半导体单晶炉热场吊装机构
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及吊装机构。
背景技术
以前的晶体生长炉热场的安装都是靠人工，一个零件一个零件向炉内运输，费时费力，容易损坏昂贵的热场零件，效率低。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供半导体单晶炉热场吊装机构，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：半导体单晶炉热场吊装机构，其特征在于，包括一支架，所述支架包括一底座、一立柱，所述底座与所述立柱可拆卸连接，所述立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；
还包括三爪连杆机构，所述三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；
每个连杆组均包括第一连杆、第二连杆、第三连杆以及卡爪，所述第一连杆的上端与滑块铰接，所述第一连杆的中央与所述第二连杆的上端转动连接，所述第二连杆的下端与底座转动连接；
所述第一连杆的下端与所述卡爪的中央转动连接，所述卡爪靠近所述立柱端与第三连杆的下端相连，所述第三连杆的上端与所述第二连杆的靠近第一连杆处转动连接；
所述卡爪与所述第一连杆转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有为一特氟龙制成的垫板，所述垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；
还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母，所述调节螺母与所述立柱螺纹连接，所述调节螺母位于所述滑块的下方；
还包括一驱动滑块沿着所述立柱上下运动的牵拉机构，所述牵拉机构的上端部安装在所述立柱上。
本专利的创造点在于：(1)通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件的吊装，操作方便。(2)通过调节螺母与螺母螺纹连接，便于保证调节螺母的高度调整，实现滑块最低限位处的高度微调，实现在整个装置张开支撑热场部件时，三爪连杆机构张开度的微调。(3)通过特氟龙制成的垫板，由于特氟龙具有耐高温耐腐蚀性，保证使用寿命。
所述滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈、滑套、爪套、一导向杆座以及一螺母；
所述特氟龙垫圈通过螺钉与所述滑套可拆卸连接；
所述滑套与所述螺母螺纹连接，且所述爪套以及所述导向杆座夹设在所述滑套与所述螺母之间；
所述牵拉机构的下端安装在所述导向杆座上。
本专利通过优化滑块的结构，通过特氟龙垫圈，防止与锁紧螺母接触时的相互磨损。
通过滑套与螺母的结合，便于实现爪套与导向杆座的可拆卸安装。
所述牵拉机构还包括一导向杆，所述导向杆的下端安装在所述导向杆座上；
所述牵拉机构包括一快速夹钳，所述快速夹钳安装在所述立柱上，所述快速夹钳包括一驱动导向杆竖直运动的手柄，所述手柄与所述导向杆的上端传动连接。
便于通过手柄的操作，实现导向杆的上下运动，进而实现三爪连杆机构的张开与收拢。
所述快速夹钳包括一支架，所述手柄与所述支架铰接连接；
所述快速夹钳还包括一随着手柄相对于支架的转动上下运动的第四连杆，所述第四连杆与所述导向杆的上端相连；
所述支架上设有用于引导第四连杆上下运动的通道，所述第四连杆的上端与一连接件铰接，所述连接件的另一端与所述手柄铰接。
便于通过手柄的旋转运动，驱动导向杆的竖直运动。
所述第四连杆的下端安装有一螺母，所述导向杆的上端与螺母螺纹连接。
便于通过螺母与导向杆的螺纹连接，便于实现导向杆的高度的调整。
所述立柱包括一固定轴、一导向套以及活动轴；
所述活动轴的下端与所述导向套螺纹连接；
所述固定轴是一上下导通的中空管，所述中空管的上端设有内螺纹，所述活动轴的外壁上设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹；
所述中空管设有内螺纹的下端与所述导向套滑动连接。
所述固定轴的下端与所述底座螺纹连接。
所述导向套最大外径处的外径大于所述活动轴的下端部的外径。便于防止活动轴与固定轴的相对旋转而向上运动与固定轴脱离连接。
本专利通过优化立柱的结构，便于实现立柱整体高度的调整。通过活动轴向下旋出，进而实现活动轴下滑，实现整体高度的控制，减少占用空间。
所述底座上开设有至少三个以底座的中心轴线为中心线呈环状排布的缺口。便于减轻自重。
所述快速夹钳安装在一夹钳座上，所述夹钳座安装在所述活动轴上；
所述夹钳座上开设有活动轴穿过的通孔，所述通孔的内壁与所述活动轴的外壁存有间隙。
便于保证活动轴的转动。
附图说明
图1为本实用新型张开状态下的示意图；
图2为本实用新型收起状态下的示意图；
图3为本实用新型张开状态下的俯视图；
图4为本实用新型收起状态下的俯视图。
图中：1为底座，2为固定轴，3为第二连杆，4为第三连杆，5为第一连杆，6为卡爪，7为垫板，8为短销轴，9为长销轴，10为调节螺母，11为特氟龙垫圈，12为滑套，13为爪套，14为导向杆座，15为锁紧螺母，16为导向套，17为活动轴，18为导向杆，19为螺母，20为快速夹钳，21为固定环，22为夹钳座，23为吊环螺钉，24为热场部件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1、图2、图3和图4，半导体单晶炉热场吊装机构，包括一支架，支架包括一底座1、一立柱，底座1与立柱可拆卸连接，立柱的上端与一吊环螺钉螺纹连接；还包括三爪连杆机构，三爪连杆机构包括一滑块以及三个连杆组；每个连杆组均包括第一连杆5、第二连杆3、第三连杆4以及卡爪6，第一连杆5的上端与滑块铰接，第一连杆5的中央与第二连杆3的上端转动连接，第二连杆3的下端与底座1转动连接；第一连杆5的下端与卡爪6的中央转动连接，卡爪6靠近立柱端与第三连杆4的下端相连，第三连杆4的上端与第二连杆3的靠近第一连杆5处转动连接；卡爪6与第一连杆5转动连接处的径向外侧的上表面覆盖有一特氟龙制成的垫板7，垫板的上表面为接触并支撑热场部件侧；还包括一用于对滑块进行限位的调节螺母10，调节螺母10与立柱螺纹连接，调节螺母10位于滑块的下方；还包括一驱动滑块沿着立柱上下运动的牵拉机构，牵拉机构的上端部安装在立柱上。本专利的创造点在于：(1)通过优化三爪连杆机构，便于实现对中空的热场部件24的吊装，操作方便。(2)通过调节螺母与螺母螺纹连接，便于保证调节螺母的高度调整，实现滑块最低限位处的高度微调，实现在整个装置张开支撑热场部件24时，三爪连杆机构张开度的微调。(3)通过特氟龙制成的垫板7，由于特氟龙具有耐高温耐腐蚀性，保证使用寿命。
垫板靠近立柱侧设有一向上的翻边。便于实现防止热场部件接触到第一连杆，实现对热场部件的保护。
立柱的上端与吊环螺钉23螺纹连接。
滑块包括从下至上依次设置的特氟龙垫圈11、滑套12、爪套13、一导向杆座14以及一螺母；特氟龙垫圈11通过螺钉与滑套12可拆卸连接；滑套12与螺母螺纹连接，且爪套13以及导向杆座14夹设在滑套12与螺母之间；牵拉机构的下端安装在导向杆座14上。本专利通过优化滑块的结构，通过特氟龙垫圈11，防止与锁紧螺母接触时的相互磨损。通过滑套12与螺母的结合，便于实现爪套13与导向杆座14的可拆卸安装。
牵拉机构是一可竖直方向伸缩的伸缩机构。
或者，牵拉机构还包括一导向杆，导向杆的下端安装在导向杆座14上；牵拉机构包括一快速夹钳20，快速夹钳20安装在立柱上，快速夹钳20包括一驱动导向杆竖直运动的手柄，手柄与导向杆的上端传动连接。便于通过手柄的操作，实现导向杆的上下运动，进而实现三爪连杆机构的张开与收拢。
快速夹钳20包括一支架，手柄与支架铰接连接；快速夹钳20还包括一随着手柄相对于支架的转动上下运动的第四连杆，第四连杆与导向杆的上端相连；支架上设有用于引导第四连杆上下运动的通道，第四连杆的上端与一连接件铰接，连接件的另一端与手柄铰接。便于通过手柄的旋转运动，驱动导向杆的竖直运动。第四连杆的下端安装有一螺母19，导向杆18的上端与螺母19螺纹连接。便于通过螺母与导向杆的螺纹连接，便于实现导向杆的高度的调整。
进一步优选为，立柱包括一固定轴以及活动轴，固定轴是一中空杆，中空杆的内壁设有内螺纹，活动轴的外壁设有与中空杆的内螺纹相匹配的外螺纹；固定轴的下端与底座1螺纹连接。便于实现固定轴与活动轴的可拆卸连接，便于实现高度可调整。装置不用时，可以通过固定轴与活动轴的相对转动，降低活动轴的高度，不占空间。
或者，立柱包括一固定轴2、一导向套16以及活动轴17；活动轴17的下端与导向套16螺纹连接；固定轴2是一上下导通的中空管，中空管的上端设有内螺纹，活动轴17的外壁上设有与内螺纹相匹配的外螺纹；中空管设有内螺纹的下端与导向套16滑动连接。固定轴2的下端与底座1螺纹连接。本专利通过优化立柱的结构，便于实现立柱整体高度的调整。通过活动轴17向下旋出，进而实现活动轴17下滑，实现整体高度的控制，减少占用空间。导向套最大外径处的外径大于活动轴的下端部的外径。便于防止活动轴与固定轴的相对旋转而向上运动与固定轴脱离连接。
快速夹钳20安装在一夹钳座22上，夹钳座22安装在活动轴上；夹钳座22上开设有活动轴穿过的通孔，通孔的内壁与活动轴的外壁存有间隙。便于保证活动轴的转动。夹钳座的上方以及下方均安装有套设在活动轴上的固定环。固定环实现夹钳座固定在活动轴上。固定环可以是两个半圆环可拆卸连接构成的固定环。
图1结构的本装置的安装步骤可以如下：
1、将导向套16通过螺纹连接在活动轴17的下端，然后套入固定轴2内，活动轴17下端的螺纹与固定轴上端的内螺纹配合，吊装时将活动轴17与固定轴2螺纹拧紧，不用时将活动轴螺纹松开降低高度，不占空间。
2、底座1放置地面或平台上，把固定轴2与底座1通过螺纹连接紧固，并用锥端紧定螺钉紧固。
3、将调节螺母10装入固定轴2上端，将特氟龙垫圈11装入滑套12，再将爪套13和导向杆座14装入滑套12后一起装入固定轴2。
4、将第二连杆3，第三连杆4，第一连杆5和卡爪6、垫板7安装好，用短销轴8和长销轴9连接好使其活动自如，第一连杆5上端与爪套通过销轴连接好。
5、先将一个固定环21和夹钳座22装入活动轴17，再将上面的固定环21装入。将快速夹钳20与夹钳座22用螺钉固定好，将导向杆18的下端与导向杆座14连接并用螺钉固定，上端与快速夹钳20连接，并用螺母19调节好导向杆18的高度后拧紧螺母19。最后将吊环螺钉23拧紧在活动轴17上端。
6、按图1所示，是热场部件24旋转时的张开位置，调节好调节螺母10的高度位置后用紧定螺钉紧固好，再将锁紧螺母15拧紧，再将两个固定环21紧固。收起状态时如图2所示，可以把吊装机构从炉内取出。
工作人员可以使用工厂行车，移动吊车等将支撑有热场部件的本装置吊入炉内后，卡爪收拢，轻松地从炉内取出吊具，快速高效地装料，节约人力，提高效率。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
