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一种单晶炉侧压轮机构

2021-01-31 18:55:15

一种单晶炉侧压轮机构

  技术领域

  本实用新型涉及晶体硅生产的技术领域,具体涉及一种单晶炉侧压轮机构。

  背景技术

  提拉法单晶硅生长的原理,在惰性气体(氩气)环境中,用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化,在特定温区内,通过晶体传动机构带动籽晶运动,通过坩埚传动机构带动熔液运动,形成晶体的固液交界面,并产生一个适合硅晶体生长的温度场,实现生长成无位错的单晶硅棒,其中晶体传动机构带动籽晶实现两个运动,晶升和晶转,本发明涉及晶升运动部分。

  目前大多数单晶硅炉的晶升运动,是通过在真空腔室顶端,设置一套卷丝轮机构,卷丝轮上设有螺旋槽,籽晶软轴一端安装单晶体籽晶,另一端绕过承重滑轮后缠绕在卷丝轮上的螺旋槽内,通过传动系统带动卷丝轮转动,使籽晶软轴在卷丝轮上顺着既定轨迹缠绕或者脱开,带动籽晶实现上下运动。当前结构存在的主要弊端:由于晶升运动系统安装在单晶炉最顶端,不易监控其机械传动运行的状态,有存在操作失误造成籽晶绳回弹脱出卷丝轮螺旋槽的隐患,此现象一旦出现,当籽晶软轴再次受力时有可能会被卡死或割伤拉断,从而造成重大的安全事故。

  实用新型内容

  有鉴于此,本实用新型的主要目的是提供一种单晶炉侧压轮机构。

  本实用新型采用的技术方案是:

  一种单晶炉侧压轮机构,包括在卷丝轮的侧边设置侧压轮组件,其特征在于,所述侧压轮组件包括球轴承、销轴、固定板、压轮座、弹簧及压帽,所述球轴承安装在压轮座上,销轴卡住球轴承并将球轴承限位,所述压轮座装在固定板上,压帽旋入所述固定板的一端将压轮座进行限位,在所述压轮座和压帽之间还设有弹簧。

  优选的,所述固定板安装在后法兰上并用螺钉紧固,所述固定板上设有定位孔,防止压轮座相对于固定板上下移动时转动。

  优选的,所述压轮座上还设有台阶,防止安装及调整卷丝轮及籽晶软轴时,压轮座脱出固定板。

  优选的,所述弹簧为压簧。

  本实用新型提供一种单晶炉侧压轮机构,籽晶软轴缠绕在卷丝轮的螺旋槽内,籽晶软轴在卷丝轮上按照既定轨迹缠绕或者脱开,由于弹簧的作用,保证压轮始终将籽晶软轴压紧,防止脱槽,其有效的解决了目前单晶炉在运行过程中籽晶软轴脱出卷丝轮螺旋槽的技术问题。

  附图说明

  以上所述仅是本实用新型专利方案概述,为了更清楚说明本实用新型的技术手段,以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。

  图1为本实用新型的结构示意图。

  具体实施方式

  下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型,在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。

  参照图1,本实用新型具体公开了一种单晶炉侧压轮机构,在卷丝轮1的侧边设置侧压轮组件,侧压轮组件包括球轴承4、销轴5、固定板6、压轮座7、弹簧8及压帽9。其中球轴承4安装在压轮座7上,销轴5将球轴承4限位,压轮座7装在固定板6上,压帽9旋入固定板6的一端将压轮座7限位,在压轮座7和压帽9之间还设有弹簧8,固定板6安装在后法兰11上,螺钉10紧固。

  所述的压轮座7上还设有台阶12,固定板6上设有定位孔14,防止压轮座7相对于固定板6上下移动时转动。压轮座上还设有台阶13,防止安装及调整卷丝轮1及籽晶软轴2时,压轮座7脱出固定板6。

  所述的弹簧8属于压簧。

  籽晶软轴2缠绕在卷丝轮1的螺旋槽3内,传动系统带动卷丝轮1转动并左右移动,籽晶软轴2在卷丝轮1上按照既定轨迹缠绕或者脱开,由于弹簧8的作用,保证压轮4始终将籽晶软轴2压紧,防止脱槽。

  以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍,本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型实施例,在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

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