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单晶硅加热器

2022-12-08 22:40:44

单晶硅加热器

  技术领域

  本实用新型涉及单晶硅制备设备技术领域,尤其涉及一种单晶炉加热器。

  背景技术

  随着社会的快速发展,光伏领域得到越来越多的人的重视,而单晶硅成为太阳能电池板的主要材料。制作单晶硅的过程中,需要通过单晶炉对硅料进行加热,而单晶炉中的加热器是单晶炉中的热量来源,现有技术中,通常使用的加热器为整体加热器,随着热场尺寸的增大,加热器尺寸也随之增大,且未来发展方向向着大热场发展,热场尺寸越大,热场成本越高,加热器价格越昂贵。

  实用新型内容

  有鉴于此,本实用新型实施例提供一种单晶硅加热器,主要目的是提供一种能够降低加热器的生产成本的单晶炉加热器。

  为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:

  本实用新型实施例提供了一种单晶硅加热器,包括:

  加热器脚;

  本体,所述本体包括多个加热板和多个连接板,多个所述连接板包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板的一端可拆卸连接于其中一个所述加热板,另一端可拆卸连接于所述加热器脚,所述第二连接板的一端可拆卸连接于所述加热器脚,另一端可拆卸连接于其中一个所述加热板。

  进一步的,多个所述加热板包括多个第一加热板和多个第二加热板,其中一个所述连接板的两端分别可拆卸连接于所述第一加热板和所述第二加热板。

  进一步的,所述加热板包括第一连接端、第二连接端和加热片,所述第一连接端设置在所述加热片的一端,所述第二连接端设置在所述加热片的另一端。

  进一步的,所述第一加热板的所述加热片的长度大于所述第二加热板的所述加热片的长度。

  进一步的,所述第一连接端具有第一连接孔,所述第二连接端具有第二连接孔,用于连接相邻的所述连接板或者加热器脚。

  进一步的,所述连接板包括板体和隔块,所述板体具有相对的第一侧面和第二侧面,所述隔块设置在所述第一侧面。

  进一步的,所述板体上具有第三连接孔和第四连接孔,所述第三连接孔和所述第四连接孔分别设置在所述隔块的两侧。

  进一步的,连接螺栓,所述连接螺栓设置在所述板体上,用于连接相邻的所述加热板或者加热器脚。

  与现有技术相比,本实用新型具有如下技术效果:

  本实用新型实施例提供的技术方案中,加热器脚用于连接单晶炉内的电极螺栓,本体的作用是加热坩埚,本体包括多个加热板和多个连接板,多个连接板包括第一连接板和第二连接板,第一连接板的一端可拆卸连接于其中一个加热板,另一端可拆卸连接于加热器脚,第二连接板的一端可拆卸连接于加热器脚,另一端可拆卸连接于其中一个加热板,相对于现有技术,使用的加热器为整体加热器,随着热场尺寸的增大,加热器尺寸也随之增大,且未来发展方向向着大热场发展,热场尺寸越大,热场成本越高,加热器价格越昂贵,本实用新型实施例中,通过多个连接板和多个加热板相互连接,其中,第一连接板的一端可拆卸连接于其中一个加热板,另一端可拆卸连接于加热器脚,第二连接板的一端可拆卸连接于加热器脚,另一端可拆卸连接于其中一个加热板,使得加热器能够通过多个体积较小的石墨材料加工而成,最大限度的利用石墨材料,从而达到使加热器的加工简单、组装方便的技术效果,并且每个连接板或者加热板能够单独进行拆卸和更换,从而达到降低加热器的生产成本的技术效果。

  附图说明

  图1为本实用新型实施例提供的一种单晶硅加热器的结构示意图;

  图2为本实用新型实施例提供的一种单晶硅加热器的左视结构示意图;

  图3为本实用新型实施例提供的一种加热板的结构示意图;

  图4为本实用新型实施例提供的一种连接板的结构示意图。

  具体实施方式

  下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

  如图1、图2、图3和图4所示,本实用新型实施例提供了一种单晶硅加热器,包括:

  加热器脚1;

  本体2,本体2包括多个加热板21和多个连接板22,多个连接板22包括第一连接板221和第二连接板222,第一连接板221的一端可拆卸连接于其中一个加热板21,另一端可拆卸连接于加热器脚1,第二连接板222的一端可拆卸连接于加热器脚1,另一端可拆卸连接于其中一个加热板21。

  本实用新型实施例提供的技术方案中,加热器脚1用于连接单晶炉内的电极螺栓,本体2的作用是加热坩埚,本体2包括多个加热板21和多个连接板22,多个连接板22包括第一连接板221和第二连接板222,第一连接板221的一端可拆卸连接于其中一个加热板21,另一端可拆卸连接于加热器脚1,第二连接板222的一端可拆卸连接于加热器脚1,另一端可拆卸连接于其中一个加热板21,相对于现有技术,使用的加热器为整体加热器,随着热场尺寸的增大,加热器尺寸也随之增大,且未来发展方向向着大热场发展,热场尺寸越大,热场成本越高,加热器价格越昂贵,本实用新型实施例中,通过多个连接板22和多个加热板21相互连接,其中,第一连接板221的一端可拆卸连接于其中一个加热板21,另一端可拆卸连接于加热器脚1,第二连接板222的一端可拆卸连接于加热器脚1,另一端可拆卸连接于其中一个加热板21,使得加热器能够通过多个体积较小的石墨材料加工而成,最大限度的利用石墨材料,从而达到使加热器的加工简单、组装方便的技术效果,并且每个连接板22或者加热板21能够单独进行拆卸和更换,从而达到降低加热器的生产成本的技术效果。

  上述加热器脚1的作用是连接单晶炉内的电极螺栓,电能通过电机螺栓到达加热器,使加热器发热,本体2作用是加热坩埚,本体2包括多个加热板21和多个连接板22,多个连接板22包括第一连接板221和第二连接板222,第一连接板221的一端可拆卸连接于其中一个加热板21,另一端可拆卸连接于加热器脚1,第二连接板222的一端可拆卸连接于加热器脚1,另一端可拆卸连接于其中一个加热板21,也就是说,加热器脚1的两端分别连接于第一连接板221和第二连接板222,对加热器脚1进行固定,加热板21与连接板22之间通过可拆卸的连接方式进行连接,使得加热器能够通过多个体积较小的石墨材料加工而成,最大限度的利用石墨材料,从而达到使加热器的加工简单、组装方便的技术效果,并且每个连接板22或者加热板21能够单独进行拆卸和更换,从而达到降低加热器的生产成本的技术效果,需要说明的是,连接板22、加热板21和加热器脚1均采用石墨材料,通常情况下,一个加热器具有两个加热器脚1,两个加热器脚1分别设置在加热器的两侧;可选的,相邻的两个加热板21之间通过连接板22进行连接,进一步利用石墨材料,从而达到降低加热器的生产成本的技术效果。

  进一步的,如图1和图2所示,多个加热板21包括多个第一加热板211和多个第二加热板212,其中一个连接板22的两端分别可拆卸连接于第一加热板211和第二加热板212。本实施例中,进一步限定了加热板21,其中一个连接板22的两端分别可拆卸连接于第一加热板211和第二加热板212,也就是说,两个加热板21之间通过连接板22进行连接,多个加热板21和多个连接板22相互交叉连接,形成一个圆环形状的加热器,再将加热器放置在坩埚中对单晶硅进行加热,当其中一个加热板21或者连接板22损坏时,拆卸损坏的加热板21或者连接板22,再更换一个新的加热板21或者连接板22即可,使连接板22或者加热板21能够进行单独更换,避免了整体式加热器损坏后无法使用的技术问题,从而进一步达到提高加热器的使用寿命的技术效果。

  进一步的,如图3所示,加热板21包括第一连接端214、第二连接端215和加热片213,第一连接端214设置在加热片213的一端,第二连接端215设置在加热片213的另一端。本实施例中,进一步限定了加热板21,加热板21包括第一连接端214、第二连接端215和加热片213,第一连接端214设置在加热片213的一端,第二连接端215设置在加热片213的另一端,第一连接端214和第二连接端215的作用是连接加热器脚1或者连接板22,因此,第一连接端214和第二连接端215的形状是相同的,并且需要与连接板22或者加热器脚1的形状相互匹配,从而达到方便加热板21的连接的技术效果,可选的,第一连接端214具有第一连接孔216,第二连接端215具有第二连接孔217,用于连接相邻的连接板22或者加热器脚1,也就是说,加热板21和连接板22之间通过螺栓或者插销的方式进行连接,可以进一步方便加热板21和连接板22之间的拆卸和安装。

  进一步的,第一加热板211的加热片213的长度大于第二加热板212的加热片213的长度。本实施例中,进一步限定了加热板21,第一加热板211的加热片213的长度大于第二加热板212的加热片213的长度,目的是提高硅棒的品质,第一加热板211和第二加热板212相互交错设置,可以减少本体2与坩埚的接触面积,从而降低坩埚内的原料反应的剧烈程度,使坩埚内的氧气含量降低,进一步降低硅棒内的氧气含量,从而达到提高硅棒的品质的技术效果。

  进一步的,如图4所示,连接板22包括板体223和隔块224,板体223具有相对的第一侧面和第二侧面,隔块224设置在第一侧面。本实施例中,进一步限定了连接板22,板体223具有相对的第一侧面和第二侧面,隔块224设置在第一侧面,板体223的作用是连接加热板21或者加热器脚1,加热板21设置在第一侧面的隔块224的两侧,隔块224的作用是将处于板体223两端的加热板21或者加热器脚1进行分隔,防止处于隔块224两侧的加热板21或者加热器脚1相互接触,板体223与隔块224之间可以采用可拆卸的连接方式进行连接,也可以通过模具一体成型,可选的,板体223上具有第三连接孔225和第四连接孔226,第三连接孔225和第四连接孔226分别设置在隔块224的两侧,第三连接孔225和第四连接孔226的作用是连接加热板21或者加热器脚1,螺栓或者插销穿过加热板21和第三连接孔225,使加热板21和连接板22进行连接,或者,螺栓或者插销穿过加热器脚1和第四连接孔226,使连接板22和加热器脚1进行连接,从而进一步方便加热板21和连接板22之间的拆卸和安装。

  进一步的,如图1和图2所示,增加了连接螺栓,连接螺栓设置在板体223上,用于连接相邻的加热板21或者加热器脚1。本实施例中,进一步限定了连接板22、加热板21和加热器脚1的连接方式,连接螺栓也采用石墨材料加工而成,通过连接螺栓将连接板22和加热板21进行连接,或者将连接板22和加热器脚1进行连接,能够防止加热器内出现打火、电流过流或者功率波动的情况,不会对拉制单晶硅的过程造成影响,从而达到方便加热器的安装的技术效果。

  以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

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