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一种用于单晶炉的放气阀

2021-02-11 18:33:26

一种用于单晶炉的放气阀

  技术领域

  本发明涉及单晶炉技术领域,具体的涉及一种用于单晶炉的放气阀。

  背景技术

  单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主 )环境中 ,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化 ,用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一,它不但是集成电路的主要材料,更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后,放气时直接将螺母旋下进行放气,这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏,印象惰性气体的质量。

  发明内容

  本发明在第一排气孔发生堵塞时,可以通过第二排气孔继续放气,起到了增加其实用性能的作用,而提供一种用于单晶炉的放气阀。

  为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的放气阀,其特征在于:包括放气阀阀体和连接在放气阀阀体下端的连接端头,所述的放气阀阀体通过连接端头与炉盖顶部的连接座相连,所述的炉盖上开设有出气孔,所述的连接端头上正对着出气孔的位置开设有通孔,所述的出气孔通过通孔与放气阀阀体相连通,所述的放气阀阀体内连接第一阀芯,所述的放气阀阀体的上端安装有阀盖,所述的第一阀芯通过第一弹簧与阀盖相连,所述的放气阀阀体的侧壁上开设有第一排气孔。

  进一步:所述的放气阀阀体的两侧设置有第一连接片,所述的连接端头上端的两侧设置有第二连接片,所述的第一连接片通过螺纹组件与第二连接片相连。

  又进一步:所述的连接端头的下端连接在连接座内,所述的连接座的内壁上设置有内接螺纹,所述的连接端头的外壁上设置有外接螺纹,所述的连接端头通过外接螺纹与内接螺纹的配合连接在连接座内。

  又进一步:所述的第一阀芯的底部开设有导向槽,所述的导向槽内连接有备用阀芯,所述的备用阀芯通过通过第二弹簧连接在导向槽内,所述的第一阀芯内还开设有备用通道,所述的备用通道的一端与导向槽相连通,所述的备用通道的另一端与第一阀芯上方的放气阀阀体的内部空间相连通,所述的阀盖上开设有第二排气孔,所述的导向槽的内壁上开设有连接孔,所述的连接孔内通过第三弹簧连接有三角形卡头,所述的备用阀芯的侧壁上开设有与三角形卡头相匹配的三角形卡槽。

  再进一步:所述的导向槽内的顶部安装有气缸,气缸的出轴端位于备用阀芯的正上方。

  采用上述结构后,本发明在第一排气孔发生堵塞时,可以通过第二排气孔继续放气,起到了增加其实用性能的作用;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

  附图说明

  下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

  图1为本发明的结构示意图。

  图2为第一阀芯的内部结构示意图。

  具体实施方式

  如图1所示的一种用于单晶炉的放气阀,包括放气阀阀体9和连接在放气阀阀体9下端的连接端头4,所述的放气阀阀体9通过连接端头4与炉盖1顶部的连接座3相连,所述的炉盖1上开设有出气孔2,所述的连接端头4上正对着出气孔2的位置开设有通孔,所述的出气孔2通过通孔与放气阀阀体9相连通,所述的放气阀阀体9内连接第一阀芯7,所述的放气阀阀体9的上端安装有阀盖10,所述的第一阀芯通过第一弹簧与阀盖10相连,所述的放气阀阀体9的侧壁上开设有第一排气孔8,本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

  如图1所示的放气阀阀体9的两侧设置有第一连接片5,所述的连接端头4上端的两侧设置有第二连接片6,所述的第一连接片5通过螺纹组件与第二连接片6相连。

  如图1所示的连接端头4的下端连接在连接座3内,所述的连接座3的内壁上设置有内接螺纹,所述的连接端头4的外壁上设置有外接螺纹,所述的连接端头4通过外接螺纹与内接螺纹的配合连接在连接座3内。

  如图1和图2所示的第一阀芯7的底部开设有导向槽7-1,所述的导向槽7-1内连接有备用阀芯7-2,所述的备用阀芯7-2通过通过第二弹簧7-7连接在导向槽7-1内,所述的第一阀芯7内还开设有备用通道7-6,所述的备用通道7-6的一端与 导向槽7-1相连通,所述的备用通道7-6的另一端与第一阀芯7上方的放气阀阀体9的内部空间相连通,所述的阀盖上开设有第二排气孔11,所述的导向槽7-1的内壁上开设有连接孔,所述的连接孔内通过第三弹簧7-5连接有三角形卡头7-4,所述的备用阀芯7-2的侧壁上开设有与三角形卡头7-4相匹配的三角形卡槽7-3。本发明在第一排气孔发生堵塞时,可以通过第二排气孔继续放气,起到了增加其实用性能的作用。

  如图2所示的导向槽7-1内的顶部安装有气缸7-8,气缸7-8的出轴端位于备用阀芯7-2的正上方,通过启动气缸向下挤压备用阀芯7-2,使三角形卡头7-4从三角形卡槽7-3中脱离,从而使备用阀芯7-2在第二弹簧的作用下回复到原位。

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