一种单晶炉用机架调整装置及单晶炉
技术领域
本实用新型涉及硅单晶炉技术领域。
背景技术
单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，纯度可达到99.9999999％以上，可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域处于新材料发展的前沿。
半导体级硅单晶炉是单晶硅产业链中重要的晶体生长设备，目前，世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种：一种是区熔法，另一种是直拉法，其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点，一直是半导体硅衬底制备的主要手段。
在采用直拉法的单晶炉中，将籽晶浸入坩埚内的熔融原料中，在转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶，并在籽晶下端生长晶硅棒。拉晶前后，坩埚在坩埚轴的带动下进行转动及升降运动。
但由于单晶炉的生产过程对晶硅棒生长精度要求较高，故在单晶炉在安装或者转运再安装过程中，需要对机架进行调平，在大型机械进行调平的手段中，楔形斜铁较常用，如在机架的四个角设置楔形斜铁。但某一个楔形斜铁在相互移动使机架的一角抬高或者降低的过程中，即使没有调整到位，机架也会随着楔形斜铁偏移而造成机架整体结构的变形和不稳定，反而对设备造成损害。
实用新型内容
实用新型目的：提供一种单晶炉用机架调整装置，能够解决机架在调平时变形的问题。
本实用新型另外提供一种包含该机架调整装置的单晶炉。
技术方案：为达到上述目的，本实用新型单晶炉用机架调整装置可采用如下技术方案：
一种单晶炉用机架调整装置，包括地基预埋钢板、机架，还包括位于地基预埋钢板与机架之间的楔形斜铁、安装在机架底部的上连接板、安装于地基预埋钢板上表面的下连接板；所述上连接板包括安装在机架底部的上安装部及自上安装部向下延伸的上对接部；所述上对接部上设有若干上连接孔；所述下连接板包括安装在地基预埋钢板顶部的下安装部及自下安装部向上延伸的下对接部；所述下对接部上设有若干与上连接孔一一对应的下连接孔，并设置螺栓连接上连接孔及下连接孔；所述上连接孔或下连接孔中其中一个为与螺栓螺纹连接的螺纹孔而另一个为开孔面积大于螺纹孔面积的调整孔，螺栓的螺杆在该调整孔中能够移位，所述螺栓先穿过调整孔后再与螺纹孔螺纹连接。
有益效果，本实用新型中采用了上连接板和下连接板的固定连接预先将机架和地基预埋钢板之间的相对距离固定，然后再通过微调楔形斜铁，当楔形斜铁调整到预设的高度时，再将连接调整孔和螺纹孔的螺栓自螺纹孔松开，此时机架随楔形斜铁至一个新的高度后被楔形斜铁承载，而对于螺栓，此时由于调整孔的面积较大，当机架位置下降或上升时，下连接板相对于上连接板的相对位置下降或者上升，螺栓仍能够在调整孔内移动而不会受到调整孔的干涉，从而在机架调整后螺栓再次将上连接板与下连接板固定，以备下一次对机架的调整。
进一步的，所述若干上连接孔横向水平设置，所述若干下连接孔同样横向水平设置。
进一步的，所述楔形斜铁包括三块，且中间一块楔形斜铁的上表面与最上的一块楔形斜铁下表面贴合，中间一块楔形斜铁的下表面与最下的一块楔形斜铁上表面贴合，其中中间的一块楔形斜铁的侧面为等腰梯形形状；最上的一块楔形斜铁的下表面为斜面而上表面为平面并承载机架；最下的一块楔形斜铁的上表面为斜面而下表面为平面并承载于地基预埋钢板上。
进一步的，所述上安装部通过螺栓安装于机架下方；下安装部同样通过螺栓安装于地基预埋钢板上方。
本申请提供的单晶炉的技术方案为
一种单晶炉，该单晶炉包含上述四个机架调整装置，分别位于单晶炉的四个边角，即通过四个边角对楔形斜铁分别的高度微调实现最终对机架的调平。
附图说明
图1为本实用新型中机架调整装置的示意图。
图2为图1中机架调整装置另一个角度的示意图。
图3为图1中的上连接板立体图。
图4为图1中的下连接板立体图。
具体实施方式
实施例一
本实施例一提供一种单晶炉用机架调整装置的实施例。
请参阅图1及图2所示，本实用新型公开一种单晶炉用机架调整装置，包括地基预埋钢板1、机架2，还包括位于地基预埋钢板1与机架2之间的楔形斜铁3、安装在机架2底部的上连接板4、安装于地基预埋钢板1上表面的下连接板5。其中，楔形斜铁3起到主要承载机架2且对机架2相对地基预埋钢板1高度微调的作用。请结合图2所示，在本实施方式中，所述楔形斜铁3包括三块，且中间一块楔形斜铁的上表面与最上的一块楔形斜铁下表面贴合，中间一块楔形斜铁的下表面与最下的一块楔形斜铁上表面贴合，其中中间的一块楔形斜铁的侧面为等腰梯形形状；最上的一块楔形斜铁的下表面为斜面而上表面为平面并承载机架2；最下的一块楔形斜铁的上表面为斜面而下表面为平面并承载于地基预埋钢板1上。
所述上连接板4包括安装在机架2底部的上安装部41及自上安装部41向下延伸的上对接部42。所述上对接部42上设有若干上连接孔43。所述下连接板5包括安装在地基预埋钢板1顶部的下安装部51及自下安装部51向上延伸的下对接部52。所述下对接部52上设有若干与上连接孔43一一对应的下连接孔53，并设置螺栓6连接上连接孔43及下连接孔53。所述上安装部4通过螺栓7安装于机架2下方；下安装部5同样通过螺栓8安装于地基预埋钢板1上方。
所述上连接孔43或下连接孔53中其中一个为与螺栓螺纹连接的螺纹孔而另一个为开孔面积大于螺纹孔面积的调整孔，螺栓的螺杆在该调整孔中能够移位，所述螺栓先穿过调整孔后再与螺纹孔螺纹连接。而如图3及图4所示，在本实施方式中，上连接孔43为螺纹孔而下连接孔53为调整孔，当然反过来设置也可以。所述若干上连接孔43横向水平设置，所述若干下连接孔53同样横向水平设置。该螺纹孔与调整孔的设计在于，由于调整孔的面积较大，当机架位置下降或上升时，下连接板5相对于上连接板4的相对位置下降或者上升，螺栓6仍能够在调整孔内移动而不会受到调整孔的干涉，从而在机架2调整后螺栓再次将上连接板4与下连接板5固定，以备下一次对机架2的调整。
而该调整装置在具体使用时，需要调整机架2相对于地基预埋钢板1的高度，螺栓6首先仍保持锁紧，此时上连接部4与下连接部5相对位置固定，起到辅助承载机架2和地基预埋钢板1之间的相对距离固定的功能，在通过楔形斜铁3微调到指定高度之后，再将连接调整孔和螺纹孔的螺栓6自螺纹孔松开，此时机架2随楔形斜铁至一个新的高度后被楔形斜铁3承载，而对于螺栓6，此时由于调整孔的面积较大，当机架2位置下降或上升时，下连接板5相对于上连接板4的相对位置下降或者上升，螺栓6仍能够在调整孔内移动而不会受到调整孔的干涉，从而在机架2调整后螺栓再次将上连接板4与下连接板5固定，以备下一次对机架的调整。
实施例二
本实施例提供了一种包含实施例一中的机架调整装置的单晶炉(未图示)。
该单晶炉包含上述四个机架调整装置，分别位于单晶炉的四个边角，即通过四个边角对楔形斜铁分别的高度微调实现最终对机架的调平。
另外，本实用新型的具体实现方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
