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泡生法蓝宝石籽晶保护装置

2021-02-27 16:58:44

泡生法蓝宝石籽晶保护装置

  技术领域

  本实用新型涉及蓝宝石晶体生长装置,特别是一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,属晶体制备的技术领域

  背景技术

  蓝宝石晶体作为当前半导体照明行业的关键部件,是蓝光和白光LED的重要衬底材料,其大尺寸、高质量的生长制备是行业发展的基础。目前已有多种方法实现了蓝宝石晶体的生长制备,包括泡生法、热交换法、导模法、提拉法、坩埚下降法等。泡生法能够生长尺寸较大的蓝宝石晶体以及设备成本相对低廉,被业内认为是最适合大规模生产蓝宝石晶体的方法。现有的泡生法,如公开号为CN105088333A和专利号为CN205603721U的专利文件所述装置,籽晶通常暴露于发热体及保温材料的上部,在升温化料及过热阶段,发热体、保温材料及熔体分解挥发物会粘附于籽晶表面,进而腐蚀污染籽晶。用受沾染的籽晶进行大尺寸晶体生长制备时,极易造成晶体质量下降,出现晶界、散射、包裹等缺陷,降低产品的成品率及利用率。

  发明内容

  针对蓝宝石晶体生长中籽晶污染的问题,本实用新型提供一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置。

  本实用新型的技术解决方案如下:

  一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄、转动轴及隔离挡板三个主体部件,其特征在于:所述的机械手柄置于泡生炉小盖外面,通过转动轴与隔离挡板连接,实现对隔离挡板的转动控制;所述的隔离挡板置于小盖底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆升降通道的孔洞,并通过转动实现对通道的封闭与开启。

  所述的机械手柄由两块限位挡块进行限位,限位挡块与转动轴的中心连线夹角θ范围为90°≤θ≤180°。

  所述的隔离挡板采用金属钨或者其他耐高温材料制成。

  本实用新型的技术效果是:通过机械手柄的转动控制隔离挡板,在升温化料和熔体过热阶段,封闭籽晶升降通道,使籽晶不会暴露在发热体及保温材料的上部,避免其在高温下的挥发物对籽晶的腐蚀污染。当需要进行晶体生长时,通过机械手柄转动隔离挡板,开启籽晶升降通道完成籽晶接种工作。由于该装置实现了对蓝宝石籽晶防污染腐蚀的保护,确保了籽晶的高品质,可显著提高接种效率,改善泡生法蓝宝石晶体的质量、成品率及利用率,降低生产成本。

  附图说明

  图1是泡生法蓝宝石籽晶保护装置的主视图。

  图2是泡生法蓝宝石籽晶保护装置的俯视图。

  图3是泡生法蓝宝石籽晶保护装置在安装使用时的结构示意图(左:对籽晶杆升降通道开启;右:对籽晶杆升降通道封闭)。

  附图标记说明:1.机械手柄、2.转动轴、3.隔离挡板、4.限位挡块、5.籽晶杆、6.泡生炉小盖。

  具体实施方式

  下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

  本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石籽晶保护装置,包括机械手柄(1)、转动轴(2)及隔离挡板(3)三个主体部件,所述机械手柄(1)置于泡生炉小盖(6)外面,通过转动轴(2)与隔离挡板(3)连接,实现对隔离挡板(3)的转动控制;所述隔离挡板(3)置于小盖(6)底部靠近籽晶处,面积覆盖籽晶杆(5)升降通道的孔洞,并通过转动实现对通道的封闭与开启;所述机械手柄(1)由两块限位挡块(4)进行限位,限位挡块(4)与转动轴(2)的中心连线夹角θ范围为90°≤θ≤180°;所述隔离挡板(3)采用金属钨或者其他耐高温材料制成。

  本实用新型泡生法蓝宝石籽晶保护装置的工作过程如下:在升温化料时,将泡生法籽晶杆通过升降通道提拉置于炉膛上部,摇动本实用新型装置中的机械手柄,控制隔离挡板,以封闭籽晶升降通道,使籽晶不暴露在发热体及保温材料的上部;熔体过热结束后,按相反的方向摇动机械手柄控制隔离挡板,以开启籽晶升降通道,缓慢将籽晶接触熔体完成接种工作;设定合适的提拉、温度控制或功率控制参数,实现高质量泡生法蓝宝石晶体的生长。

  上述实施例是对本实用新型的说明,不是对本实用新型的限定,任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。

《泡生法蓝宝石籽晶保护装置.doc》
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