一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，特别是涉及一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法。
背景技术
外延(Epitaxy，简称EPI)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si衬底上生长Si外延层)，也可以是异质外延层(Si衬底上生长SiGe外延层或Si衬底上生长上SiC外延层)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延，超高真空化学气相沉积，常压及减压外延等等。
外延工艺是在外延设备中进行的，随着生产外延片数的增加，外延设备需停机清洗保养，外延设备的排气管路也需要拆卸下来进行清洗，但是排气管路在拆卸时，残留在排气管路中的气体很容易出现自燃或爆炸的问题，从而造成排气管路的破损，作业环境的损坏，甚至威胁到该作业环境下的人员的安全。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法，以避免残留在排气管路中的气体发生自燃或爆炸的问题，从而降低了造成的排气管路的破损，甚至威胁到保养人员的安全的风险。
为了解决上述问题，本发明提供的一种拆卸管路的方法，包括以下步骤：
拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端；
拆卸所述管路的第二端；以及
在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。
可选的，所述管路连接在设备的传输气体的通道上，其作为传输气体的真空管路。
进一步的，封闭所述第一端时，所述管路的第一端通过闷盖封闭，所述闷盖盖设在所述第一端的端口上。
更进一步的，所述闷盖扣设在所述第一端的端口上，使得管路中的气体无法从所述第一端进出。
更进一步的，封闭所述第二端时，所述管路的第二端通过闷盖封闭，所述闷盖盖设在所述第二端的端口上。
另一方面，本发明还提供的一种外延设备的保养方法，包括以下步骤：
将连接在外延设备上的排气管路的第一端拆卸下来，并封闭所述第一端；
将连接在外延设备上的排气管路的第二端拆卸下来；
在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端；以及
清洗所述排气管路。
可选的，所述排气管路中存在有氢气、磷化氢、二氯二氢硅的混合气体。
进一步的，所述排气管路连接在外延设备的传输气体的通道上，其作为传输气体的真空管路。
更进一步的，封闭所述第一端时，所述排气管路的第一端通过闷盖封闭，所述闷盖盖设在所述第一端的端口上。
更进一步的，封闭所述第二端时，所述排气管路的第二端通过闷盖封闭，所述闷盖盖设在所述第二端的端口上。
与现有技术相比存在以下有益效果：
本发明提供的一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法，所述拆卸管路的方法包括以下步骤：拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端；拆卸所述管路的第二端；以及在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。本发明通过在所述第二端加入干冰，由于干冰是固态的，其从固态变成气态的过程中需要吸收大量的热量，使得第二端处的空气的温度迅速下降，抑制了管路中的混合气体与空气发生反应，使得暴露在空气中的混合气体无法自燃以及爆炸，从而降低了管路的损坏，作业环境的损坏的风险，以及该环境下的人员安全隐患。
附图说明
图1为本发明一实施例的一种拆卸管路的方法的流程示意图。
图2为本发明一实施例的一种外延设备的保养方法的流程示意图。
具体实施方式
如背景技术所述，在外延设备的反应腔室中，气体供给装置提供的氢气与三氯一氢硅或二氯二氢硅发生还原反应，以在单晶硅衬底硅片上生长出单晶外延。在这个过程中，产生大量的副产物需要通过排气管路排出，因此，排气管路中大量存在着氢气、磷化氢、二氯二氢硅等混合气体。
外延设备在保养时，需要将排气管路拆卸下来进行清洗，而存在于排气管路中的这些极易自燃的混合气体就会暴露在空气中，造成自燃，而氢气在密闭的环境中很容易发生爆炸，其存在排气管路的损坏和作业环境的损坏的风险，还存在该环境下的人员安全隐患。
因此，需要减少氢气、磷化氢、二氯二氢硅等混合气体暴露在空气中的时间，并在拆卸排气管路后，尽快的将其内部环境与空气隔绝。然而，排气管路在拆卸时，由于排气管路过长，甚至需要跨楼层操作，其操作难度较高，这就不可避免的增加了排气管路的内部环境暴露在空气中的时间，从而大大增加了上述隐患。
基于上述分析，本发明提供的一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法，所述拆卸管路的方法包括以下步骤：拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端；拆卸所述管路的第二端；以及在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。本发明通过在所述第二端加入干冰，由于干冰是固态的，其从固态变成气态的过程中需要吸收大量的热量，使得第二端处的空气的温度迅速下降，抑制了管路中的混合气体与空气发生反应，使得暴露在空气中的混合气体无法自燃以及爆炸，从而降低了管路的损坏，作业环境的损坏的风险，以及该环境下的人员安全隐患。
以下将对本发明的一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法作进一步的详细描述。下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费研磨时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本实施例所提供的一种拆卸管路的方法，图1为本实施例的一种拆卸管路的方法的流程示意图。如图1所示，该方法包括以下步骤：
步骤S11：拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端；
步骤S12：拆卸所述管路的第二端；以及
步骤S13：在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。
下面对本实施例所公开的一种拆卸管路的方法进行更详细的介绍。
首先执行步骤S11，拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端。其中，所述管路例如是连接在设备的传输气体的通道上，其作为传输气体的真空管路。所述管路中大量存在着氢气、磷化氢、二氯二氢硅等混合气体。所述管路包括相互连通的第一端和第二端，气体从所述管路的第一端进入，从所述第二端排出；或者，气体从所述管路的第二端进入，从所述第一端排出。封闭所述第一端时，所述管路的第一端例如是通过闷盖封闭，所述闷盖例如是盖设在所述第一端的端口上，所述闷盖具体例如是扣设在所述第一端的端口上，使得管路中的气体无法从所述第一端进出。
接着执行步骤S12，拆卸所述管路的第二端。
将所述管路的第二端从设备的传输气体的通道上拆卸下来后，所述管路彻底拆卸下来。
接着执行步骤S13，在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。
本步骤具体包括：
首先，在所述第二端加入干冰，由于干冰是固态的，其从固态变成气态的过程中需要吸收大量的热量，使得第二端处的空气的温度迅速下降，抑制了管路中的混合气体与空气发生反应，使得暴露在空气中的混合气体无法自燃以及爆炸，从而降低了管路的损坏，作业环境的损坏的风险，以及该环境下的人员安全隐患。
其次，封闭所述第二端。封闭所述第二端时，所述管路的第二端例如是通过闷盖封闭，所述闷盖例如是盖设在所述第二端的端口上，所述闷盖具体例如是扣设在所述第二端的端口上，使得管路中的气体无法从所述第二端进出。
本实施例还提供了一种外延设备的保养方法，图2为本实施例的一种外延设备的保养方法的流程示意图。如图2所示，该保养方法包括以下步骤：
步骤S21：将连接在外延设备上的排气管路的第一端拆卸下来，并封闭所述第一端；
步骤S22：将连接在外延设备上的排气管路的第二端拆卸下来；
步骤S23：在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端；以及
步骤S24：清洗所述排气管路。
下面对本实施例所公开的一种外延设备的保养方法进行更详细的介绍。
首先执行步骤S21，将连接在外延设备上的排气管路的第一端拆卸下来，并封闭所述第一端。其中，所述排气管路例如是连接在外延设备的传输气体的通道上，其作为传输气体的真空管路。所述排气管路中大量存在着氢气、磷化氢、二氯二氢硅等混合气体。所述排气管路包括相互连通的第一端和第二端，气体从所述排气管路的第一端进入，从所述第二端排出；或者，气体从所述排气管路的第二端进入，从所述第一端排出。封闭所述第一端时，所述排气管路的第一端例如是通过闷盖封闭，所述闷盖例如是盖设在所述第一端的端口上，所述闷盖具体例如是扣设在所述第一端的端口上，使得管路中的气体无法从所述第一端进出。
接着执行步骤S22，将连接在外延设备上的排气管路的第二端拆卸下来。
将所述排气管路的第二端从外延设备的传输气体的通道上拆卸下来后，所述排气管路彻底拆卸下来。
接着执行步骤S23，在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。
本步骤具体包括：
首先，在所述第二端加入干冰，由于干冰是固态的，其从固态变成气态的过程中需要吸收大量的热量，使得第二端处的空气的温度迅速下降，抑制了排气管路中的混合气体与空气发生反应，使得暴露在空气中的混合气体无法自燃以及爆炸，从而降低了排气管路的损坏，作业环境的损坏的风险，以及该环境下的人员安全隐患。
其次，封闭所述第二端。封闭所述第二端时，所述排气管路的第二端例如是通过闷盖封闭，所述闷盖例如是盖设在所述第二端的端口上，所述闷盖具体例如是扣设在所述第二端的端口上，使得排气管路中的气体无法从所述第二端进出。
接着执行步骤S24，清洗所述排气管路。
具体地，首先，将两端封闭的排气管路放置在水槽中，接着，将所述第一端和第二端上盖设的闷盖取下，对所述排气管路的内壁进行清洗。
综上可知，本发明提供的一种拆卸管路的方法、外延设备的保养方法，所述拆卸管路的方法包括以下步骤：拆卸管路的第一端，并封闭所述第一端；拆卸所述管路的第二端；以及在所述第二端加入干冰，再封闭所述第二端。本发明通过在所述第二端加入干冰，由于干冰是固态的，其从固态变成气态的过程中需要吸收大量的热量，使得第二端处的空气的温度迅速下降，抑制了管路中的混合气体与空气发生反应，使得暴露在空气中的混合气体无法自燃以及爆炸，从而降低了管路的损坏，作业环境的损坏的风险，以及该环境下的人员安全隐患。
此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”的描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
