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一种安全性高的电退火炉

2021-02-04 02:24:31

一种安全性高的电退火炉

  技术领域

  本实用新型涉及电退火炉技术领域,具体涉及一种安全性高的电退火炉。

  背景技术

  退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能,热处理是针对不同的效果而设计的,可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底,在钢材加工车间中,电退火炉是一种常用的热处理工艺设备,尤其是在高合金工模具钢的热处理当中,退火之后,模具钢极易发生氧化反应,这对于工模具钢的表面质量的提升是极为不利的,因此如何能简便有效的防止在退火之后钢材表面的氧化是一个必须的面对的问题,随着科学技术的飞速发展,安全性高的电退火炉也得到了技术改进,但是现有技术无法方便对该炉门进行打开,并且在进行退火处理内部温度过高时而无法及时的进行调节导致退火质量降低。

  实用新型内容

  (一)要解决的技术问题

  为了克服现有技术不足,现提出一种安全性高的电退火炉,以解决无法方便对该炉门进行打开,并且在进行退火处理内部温度过高时而无法及时的进行调节导致退火质量降低的问题,达到可方便的进行炉门打开与闭合,并且在进行退火处理内部温度过高时可及时的进行调节的效果。

  (二)技术方案

  本实用新型通过如下技术方案实现:本实用新型提出了一种安全性高的电退火炉,包括炉体、门框、炉门、加热条、滑动轨道、电源线、台车、防氧化罩、钢材载板、木炭、上盖、进风口、风机、升降装置和报警装置,所述炉体前端左右两边通过手弧焊方式焊接有门框,所述门框左右两边中部滑动连接有炉门,所述升降装置上部左右两端面均呈矩形状通过手弧焊方式焊接有门框,所述炉体内壁左右两端均通过梅花螺栓螺栓连接有加热条,所述炉体内壁左右两端下部通过手弧焊方式焊接有滑动轨道,所述炉体右端中上部通过六角螺栓与报警装置左端进行螺栓连接,所述报警装置后端下部与电源线前端进行插接,所述台车底端左右两边与滑动轨道顶端进行滑动连接,所述台车内壁通过内六角沉头螺钉与防氧化罩外表面下部进行螺栓连接,所述防氧化罩内壁底端中部通过梅花螺栓与钢材载板底端进行螺栓连接,所述钢材载板与防氧化罩之间设置有木炭,所述台车顶端外围檐口与上盖底端外围进行卡扣连接,所述炉体顶端中后部设置有进风口,所述炉体右端后上部与风机通过内六角沉头螺钉进行螺栓连接,所述升降装置由支撑杆、固定板、固定件、电动推杆和凸块组成,所述支撑杆前端呈矩形状且其中部与固定板通过固定件进行螺栓连接,所述固定件同时贯穿固定板做鱼两端中部与支撑杆前端左右两部,并且固定件均与固定板和支撑杆进行螺纹连接,所述固定件前端面呈矩形状且其与电动推杆上部后端通过手弧焊方式进行焊接,所述电动推杆下部后端中部通过手弧焊方式与凸块前端进行焊接,所述凸块后端与炉门前端中部进行焊接,所述报警装置由壳体、开关、连接板、蜂鸣器、显示屏、设定旋钮、电连接线、温度传感器和微处理器组成,所述壳体前端呈矩形状且其左端上部与开关后端进行插接,所述壳体左右两端后部通过手弧焊方式焊接有连接板,所述蜂鸣器底端与壳体前端左中部通过梅花螺栓进行螺栓连接,所述壳体前端呈矩形状且其右边与显示屏后端进行插接,所述设定旋钮后端与壳体前端左上部进行转动连接,所述电连接线右端与壳体左端中部进行插接,所述温度传感器左端中部插接有电连接线,所述壳体内壁底端中部与微处理器底端通过六角螺栓进行螺栓连接,所述炉体右端中上部通过六角螺栓与报警装置左端进行螺栓连接,所述加热条、风机、电动推杆、电源线、蜂鸣器、显示屏、设定旋钮和温度传感器均通过微处理器与开关进行电连接。

  进一步的,所述电动推杆外表面下部呈圆柱状,电动推杆左右两端中部与炉门左右两端面相平行。

  进一步的,所述固定件设置有两个,并且固定件外表面后部设置有螺纹。

  进一步的,所述开关前端面呈圆形状,并且开关前端面粗糙。

  进一步的,所述连接板设置有两块,并且连接板前后两端上下两部设置有孔洞。

  进一步的,所述设定旋钮外表面前部设置有凹凸条,并且凹凸条外表面设置有条纹状的防滑纹。

  进一步的,所述温度传感器前后两端下部设置有固定件,并且固定件顶底两端设置有螺纹孔。

  进一步的,所述温度传感器的型号为CWD18。

  进一步的,所述微处理器的型号为AT89S52-24AU。

  进一步的,所述蜂鸣器的型号为HRB-P80A2。

  进一步的,所述电动推杆型号为XTL100。

  进一步的,所述风机的型号为FD-300-2。

  (三)有益效果

  本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:

  1)、为解决无法方便对该炉门进行打开的问题,通过在门框之间设置升降装置,经过启动电动推杆进行运转伸缩,从而带动凸块与炉门同时进行上下移动,达到了可方便的进行炉门打开与闭合的有益效果。

  2)、为解决在进行退火处理内部温度过高时而无法及时的进行调节导致退火质量降低的问题,通过在炉体外部与内壁设置报警装置,通过设定旋钮进行设定温度传感器的感应温度,接着进行感应,微处理器进行信息处理,当温度过高时,进而控制蜂鸣器进行响起,对工作人员发出警报,再及时进行调整,达到了在进行退火处理内部温度过高时可及时的进行调节的有益效果。

  附图说明

  通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

  图1为本实用新型的结构示意图;

  图2为本实用新型的升降装置结构示意图;

  图3为本实用新型的报警装置结构示意图;

  图4为本实用新型的报警装置壳体内部结构示意图;

  图5为本实用新型的电路框图结构示意图;

  图中:炉体-1、门框-2、炉门-3、升降装置-4、加热条-5、滑动轨道-6、报警装置-7、电源线-8、台车-9、防氧化罩-10、钢材载板-11、木炭-12、上盖-13、进风口-14、风机-15、支撑杆-41、固定板-42、固定件-43、电动推杆-44、凸块-45、壳体-71、开关-72、连接板-73、蜂鸣器-74、显示屏-75、设定旋钮-76、电连接线-77、温度传感器-78、微处理器-79。

  具体实施方式

  本技术方案中:

  升降装置4、报警装置7、支撑杆41、固定板42、固定件43、电动推杆44、凸块45、壳体71、开关72、连接板73、蜂鸣器74、显示屏75、设定旋钮76、电连接线77、温度传感器78和微处理器79为本实用新型含有实质创新性构件。

  炉体1、门框2、炉门3、加热条5、滑动轨道6、电源线8、台车9、防氧化罩10、钢材载板11、木炭12、上盖13、进风口14和风机15为实现本实用新型技术方案必不可少的连接性构件。

  为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

  请参阅图1、图2、图3、图4与图5,本实用新型提供一种安全性高的电退火炉:包括炉体1、门框2、炉门3、加热条5、滑动轨道6、电源线8、台车9、防氧化罩10、钢材载板11、木炭12、上盖13、进风口14、风机15、升降装置4和报警装置7,炉体1前端左右两边通过手弧焊方式焊接有门框2,门框2左右两边中部滑动连接有炉门3,升降装置4上部左右两端面均呈矩形状通过手弧焊方式焊接有门框2,炉体1内壁左右两端均通过梅花螺栓螺栓连接有加热条5,炉体1内壁左右两端下部通过手弧焊方式焊接有滑动轨道6,炉体1右端中上部通过六角螺栓与报警装置7左端进行螺栓连接,报警装置7后端下部与电源线8前端进行插接,台车9底端左右两边与滑动轨道6顶端进行滑动连接,台车9内壁通过内六角沉头螺钉与防氧化罩10外表面下部进行螺栓连接,防氧化罩10内壁底端中部通过梅花螺栓与钢材载板11底端进行螺栓连接,钢材载板11与防氧化罩10之间设置有木炭12,台车9顶端外围檐口与上盖13底端外围进行卡扣连接,炉体1顶端中后部设置有进风口14,炉体1右端后上部与风机15通过内六角沉头螺钉进行螺栓连接,升降装置4由支撑杆41、固定板42、固定件43、电动推杆44和凸块45组成,支撑杆41前端呈矩形状且其中部与固定板42通过固定件43进行螺栓连接,固定件43同时贯穿固定板42做鱼两端中部与支撑杆41前端左右两部,并且固定件43均与固定板42和支撑杆41进行螺纹连接,固定件43前端面呈矩形状且其与电动推杆44上部后端通过手弧焊方式进行焊接,电动推杆44下部后端中部通过手弧焊方式与凸块45前端进行焊接,凸块45后端与炉门3前端中部进行焊接,报警装置7由壳体71、开关72、连接板73、蜂鸣器74、显示屏75、设定旋钮76、电连接线77、温度传感器78和微处理器79组成,壳体71前端呈矩形状且其左端上部与开关72后端进行插接,壳体71左右两端后部通过手弧焊方式焊接有连接板73,蜂鸣器74底端与壳体71前端左中部通过梅花螺栓进行螺栓连接,壳体71前端呈矩形状且其右边与显示屏75后端进行插接,设定旋钮76后端与壳体71前端左上部进行转动连接,电连接线77右端与壳体71左端中部进行插接,温度传感器78左端中部插接有电连接线77,壳体71内壁底端中部与微处理器79底端通过六角螺栓进行螺栓连接,炉体1右端中上部通过六角螺栓与报警装置7左端进行螺栓连接,加热条5、风机15、电动推杆44、电源线8、蜂鸣器74、显示屏75、设定旋钮76和温度传感器78均通过微处理器79与开关72进行电连接。

  其中,所述电动推杆44外表面下部呈圆柱状,电动推杆44左右两端中部与炉门3左右两端面相平行,提高精确,为滑动炉门3闭合与打开提供方便。

  其中,所述固定件43设置有两个,并且固定件43外表面后部设置有螺纹,方便安装,提高连接稳定性。

  其中,所述开关72前端面呈圆形状,并且开关72前端面粗糙,增大了摩擦力,使得进行按下更方便。

  其中,所述连接板73设置有两块,并且连接板73前后两端上下两部设置有孔洞,增加稳固性,并且方便进行拆卸。

  其中,所述设定旋钮76外表面前部设置有凹凸条,并且凹凸条外表面设置有条纹状的防滑纹,增大了摩擦力,方便进行抓附转动。

  其中,所述温度传感器78前后两端下部设置有固定件,并且固定件顶底两端设置有螺纹孔,使得进行安装便捷,提高固定效果。

  其中,所述温度传感器78的型号为CWD18,稳定,感应力强。

  其中,所述微处理器79的型号为AT89S52-24AU,速度快,耐用。

  其中,所述蜂鸣器74的型号为HRB-P80A2,音量大,便宜。

  其中,所述电动推杆44型号为XTL100,推动稳定,使用寿命长。

  其中,所述风机15的型号为FD-300-2,转速快,风力大。

  本专利所述的电动推杆44,是由电机推杆和控制装置等机构组成的一种新型直线执行机构,可以认为是旋转电机在结构方面的一种延伸;所述的温度传感器78,是指能感受温度并转换成可用输出信号的传感器,温度传感器是温度测量仪表的核心部分,品种繁多。

  工作原理:首先,将该安全性高的电退火炉移动至合适的位置进行稳固,然后,通过电源线8接通电源,接着,通过在门框2之间设置升降装置4,经过启动电动推杆44进行运转伸缩,从而带动凸块45与炉门3同时进行上下移动,达到了可方便的进行炉门打开与闭合的有益效果,进而打开炉门3,之后,通过在台车9当中设置钢材载板11,在钢材载板周围放置木炭12,并用防氧化罩10与上盖13罩住,同时在防氧化罩10的周围铺设密封细沙,钢材载板11上放置钢材,将该台车9通过滑动轨道6进入到炉体1内部,点击开关72使加热条5生热,炉体1对钢材进行加热,加热到一定温度后,防氧化罩10中的木炭12燃烧,将防氧化罩10中的氧气消耗掉,这样就能有效阻止钢材的氧化,最后,通过在炉体1外部与内壁设置报警装置7,通过设定旋钮76进行设定温度传感器78的感应温度,接着进行感应,微处理器79进行信息处理,当温度过高时,进而控制蜂鸣器74进行响起,对工作人员发出警报,再及时进行调整,达到了在进行退火处理内部温度过高时可及时的进行调节的有益效果,进而,通过升降装置4打开炉门3,将台车9进行取出。

  以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

  此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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