一种高精度光刻机内载片结构
技术领域
本实用新型属于光刻机技术领域，特别涉及一种高精度光刻机内载片结构。
背景技术
光刻是一种用光来制作一个图形的工艺，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程，光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统和光刻系统等，载片台是光刻机上较为重要的组成部分，用于对硅片进行承载处理和后续的取出移动；
随着时代的发展，载片结构也得到了技术改进，但是现有的载片结构在使用时由于用于吸附硅片的吸孔分布较为分散，为保证真空吸附效果，常需要在承载台底端加设多管真空接入管对其进行吸附，导致载片结构使用时较难对内部进行密封处理，影响真空接管吸附效果，造成安装部件和空间浪费，并且载片结构在对硅片进行承载转动处理时，较难与外部处理单元进行转角的数据交换，令光刻机匀胶单元较难进行接收和进行更为精确的适配操作，导致载片结构使用时较难将硅片转动数据与匀胶单元进行交流参考，较难提高操作精确性。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
为了克服现有技术不足，现提出一种高精度光刻机内载片结构，以解决载片结构使用时较难对内部进行密封处理，影响真空接管吸附效果，造成安装部件和空间浪费，并且载片结构使用时较难将硅片转动数据与匀胶单元进行交流参考，较难提高操作精确性的问题，达到提高承载台内部密封性，减少真空接管安装浪费和节省安装空间，并且有效的将硅片转动数据与匀胶单元进行交流，提高操作精确性的效果。
(二)技术方案
本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种高精度光刻机内载片结构，包括框架、护缘、载片台、吸孔、撑架、真空接管、线孔、底筒、吸气口、从动轮、电机、主动轮、传动带、底撑、密封机构和量角机构，所述框架顶面中部焊接有护缘，所述载片台底侧中部转动安装于框架上，并且载片台顶侧开设有若干吸孔，所述撑架上下两端与框架进行焊接，所述真空接管顶端螺栓安装于框架上，所述框架左侧前后两部开设有线孔，所述载片台底端穿出框架后焊接有底筒，所述底筒底端前后两侧开设有吸气口，所述从动轮内侧焊接于底筒上，所述电机顶面四角与框架螺栓固定，所述主动轮内侧中心处固定安装于电机上，所述主动轮外侧周沿通过传动带与从动轮转动配合，所述底撑底侧焊接于框架上，所述密封机构右侧与密封机构固定连接，所述量角机构底端螺栓安装于底撑内，所述密封机构由筒体、橡胶环、嵌槽、顶盖和橡胶垫圈组成，所述筒体内壁顶端通过强力胶粘设有橡胶环，所述筒体顶端内壁开设有嵌槽，所述顶盖左右两端与筒体螺栓固定，所述橡胶环外侧周沿通过强力胶与顶盖进行粘合，所述筒体右侧中部固定安装于真空接管上，所述量角机构由壳体、角度传感器、电路板、处理器和端口组成，所述壳体顶侧中部螺栓安装有角度传感器，所述电路板底端螺栓固定于壳体内，所述处理器底部与电路板焊接贴合，所述处理器前端排列设置有若干个端口。
进一步的，所述筒体整体呈圆柱状，并且筒体底端与底撑进行焊接。
进一步的，所述橡胶环内壁与底筒贴合转动，所述橡胶垫圈底端与底筒过盈配合。
进一步的，所述筒体内壁通过嵌槽与底筒转动配合，所述底筒底端转动安装于底撑上。
进一步的，所述底筒底端穿出底撑后与角度传感器顶端固定连接，所述角度传感器通过端口与处理器电连接。
进一步的，所述橡胶环内部截面呈半球状，所述底筒外部与橡胶环接触面相匹配的半球状滑槽结构。
进一步的，所述角度传感器的型号为XYK-BMJ-38Z-I。
进一步的，所述处理器的型号为MSC-51。
(三)有益效果
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
1)、为解决载片结构使用时较难对内部进行密封处理，影响真空接管吸附效果，造成安装部件和空间浪费的问题，通过在底筒上设置了密封机构，再通过筒体与真空接管连接后，使橡胶环和橡胶垫圈对底筒进行贴合转动，并使嵌槽与底筒转动接触，令顶盖下压筒体进行施力，使筒体内部密封，达到提高承载台内部密封性，减少真空接管安装浪费和节省安装空间的效果。
2)、为解决载片结构使用时较难将硅片转动数据与匀胶单元进行交流参考，较难提高操作精确性的问题，通过在底撑内设置了测角机构，再通过角度传感器与底筒连接后，使角度传感器与底筒同步转动后通过端口将数据传输至处理器内，使处理器借助端口与外部单元交流，达到有效的将硅片转动数据与匀胶单元进行交流，提高操作精确性的效果。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的框架内部结构示意图；
图3为本实用新型的密封机构结构示意图；
图4为本实用新型的量角机构结构示意图；
图5为本实用新型的壳体内部结构示意图；
图中：框架-1、护缘-2、载片台-3、吸孔-4、撑架-5、真空接管-6、线孔-7、底筒-8、吸气口-9、从动轮-10、电机-11、主动轮-12、传动带-13、底撑-14、密封机构-15、量角机构-16、筒体-151、橡胶环-152、嵌槽-153、顶盖-154、橡胶垫圈-155、壳体-161、角度传感器-162、电路板-163、处理器-164、端口-165。
具体实施方式
请参阅图1、图2、图3、图4与图5，本实用新型提供一种高精度光刻机内载片结构：包括框架1、护缘2、载片台3、吸孔4、撑架5、真空接管6、线孔7、底筒8、吸气口9、从动轮10、电机11、主动轮12、传动带13、底撑14、密封机构15和量角机构16，所述框架1顶面中部焊接有护缘2，所述载片台3底侧中部转动安装于框架1上，并且载片台3顶侧开设有若干吸孔4，所述撑架5上下两端与框架1进行焊接，所述真空接管6顶端螺栓安装于框架1上，所述框架1左侧前后两部开设有线孔7，所述载片台3底端穿出框架1后焊接有底筒8，所述底筒8底端前后两侧开设有吸气口9，所述从动轮10内侧焊接于底筒8上，所述电机11顶面四角与框架1螺栓固定，所述主动轮12内侧中心处固定安装于电机11上，所述主动轮12外侧周沿通过传动带13与从动轮10转动配合，所述底撑14底侧焊接于框架1上，所述密封机构15右侧与密封机构15固定连接，所述量角机构16底端螺栓安装于底撑14内，所述密封机构15由筒体151、橡胶环152、嵌槽153、顶盖154和橡胶垫圈155组成，所述筒体151内壁顶端通过强力胶粘设有橡胶环152，所述筒体151顶端内壁开设有嵌槽153，所述顶盖154左右两端与筒体151螺栓固定，所述橡胶环152外侧周沿通过强力胶与顶盖154进行粘合，所述筒体151右侧中部固定安装于真空接管6上，所述量角机构16由壳体161、角度传感器162、电路板163、处理器164和端口165组成，所述壳体161顶侧中部螺栓安装有角度传感器162，所述电路板163底端螺栓固定于壳体161内，所述处理器164底部与电路板163焊接贴合，所述处理器164前端排列设置有若干个端口165。
其中，所述筒体151整体呈圆柱状，并且筒体151底端与底撑14进行焊接，使筒体151能够进行稳定的安装固定，利于使用稳定。
其中，所述橡胶环152内壁与底筒8贴合转动，所述橡胶垫圈155底端与底筒8过盈配合，使其分别可以与底筒8进行转动配合。
其中，所述筒体151内壁通过嵌槽153与底筒8转动配合，所述底筒8底端转动安装于底撑14上，使底筒8能够进行稳顶的转动安装，利于使用稳定。
其中，所述底筒8底端穿出底撑14后与角度传感器162顶端固定连接，所述角度传感器162通过端口165与处理器164电连接，使其能够进行数据传输交换和通电使用。
其中，所述橡胶环152内部截面呈半球状，所述底筒8外部与橡胶环152接触面相匹配的半球状滑槽结构，使其相互配对，利于使用。
其中，所述角度传感器162的型号为XYK-BMJ-38Z-I，检测精度较高。
其中，所述处理器164的型号为MSC-51，使用寿命较长。
工作原理：使用时，先将本装置安装于光刻机内的合适位置，使处理器164通过端口165与匀胶单元进行电性连接，随之，使电机11与匀胶单元进行同步的通电连接，并将真空接管6与光刻机内真空管路进行连接，随后，待电机11通电后，便使电机11带动主动轮10进行转动，并使主动轮10通过传动带12带动底筒8上的从动轮10进行同步的转动，底筒8转动时，通过筒体151内与底筒8外部贴合的橡胶环152能够提高与底筒8间的密封效果，并使顶盖154底端与筒体151螺栓固定后，使顶盖151下压橡胶垫圈155，使橡胶垫圈155与底筒8相互贴合转动，令底筒8外壁与嵌槽153贴合，提高密封效果，随后使底筒8能够带动载片台3进行转动后，便可以使外部硅片置于载片台3后，使真孔接管6内的真空吸力通过底筒8上的吸气口9对载片台3内部提供真空吸力，使载片台3上的硅片能够进行吸附，并使底筒8转动时，令角度传感器162在底筒8底端接收到转角数据后，使角度传感器162随之通过端口165将数据传输至处理器164内，并使处理器164随之通过对应端口165与匀胶单元进行数据交流，使匀胶单元能够进一步了解硅片移动轨迹数据，并进行相对的处理，提高操作的精确性，完成使用。
本实用新型的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
