单晶炉冷却导流筒及气冷系统
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体为一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统。
背景技术
当前，单晶硅技术经过多年的发展，成本己经有了大幅的下降，随着投料量的不断加大，如果想进一步降低生产成本就必须提高单炉效率。在拉晶过程中，等径工序是拉晶过程中最为重要的一个工序，也是最为耗时的一个工序，如果要提高等径工序的效率就必须提高等径拉速。现有的单晶炉分为主室和副室两部分，融化的硅料位于主室加热器中上部，拉出的单晶位于主室上半部分和副室中，如果能够减少加热器对单晶的热辐射，并且拉出的单晶能够及时放出潜热，就会加快硅液的结晶速度，也就会提高等径拉速，提高整炉效率。但是现有的冷却装置大都是一个空腔连接冷却液进管和冷却液出管，冷却液在空腔内的存在时间较短，换热效率较低。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，可以将快速高效对单晶炉进行散热，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座和导流筒，所述底座上表面中部设有制冷设备，制冷设备的上表面设有储气瓶，制冷设备通过设置在其上表面的避震器固定连接有托板，托板的上表面设有气泵和矩形箱体，矩形箱体的内部设有过滤网，所述导流筒的内侧面上下两端分别设有环形收集管和环形出气管，环形收集管的外侧面通过导管与矩形箱体的左侧面相连，环形出气管的外侧面通过连接管与储气瓶的外侧面相连，连接管上设有第一安全阀。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的下表面四周均布有四个锁止万向轮，底座的上表面右端前后两侧设有两个前后对称设置的推杆，推杆的上端面设有把手。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述制冷设备采用水冷装置，且水冷装置采用现有技术中常用的方法。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述储气瓶的左侧面设有气压表和泄压管，泄压管上设有第二安全阀。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述避震器的数量为四个，四个避震器均匀分布在托板的下表面四周。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气泵的外侧面前后两端均通过定位支架与托板的上表面相连。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气泵的出气口通过导流管与储气瓶的外侧面相连，且导流管位于制冷设备的内部，气泵的进气口与矩形箱体的右侧面相连。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述矩形箱体的上表面设有密封盖板，密封盖板的上表面中部设有把手。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述环形收集管和环形出气管的外侧面均设有透气孔。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述制冷设备的前侧面设有控制开关，控制开关的输入端与外部电源的输出端电连接，控制开关的输出端分别与制冷设备和气泵的输入端电连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本单晶炉冷却导流筒及气冷系统，结构紧凑，安装方便，操作简单，可以快速将冷媒送入到单晶炉内，提高了单晶炉的换热效率，锁止万向轮的设置方便了储气瓶的位置移动，通过过滤网可以对热交换过程中带出的粉尘进行收集，避震器的设置方便了气泵的减震。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型剖视图。
图中：1底座、2锁止万向轮、3储气瓶、4控制开关、5制冷设备、6避震器、7推杆、8第一把手、9定位支架、10气泵、11密封盖板、12第二把手、13矩形箱体、14导流筒、 15环形出气管、16连接管、17气压表、18第一安全阀、19过滤网、20第二安全阀、21 泄压管、22环形收集管、23托板、24导流管。
具体实施方式
下面将附图对本实用新型作进一步说明。
如图1至图2所示，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉冷却导流筒及气冷系统，包括底座1和导流筒14，底座1上表面中部设有制冷设备5，制冷设备5的上表面设有储气瓶3，制冷设备5通过设置在其上表面的避震器6固定连接有托板23，托板23的上表面设有气泵10和矩形箱体13，矩形箱体13的内部设有过滤网19，通过过滤网19可以对热交换过程中带出的粉尘进行收集，导流筒14的内侧面上下两端分别设有环形收集管22和环形出气管15，环形收集管22的外侧面通过导管与矩形箱体13的左侧面相连，环形出气管15的外侧面通过连接管16与储气瓶3的外侧面相连，连接管16上设有第一安全阀18，底座1的下表面四周均布有四个锁止万向轮2，锁止万向轮2的设置方便了储气瓶3的位置移动，底座1的上表面右端前后两侧设有两个前后对称设置的推杆7，推杆 7的上端面设有第一把手8，制冷设备5采用水冷装置，且水冷装置采用现有技术中常用的方法，储气瓶3的左侧面设有气压表17和泄压管21，泄压管21上设有第二安全阀20，避震器6的数量为四个，四个避震器6均匀分布在托板23的下表面四周，避震器6的设置方便了气泵10的减震，气泵10的外侧面前后两端均通过定位支架9与托板23的上表面相连，气泵10的出气口通过导流管24与储气瓶3的外侧面相连，且导流管24位于制冷设备5的内部，气泵10的进气口与矩形箱体13的右侧面相连，矩形箱体13的上表面设有密封盖板11，密封盖板11的上表面中部设有第二把手12，环形收集管22和环形出气管15的外侧面均设有透气孔，制冷设备5的前侧面设有控制开关4，控制开关4的输入端与外部电源的输出端电连接，控制开关4的输出端分别与制冷设备5和气泵10的输入端电连接，本单晶炉冷却导流筒及气冷系统，结构紧凑，安装方便，操作简单，可以快速将冷媒送入到单晶炉内，提高了单晶炉的换热效率。
在使用时：将导流筒14设置在单晶炉的内部，接通外部电源，当单晶炉内需要进行降温时，打开第一安全阀18，储气瓶3内的低温惰性气体经由环形出气管15进入到单晶炉的内部，同时由气泵10将单晶炉内高温惰性气体抽出，使得单晶炉可以快速降温，同时由制冷设备5对高温惰性气体进行降温处理，降温后的惰性气体从新被送入到储气瓶3 的内部。
