一种用于真空设备的磁流体密封联轴器
技术领域
本实用新型涉及联轴器的领域，尤其涉及一种用于真空设备的磁流体密封联轴器。
背景技术
随着经济的发展，国内外真空设备发展迅猛。在许多回转动密封装置上，磁流体密封得到了广泛的应用，例如在单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备的密封，以及高温高压设备及对环境要求较高的设备的密封。
磁流体密封是指当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。联轴器通常用来将不同机构中的主动轴和从动轴牢固地联接起来一同旋转，并传递运动和扭矩的机械部件。因此出现了采用磁流体密封的用于连接真空设备的联轴器，然而现有的磁流体密封联轴器的壳体和与外部机构采用分体设计，外部机构的轴与传动轴的连接不够紧密，影响传动效率。
发明内容
为解决上述技术问题，提供一种用于真空设备的磁流体密封联轴器，便于安装主轴，且坚固耐用，同时易于安装。
一种用于真空设备的磁流体密封联轴器，包括壳体、传动轴、永磁体、轴承和极靴，所述壳体内侧壁上设置有永磁体，所述永磁体两侧分别设置有极靴，所述极靴的一侧设置有轴承，所述传动轴穿过所述永磁体和极靴的内环，所述传动轴固定在所述轴承的内环上，所述轴承的外环固定在所述壳体的内侧壁上；所述极靴贴近所述传动轴，所述传动轴在贴近所述极靴的侧壁上或所述极靴内侧壁上设置有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体，所述传动轴的两端设有连接槽，所述连接槽的侧壁上设有卡口和锁紧螺母，所述壳体一端设有连接机构，所述连接机构包括第一滑动盖和第一密封垫圈，所述壳体一端设有第一环状突缘，所述第一环状突缘的端面上设有第一密封垫圈，所述第一滑动盖可滑动地安装在所述壳体上，所述第一滑动盖的内孔直径小于所述第一环状突缘外径，所述第一滑动盖内侧壁上设有螺纹。
优选的，所述壳体另一端设有大气端连接机构，所述大气端连接机构包括设置在所述壳体另一端端面的螺孔。
优选的，所述壳体另一端设有大气端连接机构，所述大气端连接机构包括设置在壳体外侧壁的螺钉，所述螺钉靠近所述壳体另一端端面。
优选的，所述壳体另一端设有大气端连接机构，所述大气端连接机构包括第二滑动盖和第二密封垫圈，所述壳体另一端设有第二环状突缘，所述第二环状突缘的端面上设有第二密封垫圈，所述第二滑动盖可滑动地安装在所述壳体上，所述第二滑动盖的内孔直径小于所述第二环状突缘直径，所述第二滑动盖内侧壁上设有螺纹。
优选的，所述壳体包括磁屏蔽壳体。
优选的，所述磁屏蔽壳体包括铁磁材料壳体。
优选的，所述极靴的外端设置有磁屏蔽垫圈。
优选的，所述轴承的外端设置有磁屏蔽垫圈。
优选的，所述壳体内侧壁上设有轴承安装槽、极靴安装槽和永磁体安装槽。
优选的，所述连接槽的侧壁突出于所述壳体的端面，所述锁紧螺母靠近所述连接槽侧壁的端面。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：1. 真空设备的主轴嵌入所述连接槽内，所述主轴上的键嵌入所述卡口内，并通过所述锁紧螺母减少所述主轴与所述连接槽之间的间隙，使所述主轴和所述连接槽更加紧密、牢固耐用，且易于安装，防止所述主轴在转动过程中晃动，影响传动效率，所述第一滑动盖将本实用新型安装在真空设备上，所述第一密封垫圈起到密封的作用；所述永磁体的磁场通过所述极靴传递到所述磁液槽，磁场使所述磁流体在所述连接槽上形成液态密封圈，将缝隙堵死从而达到密封的作用；2. 一端的连接机构与另一端大气端连接机构的结构相同，不区分两个安装端，便于安装，并且都采用密封结构，使本实用新型还可以用于连接两个不同真空度的外部设备，从而提高适用性；3.采用磁屏蔽壳体和屏蔽垫圈防止外部磁场对磁流体的干扰，提高本实用新型的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的剖示图；
图3是磁液槽的结构示意图。
附图中标记：1-壳体，11-第一环状突缘，12-第二环状突缘，2-传动轴，21-磁液槽，22-连接槽，23-卡口，24-锁紧螺母，3-轴承，4-极靴，5-永磁体，61-螺纹，62-第一密封垫圈，63-第一滑动盖，7-大气端连接机构，73-第二滑动盖，8-屏蔽垫圈。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
一种用于真空设备的磁流体密封联轴器，如图1~图3所示，包括壳体1、传动轴2 、永磁体5、轴承3和极靴4，壳体1的内侧壁上设置有永磁体5，永磁体5两侧分别设置有极靴4，极靴4一侧设置有轴承3，传动轴2穿过永磁体5和极靴4的内环，传动轴2固定在轴承3的内环上，轴承3的外环固定在壳体1的内侧壁上；极靴4贴近传动轴2，传动轴2在贴近极靴4的侧壁上或极靴4的内侧壁上设置有磁液槽21，磁液槽21上设有磁流体，传动轴2的两端设有连接槽22，连接槽22的侧壁上设有卡口23和锁紧螺母24，壳体1一端设有连接机构，所述连接机构包括第一滑动盖63和第一密封垫圈62，壳体1一端设有第一环状突缘11，第一环状突缘11的端面上设有第一密封垫圈62，第一滑动盖63可滑动地安装在壳体1上，所述第一滑动盖的内孔直径小于第一环状突缘11外径，所述第一滑动盖内侧壁上设有螺纹61。真空设备的主轴嵌入所述连接槽内，所述主轴上的键嵌入所述卡口内，并通过所述锁紧螺母减少所述主轴与所述连接槽之间的间隙，使所述主轴和所述连接槽更加紧密和牢固耐用，且易于安装，防止所述主轴在转动过程中晃动，影响传动效率，所述第一滑动盖将本实用新型安装在真空设备上，所述第一密封垫圈起到静密封的作用；所述永磁体的磁场通过所述极靴传递到所述磁液槽，磁场使所述磁流体在所述连接槽上形成液态密封圈，将缝隙堵死从而达到密封的作用，多道磁液槽可以提高密封效果和密封强度。所述磁液槽可以设置在所述传动轴的外侧壁上，磁场使所述磁流体贴近所述极靴，形成液态密封圈；所述磁液槽也可以设置在所述极靴的内侧壁上，磁场使所述磁流体贴近传动轴，液态形成密封圈。
壳体1另一端设有大气端连接机构7。一种大气端连接机构7可以包括设置在所述壳体另一端端面的螺孔，大气端连接机构7用于安装大气端的外部设备，大气端外部设备的驱动主轴嵌入传动轴另一端的连接槽内，通过壳体1端面上的螺孔和螺栓与外部驱动装置连接；另一种大气端连接机构7可以包括设置在壳体1外侧壁的螺钉，所述螺钉靠近所述壳体另一端端面，通过壳体1外侧壁上的螺钉与外部驱动装置的螺孔与连接。
大气端连接机构7还可以采用与所述连接机构相同的结构：大气端连接机构7包括第二滑动盖73和第二密封垫圈，壳体1另一端设有第二环状突缘12，第二环状突缘12的端面上设有第二密封垫圈，第二滑动盖73可滑动地安装在壳体1上，第二滑动盖73的内孔直径小于第二环状突缘12直径，所述第二滑动盖内侧壁上设有螺纹。一端的连接机构与另一端大气端连接机构的结构相同，不区分两个安装端，便于安装，并且都采用密封结构，使本实用新型还可以用于连接两个不同真空度的外部设置，从而提高适用性。
壳体1可以采用磁屏蔽壳体，如铁磁材料壳体，以提高本实用新型的磁场屏蔽性能，防止外部磁场对磁流体的影响，提高本实用新型的稳定性。
本实用新型还可以设置有屏蔽垫圈8，磁屏蔽垫圈8可以设置在所述极靴4的外端，也可以设置在轴承3的外端，磁屏蔽垫圈8用于屏蔽轴向上的磁场干扰。磁屏蔽垫圈8与磁屏蔽壳体组成相对屏蔽的空间，防止外部磁场对磁流体造成干扰，提高工作的稳定性。
壳体1内侧壁上可以设有轴承安装槽、极靴安装槽和永磁体安装槽，便于本实用新型组装和定位。
在一个具体实施例中，如图2所示，连接槽22侧壁突出于所述壳体1的端面，锁紧螺母24靠近所述连接槽22侧壁的端面，便于拧动锁紧螺母。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
