金属掩膜板和蒸镀方法，显示面板和显示装置
技术领域
本发明涉及显示领域，具体地，涉及金属掩膜板和蒸镀方法，显示面板和显示装置。
背景技术
目前的显示面板，例如OLED显示面板中的发光层等材料需要借助掩膜板，采用蒸镀的方式形成在显示基板上。而现有的蒸镀设备中，实现显示基板和掩膜板的对位是根据金属掩膜板(Mask)上的对位标记(Mark)与基板上曝光的对位标记进行识别匹配从而进行的对位。具体地，可通过带有光源的电荷耦合器件(CCD)识别上述两个对位标记而使得掩膜板与显示基板实现对位。而基于金属底面的对位标记在带有光源的CCD下识别度较差。
因此，目前的金属掩膜板和蒸镀方法，显示面板和显示装置仍有待改进。
发明内容
本发明旨在至少一定程度上缓解或解决上述提及问题中至少一个。
在本发明的一个方面，本发明提出了一种金属掩膜板。该金属掩膜板包括：金属框架，所述金属框架具有镂空区域；对位金属条，所述对位金属条位于所述金属框架一侧的边缘处，所述对位金属条上具有第一对位标记以及第一拍照标记，所述第一对位标记和所述第一拍照标记沿所述边缘延伸的方向排布，所述金属框架具有第一孔，所述第一拍照标记在所述金属框架上的正投影位于所述第一孔所在区域内。由此，可利用第一孔提高第一拍照标记在CCD下的灰阶对比度，从而有利于提高该金属掩膜板对位的精度。
根据本发明的实施例，所述第一孔为斜孔且贯穿所述金属框架，所述斜孔与所述金属框架所在平面的夹角为10-80度。由此，可在提高第一拍照标记的对比度的前提下，防止待蒸镀材料通过第一孔沉积在待蒸镀基板上。
根据本发明的实施例，所述第一拍照标记在所述金属框架上的正投影位于所述第一孔的第一开口区域内，所述第一开口为所述第一孔在所述金属框架朝向所述对位金属条一侧表面的开口。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，所述第一对位标记和所述第一拍照标记为金属上的镂空图案。由此，可简便地获得第一对位标记和第一拍照标记。
根据本发明的实施例，所述第一对位标记和所述第一拍照标记的形状不同，所述第一对位标记和所述第一拍照标记沿所述边缘延伸的方向位于同一直线上。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，所述金属框架进一步具有第二孔，所述第二孔位于所述第一对位标记在所述金属框架的正投影处，所述第二孔为斜孔。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，所述第一对位标记以及所述第一拍照标记均具有对称中心和至少一个对称轴，所述第一对位标记的所述对称中心位于所述第一拍照标记的所述对称轴所在的直线上。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，所述第一拍照标记为矩形，所述第一对位标记为圆形，所述第一孔为圆孔。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
在本发明的另一方面，本发明提出了一种采用前面所述的金属掩膜板进行蒸镀的方法。该方法包括：将所述待蒸镀的基板移动至所述金属掩膜上方，所述基板上具有与所述金属掩膜板的所述第一对位标记形状一致的第一基板标记，以及与所述第一拍照标记相对应的第二基板标记，令所述第一对位标记与所述第一基板标记对准的同时，令所述第二基板标记在所述金属掩膜板上的正投影位覆盖所述第一拍照标记，以便令所述金属掩膜板和所述基板实现对位；基于对位后的所述金属掩膜板，在所述基板上蒸镀待蒸镀材料。该方法可简便、精确地实现金属掩膜板和基板的对位。
根据本发明的实施例，令所述金属掩膜板和所述基板实现对位包括：利用电荷耦合器件抓取所述第二基板标记的图像，并依靠灰阶识别判定所述第二基板标记的位置，以便基于所述第二基板标记和所述第一对位标记实现所述对位。由此，可简便地实现金属掩膜板和基板的对位。
在本发明的又一方面，本发明提出了一种显示面板。该所述显示面板是利用前面所述的金属掩膜板制备的。由此，该显示面板至少具有对位精度高等优点的至少之一。
在本发明的又一方面，本发明提出了一种显示装置。该显示装置包括前面所述的显示面板。由此，该显示装置具有前面所述的显示面板所具有的全部特征以及优点，在此不再赘述。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1显示了根据本发明一个实施例的金属掩膜版的结构示意图；
图2显示了根据本发明一个实施例的金属掩膜版的部分结构截面示意图；
图3显示了根据本发明一个实施例的金属掩膜版的部分结构示意图；
图4显示了根据本发明一个实施例的金属掩膜版的部分结构示意图；
图5显示了根据本发明一个实施例的金属掩膜版的部分结构示意图；
图6显示了根据本发明一个实施例的CCD抓取金属掩膜版上对位标记的电子照片。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的一个方面，本发明提出了一种金属掩膜板。参考图1，该金属掩膜板包括：金属框架100和对位金属条200，金属框架100具有镂空区域110，以令待蒸镀材料可以通过镂空区110域蒸镀至待蒸镀基板上。对位金属条200位于金属框架一侧的边缘处，对位金属条200上具有第一对位标记210以及第一拍照标记220，第一对位标记210和第一拍照标记220沿金属框架的边缘延伸的方向排布。参考图2，金属框架具有第一孔120(图1中以虚线所示出)，第一拍照标记220在金属框架上的正投影位于第一孔120所在区域内。由此，可利用第一孔提高第一拍照标记在CCD下的灰阶对比度，从而有利于提高该金属掩膜板对位的精度。
此处需要特别说明的是，本申请附图中镂空区110仅为了示出镂空区的位置，而不能够理解为对根据本发明实施例的金属掩膜版的镂空区的具体形状、数量做出的限定。
为了方便理解，下面首先对该金属掩膜板可实现上述有益效果的原理进行简单说明：
如前所述，目前的金属掩膜板的对位通常是通过掩膜板上的对位标记和待蒸镀基板上的对位标记实现的。而金属掩膜板由于具有较高的反射率，因此在CCD，特别是自带光源的CCD的照射下反光较为严重，从而影响对待蒸镀基板的对位标记位置的判定。具体地，通常掩膜版上具有一个与待蒸镀基板上的标记相对应的区域，如本发明上述的第一拍照标记所在区域，对位过程中可在该区域观测到待蒸镀基板上的对位标记的位置，进而实现对位。特别是当CCD是依据捕捉的金属掩膜板上的对位标记的灰度判断对位标记的边界时，反光将导致CCD视野的对比度大幅降低，进而导致对待蒸镀基板上对位标记的边界判断不准确。根据本发明实施例的金属掩膜板通过在和第一拍照标记对应处的金属框架上加设第一孔，可提高第一拍照标记在CCD视野下的对比度。由此，可提高对基板上对位标记的边界判断的准确性，进而可以提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，该金属掩膜板是用于在制备显示面板时，为待蒸镀材料限定出蒸镀区域的。为了方便理解，下面对利用该金属掩膜板进行蒸镀时的对位过程进行简单描述。根据本发明的实施例，待蒸镀的基板上具有和第一对位标记相应的第一基板标记，以及位于和第一拍照标记所在位置处相对应的第二基板标记。可通过将第一对位标记、第一拍照标记以及蒸镀基板上的基板标记进行对位，确定该金属掩膜板的位置。具体地，采用单个对位标记并不能够精确地对该金属掩膜板在待蒸镀基板所在平面的x方向和y方向进行定位。根据本发明实施例的对位金属条上具有第一对位标记和第一拍照标记。由此，可利用第一对位标记与待蒸镀基板上的第一基板标记进行对位，此时第一对位标记的位置即为基板上对位标记的位置。同时令第一拍照标记与基板上的第二基板标记对应，从而依据基板上的第一拍照标记和第一对位标记，即可在x方向和y方向上确定该金属掩膜版的位置。金属框架具上可以进一步有第二孔，第二孔位于第一对位标记210在金属框架的正投影处。也即是说，金属框架上和对位金属条上第一对位标记210相对应处具有第二孔，且第二孔可以也为斜孔。由此，可以进一步提高对位的精度。
根据本发明的一些实施例，参考图2以及图3，为了进一步提高利用该金属掩膜板进行蒸镀的效果，可令第一孔120为斜孔且贯穿金属框架100。由此，可在提高第一拍照标记220的对比度的前提下，防止待蒸镀材料通过第一孔120沉积在待蒸镀基板上。也即是说，第一孔120可以为与金属框架100厚度方向具有一定夹角的斜孔。根据本发明的具体实施例，该斜孔和金属框架所在平面的夹角可以为10-80度。由此，待蒸镀材料不会通过第一孔和第一拍照标记之间的缝隙沉积在待蒸镀基板上。如前所述，在本发明中第一孔120是用于降低第二对位220标记周围的金属反光，提高其在CCD等元件下的对比度的。因此第一孔120的面积需要大于第一拍照标记220的面积。即，第一拍照标记220在金属框架100的正投影需要落在第一孔120的开口范围以内。由此，才能够令和第一拍照标记220对应的第二基板标记的全部边界均清晰地被CCD捕捉。根据本发明的具体实施例，当该第一孔120为斜孔时，可以令第一拍照标记220在金属框架上的正投影位于第一孔120的第一开口区域内，具体而言，第一开口可为第一孔在金属框架朝向对位金属条一侧表面的开口。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。
根据本发明的实施例，第一对位标记210和所述第一拍照标记220的具体形状、形成方式均不受特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况和加工工艺的要求进行选择。例如，第一对位标记和第一拍照标记可以为金属上的镂空图案。由此，可简便地获得第一对位标记和第一拍照标记，只要在金属框架和对位金属条的相应位置进行冲孔即可。第一对位标记210和第一拍照标记220的形状不同，第一对位标记和第一拍照标记沿边缘延伸的方向可位于同一直线上。由此，可进一步提高对位的精度。如前所述，待蒸镀基板上具有和第一拍照标记220相对应的基板标记，且由于第二对未标记220处的金属框架上具有第一孔，因此第一拍照标记220形状和第一对位标记210形状不同有利于区分不同的标记区域。并且，令第一对位标记和第一拍照标记沿边缘延伸的方向可位于同一直线上也可以更加简便地实现掩膜版和基板之间的对位，即在对位过程中的移动方向可以仅为垂直的x方向和y方向。
此处需要特别说明的是，第一对位标记和第一拍照标记沿边缘延伸的方向可位于同一直线上应做广义理解，即二者的中线可以位于同一直线上，该直线可以是与金属框架的边缘平行的直线。
根据本发明的实施例，为了进一步提高利用该金属掩膜版进行蒸镀的效果，参考图4和图5，该第一拍照标记220的面积要大于待蒸镀基板上第二基板标记的面积。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。具体地，以第二基板标记具有两个子标记(如图中所示出的221和222)，一个为矩形另一个为十字形为例：矩形和十字形均具有对称轴，且可令矩形的一个中线(即两条相对的边的中线所在直线)和十字形一条十字边的中线位于同一直线上(参考图5中所示出的虚线)。由此，在利用上述两个子标记进行对位时，可以利用矩形和十字形的边缘对金属掩膜版的位置进行调整。具体而言，当金属掩膜版和待蒸镀基板进行对位时，第一拍照标记220在待蒸镀基板上的投影位于两个子标记处，因此可以通过镂空的第一拍照标记提高CCD视野下基板上的两个子标记的对比度，进而可以更加精确的捕捉到两个子标记的边界。可以通过对矩形和十字形标记的边缘的捕捉，从而确认上述矩形中线和十字形一条十字边中线所在的位置。可利用矩形中线所在直线确认该金属掩膜版在x方向上的位置。该金属掩膜版在y方向上的位置可以依靠十字形另一条十字边(与上述中线垂直)确认。由此，可以较为准确地确认该金属掩膜版的对位情况。
此处需要特别说明的是，上述矩形和十字形的子标记仅为根据本发明的一个实施例，而不应当理解为对本发明的位标记的具体形状的限制。类似地，附图中所示出的第一对位标可以记为圆形，第一孔为圆孔也仅为根据本发明一个示例的具体形状，不应理解为对第一对位标记和第一孔形状的限制。本领域技术人员能够理解的是，只要第一拍照标记可以提高待蒸镀基板上的第二基板标记的边界识别的清晰程度，实现该金属掩膜版在x方向和y方向上位置的确认即可。例如，该第一对位标记以及第二基板标记可以均具有对称中心和至少一个对称轴。由此，可令具有多个子标记的第二基板标记以及第一对位标记的对称中心位于同一直线(如图5中所示出的)上，以确认该金属掩膜版在x或是y方向上的定位，并通过多个子标记的对称轴(如和多个标记的对称中心所在直线垂直的)确认该金属掩膜版在另一个方向上的定位。优选地，第一对位标记的对称中心可以位于第二基板标记的一个对称轴所在的直线上。由此，可进一步提高该金属掩膜板的对位精度。更优选地，可令第二基板标记位于第一拍照标记的中心位置。由此，可根据待蒸镀基板上的第二基板标记的形状和位置，确认第一拍照标记的形状、面积，以保证对位过程中第二基板标记的全部边界可以透过第一拍照标记被CCD捕捉到。
总的来说，根据本发明实施例的金属掩膜板可缓解第一拍照标记由于金属材料反光而导致的在CCD视野下待蒸镀基板上的标记边界不易识别的缺陷。当对位金属条上的对位标记的形状如图4中所示出时，其在CCD视野下的电子照片参考图6。由图6可见，此时第一拍照标记220处由于第一孔(图中未示出)的作用，周围无金属反光，图像对比度较大，可以在灰度模式下清晰地观察到第一拍照标记220的边界，以及待蒸镀基板上的两个第二基板标记的子标记(矩形和十字形)。
在本发明的另一方面，本发明提出了一种采用前面所述的金属掩膜板进行蒸镀的方法。根据本发明的实施例，该方法包括：将所述待蒸镀的基板移动至所述金属掩膜上方，所述基板上具有与所述金属掩膜板的第一对位标记形状一致的第一基板标记，以及与第一拍照标记相对应的第二基板标记。令所述第一对位标记与所述第一基板标记对准的同时，令所述第二基板标记在所述金属掩膜板上的正投影位覆盖所述第一拍照标记，以便令所述金属掩膜板和所述基板实现对位。完成金属掩膜板和基板对位后，可利用蒸镀设备在所述基板上蒸镀待蒸镀材料。该方法可简便、精确地实现金属掩膜板和基板的对位。
本领域技术人员能够理解的是，通常待蒸镀基板为玻璃板，因此具有一定的透光率。玻璃基板上的第二基板标记可以为白色的。由此，一方面将待蒸镀基板移动至金属掩膜板的上方时，CCD视野中的金属掩膜板上的第一拍照标记可以充当第二基板标记的拍照背景，以便于捕捉第二基板标记的边界。
根据本发明的实施例，令所述金属掩膜板和所述基板实现对位包括：利用电荷耦合器件抓取所述第二基板标记的图像，并依靠灰阶识别判定第二基板标记的位置，以便基于所述第二基板标记和所述第一对位标记实现对位。由此，可简便地实现金属掩膜板和基板的对位。具体地，可首先将待蒸镀的基板上的基板标记与第一对位标记和第一框架标记进行对位，此时第一拍照标记也位于第二基板标记的上方。随后可通过抓取CCD视野中第二基板标记的图像，计算出第二基板标记的中心所在位置。当第二基板标记具有多个子标记时，可同时计算多个子标记的中心位置。如前所述，待蒸镀基板和金属掩膜板进行对位时，第一拍照标记位于第二基板标记所在区域。此时由于第一拍照标记下的金属框架处具有第一孔，因此在CCD的视野下第一拍照标记为比周围金属对位条颜色更深的颜色。由此，可以为待蒸镀基板上的第二基板标记提供一个深色的拍照背景，从而提高第二基板标记在CCD视野下的清晰度。随后通过移动金属掩膜版或是待蒸镀基板，令第二基板标记的中心位置与预定位置重合，实现金属掩膜板的对位。此处需要特别说明的是，第一对位标记和第一拍照标记进行对位的先后顺序不受特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况进行选择。由于该方法采用了前述的金属掩膜板，因此在进行第二基板标记位置的采集时CCD视野中的对比度较好，进而对第二基板标记边界位置的判定更加准确，从而可提高该方法制备的显示面板的产品良率。
在本发明的又一方面，本发明提出了一种显示面板。该所述显示面板是利用前面所述的金属掩膜板制备的。由此，该显示面板至少具有对位精度高等优点的至少之一。
在本发明的又一方面，本发明提出了一种显示装置。该显示装置包括前面所述的显示面板。由此，该显示装置具有前面所述的显示面板所具有的全部特征以及优点，在此不再赘述。
在本发明的描述中，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“另一个实施例”等的描述意指结合该实施例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
