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一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构

2021-03-07 14:46:34

一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构

  技术领域

  本实用新型属于缓冲机构技术领域,具体涉及一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构。

  背景技术

  蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底,为了提高蓝宝石晶体的成品率、利用率以及降低成本,对蓝宝石的生长方法及其相关理论进行了大量的研究,成果显著,至今已具有较高的技术水平和较大的生产能力,为之配套服务的晶体生长设备也相应,而出单晶炉则是其中一个。

  现有的加工设备如坩埚、单晶炉等设备在对蓝宝石晶体加工时,没有配置相适应的缓冲机构,而在加工的物体时,一般将物体隔空融化成液体,随后液体掉落至坩埚内再次反映,但在掉落中液体一般成滴快速的掉落至坩埚内,没有缓冲机构,掉落的液体速度较快,且质量偏大,容易造成液体的飞溅,不仅对加工原料造成浪费,同时容易对周围的加工环境造成一定的影响,存在一定的安全隐患。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构,以解决上述背景技术中提出的现有的加工设备如坩埚、单晶炉等设备在对蓝宝石晶体加工时,没有配置相适应的缓冲机构,而在加工的物体时,一般将物体隔空融化成液体,随后液体掉落至坩埚内再次反映,但在掉落中液体一般成滴快速的掉落至坩埚内,没有缓冲机构,掉落的液体速度较快,且质量偏大,容易造成液体的飞溅,不仅对加工原料造成浪费,同时容易对周围的加工环境造成一定的影响,存在一定的安全隐患的问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构,包括开口容器,所述开口容器的底端对称设置有至少两只固定脚,所述开口容器为中空的圆柱状,所述开口容器的内侧固定有承重滤盘,所述承重滤盘呈多孔状结构,所述承重滤盘的顶端相对于开口容器的内侧放置有动能吸收材料。

  优选的,所述固定脚呈L型结构,且所述固定脚的顶端相对于与开口容器底端接触的竖直状处设置有连接柱,所述连接柱的顶端与开口容器的底端面固定,且两者的连接处固定有固定螺丝。

  优选的,所述固定脚的顶端固定有调节柱,所述固定脚通过调节柱插入连接柱的内部连接固定,所述调节柱的表面呈竖直状排列分布有直齿,所述连接柱的外表面贯穿连接有调节齿轮,所述调节齿轮与直齿啮合传动。

  优选的,所述连接柱的顶部两侧对称设置有调节板,所述调节板的底端通过贯穿至连接柱的内部固定有贴合板,所述贴合板的表面与调节柱的两侧均设置有磁块,所述贴合板通过磁块与调节柱的两侧磁连接。

  优选的,所述调节板的顶端与连接柱的表面呈开口状,且开口处的内侧连接有连接弹簧。

  优选的,所述动能吸收材料为网状结构,且动能吸收材料由钨丝和钼丝混织而成。

  优选的,所述调节板的中间部分与连接柱的表面旋转连接,所述调节板可通过按压自身顶端做旋转运动。

  与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

  1.通过本实用新型的设计,可以将加工的原料放置在动能吸收材料上,从而可以在原料受高温融化成液体时,可以流经动能吸收材料上,随后通过设计的承重滤盘掉落,以此达到对原料的落料缓冲,避免较大的成滴液体快速掉落而造成的飞溅,从而保证了加工质量,且加工安全隐患也大大降低;

  2.通过设计的调节柱,可以根据不同加工设备来调节本实用新型的高度,使得使用范围得到增加,且在调节高度十分简单方便,还可以保证调节后的稳定性,实用性较强,以及在调节后,不会对加工后滴落的液体造成影响。

  附图说明

  图1为本实用新型的结构示意图;

  图2为本实用新型的剖视图;

  图3为本实用新型固定脚的内部剖视图;

  图4为本实用新型固定脚的的侧视图;

  图中:1、固定脚;2、固定螺丝;3、开口容器;4、承重滤盘;5、动能吸收材料;6、连接弹簧;7、调节柱;8、直齿;9、磁块;10、贴合板;11、调节齿轮;12、调节板;13、连接柱。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  实施例1

  请参阅图1和图2,本实用新型提供一种技术方案:一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构,包括开口容器3,开口容器3的底端对称设置有至少两只固定脚1,开口容器3为中空的圆柱状,开口容器3的内侧固定有承重滤盘4,承重滤盘4呈多孔状结构,承重滤盘4的顶端相对于开口容器3的内侧放置有动能吸收材料5,通过本实用新型的设计,可以将加工的原料放置在动能吸收材料5上,从而可以在原料受高温融化成液体时,可以流经动能吸收材料5上,随后通过设计的承重滤盘4掉落,以此达到对原料的落料缓冲,避免较大的成滴液体快速掉落而造成的飞溅,从而保证了加工质量,且加工安全隐患也大大降低。

  实施例2

  请参阅图1至图4,本实用新型提供一种技术方案:一种用于蓝宝石晶体导膜法生长的落料缓冲机构,包括开口容器3,开口容器3的底端对称设置有至少两只固定脚1,开口容器3为中空的圆柱状,开口容器3的内侧固定有承重滤盘4,承重滤盘4呈多孔状结构,承重滤盘4的顶端相对于开口容器3的内侧放置有动能吸收材料5,通过本实用新型的设计,可以将加工的原料放置在动能吸收材料5上,从而可以在原料受高温融化成液体时,可以流经动能吸收材料5上,随后通过设计的承重滤盘4掉落,以此达到对原料的落料缓冲,避免较大的成滴液体快速掉落而造成的飞溅,从而保证了加工质量,且加工安全隐患也大大降低。

  本实施例中,优选的,固定脚1呈L型结构,且固定脚1的顶端相对于与开口容器3底端接触的竖直状处设置有连接柱13,连接柱13的顶端与开口容器3的底端面固定,且两者的连接处固定有固定螺丝2,通过设置的连接柱13,可以将固定脚1的高度进行调节。

  本实施例中,优选的,固定脚1的顶端固定有调节柱7,固定脚1通过调节柱7插入连接柱13的内部连接固定,调节柱7的表面呈竖直状排列分布有直齿8,连接柱13的外表面贯穿连接有调节齿轮11,调节齿轮11与直齿8啮合传动,通过直齿8和调节齿轮11的设置,可以简单有效的调节高度。

  本实施例中,优选的,连接柱13的顶部两侧对称设置有调节板12,调节板12的底端通过贯穿至连接柱13的内部固定有贴合板10,贴合板10的表面与调节柱7的两侧均设置有磁块9,贴合板10通过磁块9与调节柱7的两侧磁连接,通过磁块9的设置,可以在调节高度后进行稳定的固定,防止高度发生变化影响加工。

  本实施例中,优选的,调节板12的顶端与连接柱13的表面呈开口状,且开口处的内侧连接有连接弹簧6,从而可以通过调节板12的旋转将贴合板10打开。

  本实用新型中的动能吸收材料5由网状结构的钨丝和钼丝组成,且钨丝和钼丝的直径的范围为0.2~2mm,若直径太粗则增加重量,使加工设备如坩埚和承重滤盘4变形,而直径太细则强度不足,容易变形而失去效果,其中钨丝比例为5%~30%,钼丝比例为70%~95%,钼丝的吸能效果要好于钨丝,而钨丝的抗形变能力要好于钼丝,将两者按比例混合使用,能最大程度上发挥吸能作用,同时能增加动能吸收材料5的使用次数。

  本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型在使用时先将本实用新型放置在需要加工的设备的边缘处,如坩埚、单晶炉等,放置好后,将动能吸收材料5放置在开口容器3的内部,并通过承重滤盘4对动能吸收材料5进行支撑,随后将需要加工的原料放置在动能吸收材料5上,当原料受热后,会形成液体,形成的液体从动能吸收材料5上流经,随后从承重滤盘4内缓慢掉落至加工的设备内,以此达到缓冲效果,在前期放置本实用新型时,可以根据加工设备内的深度以及加工的需求来调节固定脚1的高度,在调节高度时,握住固定脚1顶端两侧的调节板12,使得调节板12挤压连接弹簧6,从而调节板12的底端带动贴合板10分离,随后拨动调节齿轮11,通过调节齿轮11带动直齿8,直齿8打动调节柱7下降或者上升,以此完成对固定脚1高度的调节,调节完成后,将调节板12施加的力释放,通过直齿8与调节齿轮11之间齿轮啮合的连接,以及调节板12通过磁块9与调节柱7外壁的双重连接来保证调节后的高度不会发生变化。

  尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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