一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备
技术领域
本发明涉及半导体材料生产设备技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备。
背景技术
多晶硅生产时用石英坩埚装好多晶硅料，加入适量硼硅，再加热熔化，熔化后应保温约20分钟，再注入石墨铸模中，待慢慢凝固冷却后，即得多晶硅锭。
多晶硅在生产过程中需要用到保温设备，而保温效果的优劣直接决定着多晶硅生产质量的好坏，但是现有的坩埚用的保温装置大部分都是固定式的，不方便进行拆分，在保温装置因高温发生变形或损坏时，需要对整套装置进行维修或更换，费时费力，工作强度大，而且成本高，且不方便更换、取放坩埚，不利于提高工作效率。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备,包括箱体，所述箱体为矩形状，所述箱体底面两侧均固接有梯形状的支撑座，所述箱体底面滑动设有矩形状的电源盒，所述箱体前表面中部设有观察窗，所述箱体前表面上端设有控制面板，所述箱体一侧面设有矩形状的第一开口，所述第一开口一侧壁铰接有矩形状的箱门，所述箱体顶面为敞口，所述敞口顶面固接有矩形状的盖板，所述盖板顶面中部设有圆形的进料管，所述盖板底面中部两侧均固接有第二电动推杆，所述箱体四周侧壁均竖直向下凹设有矩形状的放置槽，每个放置槽内均设有矩形状的保温层，所述箱体内底面两侧上方均横向设有矩形状的连接滑槽，每个连接滑槽底面两端均固接有圆柱形的支撑杆，每根支撑杆另一端均箱体对应一端底面固接，所述箱体底面上方设有矩形状的支撑板，所述支撑板两侧均与对应连接滑槽滑动连接，所述箱体一侧内壁下端设有第一电动推杆，所述第一电动推杆活动端与支撑板一侧面中部固接，所述支撑板顶面固接有圆形的支撑槽，所述支撑槽内放置有坩埚，所述支撑槽外侧设有圆桶状的保温罩，所述保温罩两侧面均与对应第二电动推杆的活动端固接。
优选地，所述电源盒两侧面上端均固接有矩形状的支撑滑块，所述箱体底面两侧均固接固接有矩形状的限位滑槽，每块支撑滑块均位于对应的限位滑槽内。
优选地，每个连接滑槽内均滑动设有T形状的连接滑杆，所述支撑板两侧面均与对应连接滑杆一侧面中部固接。
优选地，所述支撑槽内设有U形的到导热槽，所述导热槽外壁上端设有环形的电热板，所述坩埚位于导热槽内，且与导热槽内壁接触。
优选地，所述保温罩外壁上端设有固定环，所述固定环由两块半圆环组成，所述两块半圆环一端通过转动轴连接，所述两块半圆环另一端均固接有通过限位螺栓连接，所述固定环两侧面均固接有矩形状的固定板，每块固定板顶面顶面均设有圆形的的固定槽，每根第二电动推杆活动端均位于对应的固定槽内、且与对应的固定槽固接，所述保温罩顶面设有圆形的固定孔，所述固定孔内固接有锥形的进料斗，所述进料斗下端位于坩埚内。
优选地，所述支撑板顶面凹设有圆形的密封槽，所述保温罩底面设有圆形的第二开口，所述第二开口外壁位于密封槽内。
优选地，所述进料管上端螺旋连接有圆桶状的保温盖，所述保温盖内壁设有内螺纹，所述进料管上端外壁设有外螺纹，所述进料管下端内固接有波纹软管，所述波纹软管另一端位于进料斗内。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、通过设置的保温罩、密封槽、支撑槽、导热槽与电热板板配合，可有效的对坩埚进行保温，提高了坩埚的保温效果，解决了坩埚保温不可控的问题；
2、通过设置的第一电动推杆、支撑板、支撑槽、连接滑杆与俩接滑槽配合，第一电动推杆可带动支撑槽内外移动，便于取放、维护坩埚，通过设置的固定环与保温罩配合，便于安装、拆卸保温罩，解决了不方便维修和更换的问题，避免了因维修而导致费时费力的情况发生，有利于提高工作效率；
综上所述，本发明结构简单、便于安装拆卸、维护 ，有效的提高了工作效率，提高了保温效果。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1为本发明提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备的剖面图；
图2为本发明提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备的正视图；
图3为本发明提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备的图2中A-A处剖面图；
图4为本发明提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备的右视图；
图5为本发明提出的一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备的支撑板俯视图；
图中序号：箱体1、支撑座2、限位滑槽3、电源盒4、盖板5、保温层6、进料管7、第一电动推杆8、连接滑槽9、连接滑杆10、支撑板11、支撑槽12、电热板13、坩埚14、保温罩15、固定环16、第二电动推杆17、波纹软管18、进料斗19、支撑杆20、保温盖21、控制面板22、密封槽23、观察窗24、箱门25、导热槽26。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例：参见图1-5，一种用于多晶硅的热场坩埚调节式保温设备,包括箱体1，所述箱体1为矩形状，所述箱体1底面两侧均固接有梯形状的支撑座2，所述箱体1底面滑动设有矩形状的电源盒4，所述箱体1前表面中部设有观察窗24，所述箱体1前表面上端设有控制面板22，所述箱体1一侧面设有矩形状的第一开口，所述第一开口一侧壁铰接有矩形状的箱门25，所述箱体1顶面为敞口，所述敞口顶面固接有矩形状的盖板5，所述盖板5顶面中部设有圆形的进料管7，所述盖板5底面中部两侧均固接有第二电动推杆17，所述箱体1四周侧壁均竖直向下凹设有矩形状的放置槽，每个放置槽内均设有矩形状的保温层6，所述保温层6的材质为碳毡，所述箱体1内底面两侧上方均横向设有矩形状的连接滑槽9，每个连接滑槽9底面两端均固接有圆柱形的支撑杆20，每根支撑杆20另一端均箱体1对应一端底面固接，所述箱体1底面上方设有矩形状的支撑板11，所述支撑板11两侧均与对应连接滑槽9滑动连接，所述箱体1一侧内壁下端设有第一电动推杆8，所述第一电动推杆8活动端与支撑板11一侧面中部固接，所述支撑板11顶面固接有圆形的支撑槽12，所述支撑槽12内放置有坩埚14，所述支撑槽12外侧设有圆桶状的保温罩15，所述保温罩15两侧面均与对应第二电动推杆17的活动端固接。
在本发明中，所述电源盒4两侧面上端均固接有矩形状的支撑滑块，所述箱体1底面两侧均固接固接有矩形状的限位滑槽3，每块支撑滑块均位于对应的限位滑槽3内。
在本发明中，每个连接滑槽9内均滑动设有T形状的连接滑杆10，所述支撑板11两侧面均与对应连接滑杆10一侧面中部固接。
在本发明中，所述支撑槽12内设有U形的到导热槽26，所述导热槽26外壁上端设有环形的电热板13，所述坩埚14位于导热槽26内，且与导热槽26内壁接触,所述导热槽26的材质为导热性能好的金属。
在本发明中，所述保温罩15外壁上端设有固定环16，所述固定环16由两块半圆环组成，所述两块半圆环一端通过转动轴连接，所述两块半圆环另一端均固接有通过限位螺栓连接，所述固定环15两侧面均固接有矩形状的固定板，每块固定板顶面顶面均设有圆形的的固定槽，每根第二电动推杆17活动端均位于对应的固定槽内、且与对应的固定槽固接，所述保温罩15顶面设有圆形的固定孔，所述固定孔内固接有锥形的进料斗19，所述进料斗19下端位于坩埚14内，所述保温罩的材质为碳碳复合材料。
在本发明中，所述支撑板11顶面凹设有圆形的密封槽23，所述保温罩15底面设有圆形的第二开口，所述第二开口外壁位于密封槽23内。
在本发明中，所述进料管7上端螺旋连接有圆桶状的保温盖21，所述保温盖21内壁设有内螺纹，所述进料管7上端外壁设有外螺纹，所述进料管7下端内固接有波纹软管18，所述波纹软管18另一端位于进料斗19内。
在本发明中，所述控制面板22上设有温控器、第一电动推杆控制开关、第二电动推杆控制开关、电源开关，所述电源盒4内放置有蓄电池，所述蓄电池通过导线与电源开关连接，所述电源开关与第一电动推杆8之间通过导线串联有第一电动推杆控制开关，所述电源开关与第二电动推杆17之间通过导线串联有第二电动推杆控制开关，所述电源开关与电热板13之间通过导线串联有温控器，所述温控器的型号为SIN-1100，所述导热槽上设有温度传感器，所述温度传感器的型号为WZP-PT100，所述温度检测传感器的信息输出端与温控器连接，所述温控器上带有显示屏，可实时显示温度数值，温控器可提前设置保护温度值，当温度传感器检测到导热槽26周围的温度低于保护温度值时，温控器中继电器触点闭合，电热板13通电加热，当温度传感器检测到导热槽26周围的温度高于保护温度值时，温控器中继电器触点打开，电热板13断电。
本发明使用时，先将电源开关打开，接着打开箱门25，控制第二电动推杆17回缩，第二电动推杆17带动保温罩15上移，保温罩15带动进料斗19上移，进料斗19压缩波纹软管18，直至保温罩15下端位于支撑槽12上方，然后控制第一电动推杆8伸长，第一电动推杆8带动支撑板11外移，支撑板11带动连接滑杆10沿着连接滑槽9向外移动，支撑板11带动支撑槽12外移，支撑槽12带动导热槽26外移，导热槽26移动到箱体1外时，控制第一电动推杆8停止伸长，然后将坩埚14放入导热槽26中，接着控制第一电动推杆8回缩，第一电动推杆8带动支撑板11内移，支撑板11带动连接滑杆10和支撑槽12内移，支撑槽12带动导热槽26内移，导热槽26带动坩埚14内移，导热槽26移动到箱体1中部时，控制第一电动推杆8停止回缩，然后关闭箱门25，然后控制第二电动推杆17伸长，第二电动推杆17带动固定环16下移，固定环16带动保护罩15下移，保护罩15带动进料斗19下移，波纹软管18伸长，直至保护罩15下端位于密封槽23内，此时进料斗19位于坩埚14内，然后打开温控器开关，电热板13开始加热，电热板13将热量传递给导热槽26，导热槽26将热量传递给坩埚14，保温罩15可降低热量的散发速率，对温控器设置保护温度值，当导热槽26内温度高于保护温度值时，温控器控制电热板13不工作，当导热槽26周围的温度低于保护温度值时，温度器控制电热板13加热，当需要加料时，正向转动保温盖21，将保温盖21与进料管7脱离，然后向进料管7中加入所需的材料，材料经过波纹软管18、进料斗19进入到坩埚14内，当保温罩15损坏时，松开限位螺栓，便于维修、更换保温罩。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
