一种调整式多尺寸衬底晶盒
技术领域
本实用新型涉及一种衬底晶盒，特别涉及一种调整式多尺寸衬底晶盒，属于晶片加工技术技术领域。
背景技术
如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等第一、二和三代半导体材料的运用规模及类型都在不断的壮大。作为前道的衬底加工，大都需要通过晶棒的线切、研磨、倒角、退火、铜抛、抛光、清洗等制程，其中还包含加工过程衬底各种质量要求的检测。整条衬底加工线有几十道工序。
不管对上述的哪种材料来说不断的生产更大尺寸的衬底晶片都是提高衬底利用率，降低衬底成本的主要手段。同时应对不同下游客户的需求往往需要同时加工生产不同尺寸的衬底晶片，而往往在如此长的加工工序中切换生产尺寸，需要更换大量的相应尺寸的晶舟盒来装载晶片，对生产成本和生产效率都造成一定的影响，且晶片在运输的过程中往往会沾有灰尘，会影响接下来晶片的加工质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种调整式多尺寸衬底晶盒，以解决上述背景技术中提出的晶舟盒装载晶片的尺寸往往是固定的以及晶片在运输的过程中会沾有空气中的杂质的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种调整式多尺寸衬底晶盒，包括主板，所述主板底端的两侧均设有挡板，两个所述挡板的一侧均设有三个垂直对应分布的穿孔槽，三个所述穿孔槽分别与两个螺柱穿插连接，所述两个螺柱分别设置在两个树脂条的一端，所述螺柱与树脂螺母螺纹连接，六个所述树脂条的一端均设有若干凹槽，所述主板一侧的底部开设有滑轨，所述滑轨与滑槽滑动连接，且所述滑槽开设在连接块的一侧，所述连接块底端的中部设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端固定设有连接板，所述连接板的一侧安装有吹风机，所述主板顶端的一侧设有控制面板，所述控制面板上分别设有吹风机控制按钮和电动伸缩杆控制按钮，所述连接板顶端的另一侧设有蓄电池，所述吹风机和电动伸缩杆分别通过吹风机控制按钮和电动伸缩杆控制按钮与蓄电池电性连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述主板两侧的顶部均设有挂板。
作为本实用新型的一种优选技术方案，若干所述凹槽内部的顶端均设有软绵垫，所述软绵垫的底端设有软弹簧，所述软弹簧的一端设有定板。
作为本实用新型的一种优选技术方案，三个所述穿孔槽内部的底端均刻设有刻度。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述挡板由PVDF材料制成。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种调整式多尺寸衬底晶盒，通过在挡板的一侧设有三个不同高度的穿孔槽以及多个树脂条，因此根据不同晶片的尺寸，进行装夹即可，因此操作简单，大大减少了不同规格晶舟盒的备用；通过在电动伸缩杆的底端设有的吹风机，可以对装夹的晶片的不同位置进行除尘工作，避免晶片被灰尘所污染；通过在凹槽内部设有的弹簧和定板，可以避免夹的过紧的时候造成晶片的断裂等损毁。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型树脂条的结构示意图；
图3为本实用新型的侧面结构示意图。
图中：1、主板；2、挡板；3、穿孔槽；4、挂板；5、凹槽；6、树脂螺母；7、螺柱；8、树脂条；9、软绵垫；10、软弹簧；11、定板；12、滑轨；13、连接块；14、电动伸缩杆；15、连接板；16、吹风机；17、控制面板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供了一种调整式多尺寸衬底晶盒，包括主板1，主板1底端的两侧均设有挡板2，两个挡板2的一侧均设有三个垂直对应分布的穿孔槽3，三个穿孔槽3分别与两个螺柱7穿插连接，两个螺柱7分别设置在两个树脂条8的一端，螺柱7与树脂螺母6螺纹连接，六个树脂条8的一端均设有若干凹槽5，主板1一侧的底部开设有滑轨12，滑轨12与滑槽滑动连接，且滑槽开设在连接块13的一侧，连接块13底端的中部设有电动伸缩杆14，电动伸缩杆14的伸缩端固定设有连接板15，连接板15的一侧安装有吹风机16，主板1顶端的一侧设有控制面板17，控制面板17上分别设有吹风机控制按钮和电动伸缩杆控制按钮，连接板15顶端的另一侧设有蓄电池18，吹风机16和电动伸缩杆14分别通过吹风机控制按钮和电动伸缩杆控制按钮与蓄电池18电性连接。
优选的，主板1两侧的顶部均设有挂板4，方便对晶舟盒的清洗。
优选的，若干凹槽5内部的顶端均设有软绵垫9，软绵垫9的底端设有软弹簧10，软弹簧10的一端设有定板11，避免在装夹晶体的时候，晶片发生断裂。
优选的，三个穿孔槽3内部的底端均刻设有刻度，可以更加精确的装夹晶片。
优选的，挡板2由PVDF材料制成，使得挡板2的结构更加牢固。
具体使用时，本实用新型一种调整式多尺寸衬底晶盒，先把树脂条8的两端穿过穿孔槽3，根据晶片的尺寸调节每个树脂条8的位置，由于穿孔槽3内部的底端设有刻度，因此可以更加精准的装夹晶片，之后再旋转树脂螺母6将晶片锁紧，此结构可以可匹配多种尺寸的晶片，增加了工作效率，由于在树脂条8的凹槽5顶端设有的软弹簧10，且软弹簧10的一端设有的定板可以避免晶片破片，由于在舟盒在移动的工作环境中，往往会在晶片的表面粘敷有灰尘，因此同时连接块13底端的电动伸缩杆以及连接板15上安装有的吹风机16，即可对晶片上的灰尘等杂质进行清理，在主板1两侧的顶部设有的挂板4可以方便对晶舟盒的清洗。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
