，其中，第i次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为M次，第i+1次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为1次；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的比对图。
可选的，所述根据所述等价自动对焦测量数据，确定所述数字曝光机的扫描Mura之后还包括：
对确定的扫描Mura进行报警。
第二方面，本发明实施例提供了一种数字曝光机的扫描Mura检测装置，包括：
第一获取模块，用于获取数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的点坐标Hij，将所述点坐标转换为M*N的对焦平面测量数据矩阵，所述对焦平面测量数据矩阵中的每一个数值均为Hij，M为所述曝光设备的数字微镜装置在第一方向上的微镜的数量，N为所述数字微镜装置在第二方向上的微镜的数量；
第二获取模块，用于获取因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α和第二方向上的角度β而造成的各微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值矩阵；
第三获取模块，用于获取第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形的曝光次数；
第一确定模块，用于根据所述对焦平面测量数据矩阵、所述差异值矩阵和所述曝光次数，确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据；
第二确定模块，用于根据所述等价自动对焦测量数据，确定所述数字曝光机的扫描Mura。
可选的，所述差异值矩阵Bij为：
其中，Dα为因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α而造成的相邻两微镜在第一方向上的高度差，Dβ为因所述数字微镜装置在第二方向的角度β而造成的相邻两微镜在第二方向上的高度差，p1为所述数字微镜装置的第一方向上的微镜的使用率，p2为所述数字微镜装置的第二方向上的微镜的使用率，L为所述数字微镜装置在第一方向上的长度，L＝M*d，W为所述数字微镜装置在第二方向上的长度，W＝N*d，每个微镜的尺寸为d*d。
可选的，所述曝光次数满足：
其中，m为曝光次数，f(l)为曝光选择的微镜的个数，M为所述数字微镜装置在第一方向上的微镜的个数。
可选的，第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据Cij(k)为：
Bi,j(k,l)＝l*Dα+k*Dβ
其中，Bij(k,l)为第k行第l列的微镜与第1行第1列的微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值。
可选的，所述数字曝光机的扫描Mura检测装置还包括：
绘制模块，用于绘制以下图表中的至少一项：
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制二维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述二维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域；
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制三维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述三维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域，第三坐标轴为等价自动对焦测量数据；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描和第i+1次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的比对图，其中，第i次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为M次，第i+1次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为1次；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的比对图。
可选的，所述数字曝光机的扫描Mura检测装置还包括：
报警模块，用于对确定的扫描Mura进行报警。
本发明实施例中，由于考虑到对焦面的三维特性以及曝光次数(Multiple)，能够确定更准确的自动对焦测量数据，从而确定数据曝光机的扫描Mura，根据该扫描Mura可以分析出数字曝光机因自动对焦造成的每一次扫描之间的差异，从而对找到造成扫描Mura的真正机台因素和解决扫描Mura方案有重要作用，并且实时监控机台的自动对焦测量数据，对可能造成出现扫描Mura的自动对焦测量数据报警，使出现的扫描Mura可被监控，这对量产可行性也有重大的意义。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
图1为数字曝光机的曝光过程示意图；
图2为自动对焦过程中的测量曝光基板高度的方法示意图；
图3为自动对焦测量数据地图；
图4为自动对焦过程中的对焦平面的示意图；
图5为本发明实施例中的数字曝光机的扫描Mura检测方法的流程示意图；
图6为数字曝光机的扫描次序与测量区域的示意图；
图7为本发明实施例的数字曝光机的等价自动对角数据的获取过程示意图；
图8和图9为本发明实施例的数字曝光机的一次扫描过程中的曝光次数的示意图；
图10和图11为将根据等价自动对焦数据为Cij绘制的自动对焦测量数据地图与对实际显示模组的点亮效果图的比较示意图；
图12和图13为本发明实施例的二维自动对焦测量数据地图的示意图；
图14为本发明实施例的三维自动对焦测量数据地图的示意图；
图15和图16为第i次扫描和第i+1次扫描在曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的差异示意图；
图17为第i次扫描在曝光基板的测量区域j处的图形接收到的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的比对示意图；
图18为本发明实施例中的自动对焦测量数据地图的绘制软件的界面示意图；
图19为本发明实施例中的数字曝光机的扫描Mura检测装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
数字曝光机的扫描Mura是目前亟待解决的问题，从点亮的显示产品中，可以观察到扫描Mura的整体规律在整个基板(glass)上是随机分布的。如图1所示为数字曝光机的曝光过程示意图，影响曝光品质的因素主要有以下几点：1.TTZ，即DMD(Digital MicromirrorDevice，数字微镜装置)的角度；2.Dose(曝光能量)；3.Fade(曝光能量模糊区)；4.LensAberration(镜片相差)；5.Focus(焦点)平面；6.Stage Movement(机台运动情况)；7.Pattern Indensity(图形密度)。以上因素与扫描Mura的结果的随机性结果对比，有随机性表现的因素是曝光过程中的Focus(对焦)平面和Stage Movement(机台运动情况)。
为了使虚拟光罩上的图案可以完全且精确的转移到光阻上，因此数字曝光机投射到光阻层上的图案，必须具备一定的聚焦深度(depth of focus，DOF)，使整个光阻层，无论在接近光阻层表面还是地面，都具有相同的聚焦效果。一般而言，以DOF来表示数字曝光机所提供的聚焦深度，DOF＝K2λ/(NA)^2，其中，K是与光阻材料及工艺参数相关的一个常数，NA是数字曝光机镜片系统的数值孔径(Numerical Aperture，NA)的值，λ是数字曝光机的光源波长。其中，为了使数字曝光机的聚焦深度增加，光源的波长应该越长越好，数字曝光机镜片系统的NA值也是越小越好。
而，数字曝光机的分辨率与数字曝光机的光源波长的关系为R＝Kλ/NA，其中K是与光阻材料及工艺参数相关的一个常数，NA是数字曝光机镜片系统的数值孔径的值，λ是数字曝光机光源波长。由以上关系可以得知，数字曝光机光源波长λ越短时，数字曝光机的分辨率也就越小。而当数字曝光机镜片系统的NA越大，同样的数字曝光机所提供的分辨率越小。
可见，如果数字曝光机有较高的分辨率，DOF则较低。
为了使在曝光过程中focus平面始终处在DOF内，在曝光过程中，通过设置探测传感器，用于测量曝光基板和机台的高度变化，根据测量到的高度变化，调节数字微镜装置的高度，保证曝光时，focus平面始终在DOF范围内。如图2所示，图中包括三个测量曝光基板高度的探测传感器，根据三个传感器的测量数据会得出一个高度(即自动对焦测量数据)，根据该高度调节数字微镜装置与曝光基板之间的距离，使得focus平面一直处在DOF内，该功能即自动对焦(Autofocus)。
曝光完整张基板后，数字曝光机会记录曝光基板的不同曝光区域(EYE)中所有的SCAN在相同测量位置的自动对焦测量数据，并绘制自动对焦测量数据地图(autofocusheight map)，分析出曝光基板和机台的形变。
如图3所示为自动对焦测量数据地图(autofocus height map)图，图3中，横坐标为扫描序号(Scan NO.)，表示第N次扫描(Scan)，纵坐标为测量区域(Scan position)的长度(距离扫描起始点的长度)，二维图中的数据表示第N次扫描的自动对焦测量数据的变化值。然而，该图只能分析整个曝光基板和机台的高度变化，并不能分析出自动对焦造成的scan与scan之间的差异，原因在于，测量的自动对焦测量数据把整个数字微镜装置(DMD)的几何尺寸，数字微镜装置的角度，Multiple(表示对曝光基板同一位置的图形，有多少个微镜(mirror)做曝光)次数全部忽略，完全抽象成一个点坐标。如图4所示，实际的focus平面是一个有角度的三维平面(即图4中的沙漏状图形)，实际处理过程中把所有该focus平面当成一个值处理，这与实际观测到扫描Mura在不同的曝光基板之间没有明显的规律可寻相匹配，说明分析自动对焦测量数据对产生扫描Mura有重要影响。
因此，如何建立从自动对焦测量数据分析扫描Mura的方法，对找到造成扫描Mura的真正机台因素和解决扫描Mura方案有重要作用，并且实时监控机台的自动对焦测量数据，对可能造成出现扫描Mura的自动对焦测量数据报警，使出现的扫描Mura可被监控，这对量产可行性也有重大的意义。
为解决上述问题，请参考图5，本发明实施例提供一种数字曝光机的扫描Mura检测方法，包括：
步骤51：获取数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的点坐标Hij，将所述点坐标转换为M*N的对焦平面测量数据矩阵，所述对焦平面测量数据矩阵中的每一个数值均为Hij，M为所述曝光设备的数字微镜装置在第一方向上的微镜的数量，N为所述数字微镜装置在第二方向上的微镜的数量；
需要说明的是，一个数字曝光机包括多个曝光设备，每一曝光设备包括一个数字微镜装置，每一曝光设备对应曝光基板上的一个曝光区域(EYE)。
本步骤是将测量点(即自动对焦测量数据的点坐标Hij)转换为测量面(即对焦平面测量数据矩阵Aij)，具体的，将第i次扫描在曝光基板的测试区域j处的自动对焦测量数据的点坐标Hij分配给数字微镜装置的每个微镜(mirror)，形成与数字微镜装置的微镜数量相同的矩阵，矩阵中每个微镜的自动对焦测量数据均为Hij，第k行第l列的微镜的测量点数据为Ai,j(k,l)＝Hij。对焦平面测量数据矩阵Aij可以表示为：
如图6所示，可以将曝光基板分成多个曝光区域(EYE)，每个曝光区域对应数字曝光机的一个曝光设备，图6中，将曝光基板分成18个EYE，每个EYE内进行N次扫描(Scan)，每一次扫描对应N个测量区域。
本发明实施例中，可选的，所述第一方向为X轴方向，即水平方向，第二方向为Y轴方向，即竖直方向。
步骤52：获取因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α和第二方向上的角度β而造成的各微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值矩阵；
本步骤是将对焦平面转换为立体面。
如图7所示，在曝光时，数字微镜装置可能在水平方向和垂直方向上具有对焦面角度α和β。
其中，所述数字微镜装置在第一方向上的角度为α时，所述数字微镜装置在第一方向上的两个边缘的微镜的高度差为Hα：
所述数字微镜装置在第二方向的角度为β时，所述数字微镜装置在第二方向上的两个边缘的微镜的高度差为Hβ：
所述数字微镜装置在第一方向上的角度为α时，所述数字微镜装置在第一方向上的相邻两微镜的高度差为Dα：
其中，p1为所述数字微镜装置的第一方向上的微镜的使用率，L为所述数字微镜装置在第一方向上的长度，L＝M*d，W为所述数字微镜装置在第二方向上的长度，W＝N*d，每个微镜的尺寸为d*d。
所述数字微镜装置在第二方向的角度为β时，所述数字微镜装置在第二方向上的相邻两微镜的高度差为Dβ：
其中，p2为所述数字微镜装置的第二方向上的微镜的使用率，L为所述数字微镜装置在第一方向上的长度，L＝M*d，W为所述数字微镜装置在第二方向上的长度，W＝N*d，每个微镜的尺寸为d*d。
本发明实施例中，在计算第一方向上的微镜的高度差时，以数字微镜装置在第一方向上的一个边缘上的微镜作为基准，计算其他微镜的与该微镜的高度差，同样的，在计算第二方向上的微镜的高度差时，以数字微镜装置在第二方向上的一个边缘上的微镜作为基准，计算其他微镜的与该微镜的高度差。
Bij为因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α和第二方向上的角度β而造成的各微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值矩阵。在第k行第l列的微镜的自动对焦测量数据的差异值为Bi,j(k,l)＝l*Dα+k*Dβ。
Bij可以表示如下：
步骤53：获取第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形的曝光次数；
曝光次数(Mutiple值)是指对曝光基板同一位置的图形，一次扫描有多少个微镜(mirror)做曝光。如图8所示黑色虚线表示曝光基板，网格状图形为数字微镜装置，每个格子代表一个微镜，曝光基板上的矩形图形(Pattern)表示曝光基板上的一个固定位置图形，椭圆图形表示数字微镜装置的微镜的翻转角度为曝光。
如图9所示，在实际曝光过程，数字微镜装置对同一个图形(Pattern)做3次曝光，即使用三个微镜进行曝光，曝光次数为3。实际曝光过程中，数字微镜装置的位置固定不变，曝光基板沿着曝光方向运动，t1到t3过程为等间距选择微镜曝光。
所述曝光次数满足：
其中，m为曝光次数，f(l)为曝光选择的微镜的个数，M为所述数字微镜装置在第一方向上的微镜的个数。
步骤54：根据所述对焦平面测量数据矩阵、所述差异值矩阵和所述曝光次数，确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据。
其中，第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据Cij(k)可以表示为：
Bi,j(k,l)＝l*Dα+k*Dβ
其中，Bij(k,l)为第k行第l列的微镜与第1行第1列的微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值。
步骤55：根据所述等价自动对焦测量数据，确定所述数字曝光机的扫描Mura。
本发明实施例中，由于考虑到对焦面的三维特性以及曝光次数(Multiple)，能够确定更准确的自动对焦测量数据，从而确定数据曝光机的扫描Mura，根据该扫描Mura可以分析出数字曝光机因自动对焦造成的每一次扫描之间的差异，从而对找到造成扫描Mura的真正机台因素和解决扫描Mura方案有重要作用，并且实时监控机台的自动对焦测量数据，对可能造成出现扫描Mura的自动对焦测量数据报警，使出现的扫描Mura可被监控，这对量产可行性也有重大的意义。
再次参考图7，对上述数字曝光机的扫描mura的检测方法进行说明，图7中(a)为测量得到的自动对焦数据的点坐标，(b)为点坐标Hij→对焦平面测量数据矩阵Aij，(c)为考虑到数字微镜装置在第一方向和第二方向上的角度α和β，数字微镜装置的尺寸为W*L，数字微镜装置在一次扫描中的曝光次数，以上因素共同作用造成在第i次扫描在位置区域j的图形接受到的等价自动对焦数据为Cij，利用Cij可以分析出自动对焦数据变动造成的SCAN与SCAN之间的差异。
将根据等价自动对焦数据为Cij绘制的自动对焦测量数据地图与对实际显示模组的点亮效果图进行比较，请参见附图10和附图11，可以看出，自动对焦测量数据地图可以准确地模拟实际显示模组的Mura分布。
本发明实施例中，可选的，所述确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据之后还包括：
绘制以下图表中的至少一项：
1)根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制二维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述二维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域；
请参考图12和图13，图12和图13为本发明实施例的二维等价自动对焦测量数据地图，图12和图13的区别在于，图13中，数字微镜装置(DMD)具有一定的对焦角度(0.7度)。图12和图13，所述二维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号(Scan NO.)，第二坐标轴为测量区域(Scan Position)。
2)根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制三维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述三维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域，第三坐标轴为等价自动对焦测量数据；
请参考图14，图14为本发明实施例的三维等价自动对焦测量数据地图，图14中，所述三维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号(Scan NO.)，第二坐标轴为测量区域(Scan Position)，第三坐标轴为等价自动对焦测量数据(Autofocus Height)。
第三坐标轴上的高度h可以表示为：
h＝f(i,j,Cij(k))
3)请参考图15和图16，绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描和第i+1次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的比对图，其中，第i次扫描时所述数字微镜装置在第一方向的曝光次数为M次，第i+1次扫描时所述数字微镜装置在第一方向的曝光次数为1次，从而找出不同次扫描之间的差异。
第i次扫描和第i+1次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的差异可以表示为：
DH＝Cij(M)-Ci+1j(1)
4)请参考图17，绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的比对图，相邻的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的差异可以表示为：
DR＝Cij(j+1)-Ci+1j(j),j＝1,2....,N
本发明实施例中，可选的，所述确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据之后还包括：
根据一个曝光区域内的每一次扫描的等价自动对焦测量数据，对扫描Mura进行报警。
本发明实施例中，可以通过图18所示的软件界面，进行自动对焦测量数据地图的绘制，在该软件界面下：
1、模式(Mode)可以选择1个EYE内Scan to Scan和Eye to Eye两种模式。
2、包括数字微镜装置(DMD)的参数值：角度(Angle)、比率(Ratio)(即微镜的使用率)、(分辨率)Resolution，例如分辨率为1600*2560，则说明数字微镜装置在第一方向上具有1600个微镜，在第二方向上具有2560个微镜。
3、对指定Eye分析。
4、指定分析任意SCAN和任意测量区域。
请参考图19，本发明实施例还提供一种数字曝光机的扫描Mura检测装置，包括：
第一获取模块，用于获取数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的点坐标Hij，将所述点坐标转换为M*N的对焦平面测量数据矩阵，所述对焦平面测量数据矩阵中的每一个数值均为Hij，M为所述曝光设备的数字微镜装置在第一方向上的微镜的数量，N为所述数字微镜装置在第二方向上的微镜的数量；
第二获取模块，用于获取因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α和第二方向上的角度β而造成的各微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值矩阵；
第三获取模块，用于获取第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形的曝光次数；
第一确定模块，用于根据所述对焦平面测量数据矩阵、所述差异值矩阵和所述曝光次数，确定第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据；
第二确定模块，用于根据所述等价自动对焦测量数据，确定所述数字曝光机的扫描Mura。
可选的，所述差异值矩阵Bij为：
其中，Dα为因所述数字微镜装置在第一方向上的角度α而造成的相邻两微镜在第一方向上的高度差，Dβ为因所述数字微镜装置在第二方向的角度β而造成的相邻两微镜在第二方向上的高度差，p1为所述数字微镜装置的第一方向上的微镜的使用率，p2为所述数字微镜装置的第二方向上的微镜的使用率，L为所述数字微镜装置在第一方向上的长度，L＝M*d，W为所述数字微镜装置在第二方向上的长度，W＝N*d，每个微镜的尺寸为d*d。
可选的，所述曝光次数满足：
其中，m为曝光次数，f(l)为曝光选择的微镜的个数，M为所述数字微镜装置在第一方向上的微镜的个数。
可选的，第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据Cij(k)为：
Bi,j(k,l)＝l*Dα+k*Dβ
其中，Bij(k,l)为第k行第l列的微镜与第1行第1列的微镜的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的自动对焦测量数据的差异值。
可选的，所述数字曝光机的扫描Mura检测装置还包括：
绘制模块，用于绘制以下图表中的至少一项：
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制二维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述二维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域；
根据所述数字曝光机的至少一个曝光区域内的等价自动对焦测量数据，绘制三维等价自动对焦测量数据地图，其中，所述三维等价自动对焦测量数据地图的第一坐标轴为扫描的序号，第二坐标轴为测量区域，第三坐标轴为等价自动对焦测量数据；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描和第i+1次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的等价自动对焦测量数据的比对图，其中，第i次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为M次，第i+1次扫描时所述数字微镜装置在第一方向上的曝光次数为1次；
绘制所述数字曝光机的一个曝光设备的第i次扫描在所述曝光基板的测量区域j处的图形接收到的相邻两个微镜的等价自动对焦测量数据的比对图。
可选的，所述数字曝光机的扫描Mura检测装置还包括：
报警模块，用于对确定的扫描Mura进行报警。
上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。
