一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。
背景技术
准单晶铸锭炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备，准单晶（MonoLike）是基于多晶铸锭的工艺，在长晶时通过部分使用单晶籽晶，获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片，这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术，其功耗只比普通多晶硅多，所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅，简单地说，这种技术就是用多晶硅的成本，生产单晶硅的技术，当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭，这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中，籽晶一般位于坩埚底部，再加热融化硅料，并保持籽晶不被完全融掉，最后控制降温，调节固液相的温度梯度，确保单晶从籽晶位置开始生长，这种技术的难点在于确保在熔化硅料阶段，籽晶不被完全融化，还有控制好温度梯度的分布，这个是提高晶体生长速度和晶体质量的关键，为了满足准单晶对于温度梯度的工艺要求，需要在炉内达到1450摄氏度的情况下打开风门，来进行逐渐降温的过程，且温度分布合适的热场，不仅能保证单晶生长顺利，而且品质较高；传统的设计一直无法解决在高温下顺利的打开和关闭风门，严重时还有卡死现象，给炉子安全带来极大的隐患。
实用新型内容
本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：
一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构，包括下炉底外壳、支撑座和导轨座，所述下炉底外壳内中间部位设有支撑轴套，支撑轴套顶部通过连接臂设有多个导轨座，导轨座上设有导轨，导轨上设有滑动小车，支撑轴套内设有传动轴，传动轴位于各导轨的一端设有转盘，转盘上对应各导轨上的滑动小车设有拉杆，通过下炉底外壳底部的驱动轴与驱动设备连接带动传动轴进行转动，使传动轴带动转盘通过拉杆传动滑动小车在导轨上进行移动，从而使各滑动小车上的连接杆带动对应的风门进行传动。
进一步，所述支撑轴套顶部通过连接臂分别设有四条导轨座，四条导轨座成十字型分布，转盘的外部轮廓为十字型，转盘位于十字的各端部分别通过拉杆与滑动小车连接。
进一步，所述滑动小车底部设有两排滑轮，导轨座上的导轨位于两排滑轮之间，通过各滑轮与导轨配合实现滑动小车滑动，滑轮与导轨之间的间隙为0.5-1mm。
进一步，所述滑轮与导轨均为钨合金钢材料，导轨座采用经过两次渗氮热处理的耐高温不锈钢。
进一步，所述拉杆与滑动小车和转盘均通过万向转轴连接。
本实用新型的有益效果是：结构简单，使用方便，导轨座采用耐高温不锈钢进行二次渗氮热处理工艺，保证在高温条件下能够达到设计的要求，再配合钨合金钢导轨使滑动小车能够平稳的按设计要求滑动，且滑轮与导轨之间的间隙设计，满足导轨与滑轮膨胀系数的要求，避免发生卡死现象，给炉子安全带来了保障。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
附图1为本实用新型的结构示意图；
附图2为本实用新型的俯视图；
附图3为本实用新型导轨与滑动小车的连接结构示意图。
图中，1下炉底外壳，2导轨，3拉杆，4滑动小车，5传动轴，6连接杆，7滑轮，8转盘，9导轨座，10万向转轴，11驱动轴，12支撑轴套，13连接臂。
具体实施方式
附图1-3为本实用新型的一种具体实施例。该实用新型一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构，包括下炉底外壳1、支撑座和导轨座9，所述下炉底外壳1内中间部位设有支撑轴套12，支撑轴套12顶部通过连接臂13设有多个导轨座9，导轨座9上设有导轨2，导轨2上设有滑动小车4，支撑轴套12内设有传动轴5，传动轴5位于各导轨2的一端设有转盘8，转盘8上对应各导轨2上的滑动小车4设有拉杆3，通过下炉底外壳1底部的驱动轴11与驱动设备连接带动传动轴5进行转动，使传动轴5带动转盘8通过拉杆3传动滑动小车4在导轨2上进行移动，从而使各滑动小车4上的连接杆6带动对应的风门进行传动。
进一步，所述支撑轴套12顶部通过连接臂13分别设有四条导轨座9，四条导轨座9成十字型分布，转盘8的外部轮廓为十字型，转盘8位于十字的各端部分别通过拉杆3与滑动小车4连接。
进一步，所述滑动小车4底部设有两排滑轮7，导轨座9上的导轨2位于两排滑轮7之间，通过各滑轮7与导轨2配合实现滑动小车4滑动，滑轮7与导轨2之间的间隙为0.5-1mm。
进一步，所述滑轮7与导轨2均为钨合金钢材料，导轨座9采用经过两次渗氮热处理的耐高温不锈钢。
进一步，所述拉杆3与滑动小车4和转盘8均通过万向转轴10连接。
该实用新型一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构，使用时导轨座9采用耐高温不锈钢进行二次渗氮热处理工艺，保证在高温条件下能够达到设计的要求，再配合钨合金钢导轨2使滑动小车4能够平稳的按设计要求滑动，传动过程中，传动轴5带动转盘8转动，万向轴承将传动轴5的轴向运动变成直线运动，使四个导轨2上的四个滑动小车4可以朝四个方向同时前进和后退，从而带动相对应的四个风门开启和闭合，保证了下炉底外壳1底部的通风散热冷却效果，提高炉子的使用安全性。
本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应得知在本实用新型的启示下作出的与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。
