欢迎光临小豌豆知识网!
当前位置:首页 > 物理技术 > 摄像光波> 一种曝光机自动赶气装置独创技术10888字

一种曝光机自动赶气装置

2021-02-01 09:01:09

一种曝光机自动赶气装置

  技术领域

  本实用新型属于曝光机技术领域,具体是指一种曝光机自动赶气装置。

  背景技术

  曝光机是指通过开启灯光发出紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上,集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,其广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域,PCB加工的质量、精度等问题取决于曝光机的性能,曝光过程是先把底片对位,贴在经过压附后的镀铜版上面,再放入曝光机的晒架中抽真空,使底片和镀铜板上的膜面紧密地贴合在一起,然后使晒架进入曝光室,用紫外线对底片进行曝光,传统式抽真空曝光机赶排气依靠人工方式,存在每次赶排气力度不一致,造成真空度差异较大产品质量不稳定,操作人员疲劳程度较高等问题。

  实用新型内容

  针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种可使自动赶气轮于抽真空工作台上做往复运动排气,并通过角度的可调节性及弹力贴合设置可增强自动赶气轮和抽真空工作台的贴合度进而增强赶气效果,代替手工排气的传统方式赶排气力度不一致,造成真空度差异较大产品质量不稳定的问题,并可降低操作人员疲劳程度曝光机自动赶气装置。

  本实用新型采取的技术方案如下:本实用新型一种曝光机自动赶气装置,包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件,所述连接抽真空组件设于曝光机底座上,所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上,所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间连接抽真空组件一侧设有工作区间,所述抽真空工作台设于工作区间内且位于曝光机底座上,所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨,所述往复式赶气滑轨设于工作区间内且位于赶气驱动组件腔底部,所述往复式驱动组件设于赶气驱动组件腔且可于往复式赶气滑轨上滑动,所述贴合式赶气杆设于往复式驱动组件上,所述自动赶气轮设于贴合式赶气杆上,所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块,所述驱动转盘可旋转设于赶气驱动组件腔内,所述驱动电机设于赶气驱动组件腔内且输出端设于驱动转盘上,所述驱动转盘上偏心设有凸起转头,所述滑动块可滑动设于往复式赶气滑轨内,所述横向驱动板竖向设于滑动块上,所述横向驱动板内镂空设有条形通孔,所述横向驱动板通过条形通孔套设于凸起转头上,当驱动转盘带动凸起转头做圆周运动时,凸起转头的切向运动状态可分解为竖向运动和横向运动,而竖向运动作用使凸起转头于条形通孔内滑动而不对横向驱动板产生影响,而横向运动则带动横向驱动板及滑动块于往复式赶气滑轨内做横向往复运动,所述连接块设于滑动块上且位于往复式赶气滑轨下方,所述贴合式赶气杆铰接于连接块上。

  进一步地,所述连接块上铰接有限位杆,所述限位杆上设有限位套环,所述贴合式赶气杆上均匀布设有限位头,将限位套环套接在不同限位头上可调整和固定贴合式赶气杆和曝光机底座之间的角度。

  进一步地,所述贴合式赶气杆包括赶气套杆、弹簧和贴合内杆,所述弹簧设于赶气套杆内,所述贴合内杆可滑动设于赶气套杆内且和弹簧连接,所述自动赶气轮设于贴合内杆上,弹簧产生的弹力可增强自动赶气轮和抽真空工作台的贴合度,进而增强赶气效果。

  进一步地,所述抽真空工作台内设有导气条。

  进一步地,所述连接抽真空组件包括连接抽真空腔和抽真空泵,所述抽真空泵设于连接抽真空腔内,所述抽真空泵和导气条连接。

  采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下:本方案一种曝光机自动赶气装置,通过设置往复式驱动组件产生往复式运动效果,并结合往复式赶气滑轨的设置使贴合式赶气杆带动自动赶气轮于抽真空工作台上做往复运动排气,贴合式赶气杆的可调节性及弹力贴合设置可增强自动赶气轮和抽真空工作台的贴合度,进而增强赶气效果,整体装置代替手工排气的传统方式,避免人工每次赶排气力度不一致,造成真空度差异较大产品质量不稳定的问题,并可降低操作人员疲劳程度。

  附图说明

  图1为本实用新型一种曝光机自动赶气装置的整体结构示意图;

  图2为本实用新型一种曝光机自动赶气装置的贴合式赶气杆的整体结构示意图;

  图3为本实用新型一种曝光机自动赶气装置的贴合式赶气杆的内部结构示意图。

  其中,1、曝光机底座,2、连接抽真空组件,3、抽真空工作台,4、往复式自动赶气组件,5、工作区间,6、往复式驱动组件,7、贴合式赶气杆,8、自动赶气轮,9、赶气驱动组件腔,10、往复式赶气滑轨,11、驱动转盘,12、驱动电机,13、横向驱动板,14、滑动块,15、条形通孔,16、凸起转头,17、连接块,18、限位杆,19、限位套环,20、限位头,21、赶气套杆,22、弹簧,23、贴合内杆,24、导气条,25、连接抽真空腔,26、抽真空泵。

  附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  如图1-3所示,本实用新型一种曝光机自动赶气装置,包括曝光机底座1、连接抽真空组件2、抽真空工作台3和往复式自动赶气组件4,所述连接抽真空组件2设于曝光机底座1上,所述往复式自动赶气组件4设于连接抽真空组件2上,所述曝光机底座1和往复式自动赶气组件4之间连接抽真空组件2一侧设有工作区间5,所述抽真空工作台3设于工作区间5内且位于曝光机底座1上,所述往复式自动赶气组件4包括往复式驱动组件6、贴合式赶气杆7、自动赶气轮8、赶气驱动组件腔9和往复式赶气滑轨10,所述往复式赶气滑轨10设于工作区间5内且位于赶气驱动组件腔9底部,所述往复式驱动组件6设于赶气驱动组件腔9且可于往复式赶气滑轨10上滑动,所述贴合式赶气杆7设于往复式驱动组件6上,所述自动赶气轮8设于贴合式赶气杆7上,所述往复式驱动组件6包括驱动转盘11、驱动电机12、横向驱动板13、滑动块14和连接块17,所述驱动转盘11可旋转设于赶气驱动组件腔9内,所述驱动电机12设于赶气驱动组件腔9内且输出端设于驱动转盘11上,所述驱动转盘11上偏心设有凸起转头16,所述滑动块14可滑动设于往复式赶气滑轨10内,所述横向驱动板13竖向设于滑动块14上,所述横向驱动板13内镂空设有条形通孔15,所述横向驱动板13通过条形通孔15套设于凸起转头16上,所述连接块17设于滑动块14上且位于往复式赶气滑轨10下方,所述贴合式赶气杆7铰接于连接块17上。

  其中,所述连接块17上铰接有限位杆18,所述限位杆18上设有限位套环19,所述贴合式赶气杆7上均匀布设有限位头20;所述贴合式赶气杆7包括赶气套杆21、弹簧22和贴合内杆23,所述弹簧22设于赶气套杆21内,所述贴合内杆23可滑动设于赶气套杆21内且和弹簧22连接,所述自动赶气轮8设于贴合内杆23上;所述抽真空工作台3内设有导气条24;所述连接抽真空组件2包括连接抽真空腔25和抽真空泵26,所述抽真空泵26设于连接抽真空腔25内,所述抽真空泵26和导气条24连接。

  具体使用时,工作人员将需要曝光处理的稿件安防在抽真空工作台3内后,并将调整贴合式赶气杆7的角度使自动赶气轮8和抽真空工作台3贴合,而后启动驱动电机12带动驱动转盘11旋转,进而带动凸起转头16做圆周运动,凸起转头16的切向运动状态可分解为竖向运动和横向运动,而竖向运动作用使凸起转头16于条形通孔15内滑动而不对横向驱动板13产生影响,而横向运动则带动横向驱动板13及滑动块14于往复式赶气滑轨10内做横向往复运动,从而通过贴合式赶气杆7带动自动赶气轮8对抽真空工作台3做赶气操作,并启动抽真空泵26进行抽气增强赶气效果。

  需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

  尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

  以上对本实用新型及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本实用新型的保护范围。

《一种曝光机自动赶气装置.doc》
将本文的Word文档下载到电脑,方便收藏和打印
推荐度:
点击下载文档

文档为doc格式(或pdf格式)